示例.0082(1.0)
5WHz_'c
J\*uW|=F 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
QvZ"{ dfdK%/' $( 1. 描述
cmXbkM ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
_dd! nU\A| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
#Pg`0xiV ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
3 k/E$wOj U| Fqna 2. 系统
7@<.~*Bl6 yor'"6)i 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
90W= v* 3. 透镜系统组件编辑
K^fs #7 (_e[CqFu ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
JyE-c}I ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
6 2R"; # K ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
&wK:R,~x6 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
0"O EOYs} C5dM` _3L 4. 光线追迹系统分析器-选项
hE(R[h c u:p OP 8*0QVFn$ ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
CHKhJ v3+4 ■ 可以选择选取光线的方法：
#[=kQ& — 在x-y-网格
USyc D` — 六边形
"
7^nRJ y — 自由选取
S 3 %2T ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
yk4 @@kHW 1 }\p:` 5. 系统的3维视图
G%bv< _R /";tkad^ 
; H ;h[ 6. 其他系统参数
f9u=h} ■ 系统由单色平面波
照明 doL-G?8B ■ 照明波长266.08nm
:%sBY0 yF ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
jXA/G%:[ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
pCIS8 2L — 一个虚拟屏位于焦平面
_|M8xI —
光束尺寸探测器置于焦平面
<h:xZ tz ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
F@Sk=l( jyIIE7.I" 7. 光线追迹系统分析器的结果
0V<kpC,4 .S|7$_9;b 光线经过整个光学系统的三维视图
?]D &D:Z?I 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
6m?<"y8] 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
!lfE7 |\p 0`S{>G &233QRYM ■ VirtualLab可用于计算点列图。
2JK
'!Ry) ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
f1aZnl ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
o.!o4&W H ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
UPGUJ>2Z ]Y I9 9. 焦平面上的结果
L/jaUt[, l-%] f]> GrG'G(NQ ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
i5TGK#3o ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
_$AM =?P & ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
:L@ ;.s ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
MuD
? KK ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
2om:S+3)2 zk {d*gN 10. 总结
