示例.0082(1.0)
BoXPX2: Gd`s01GKQ 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
ydMhb367| m=TZfa^r 1. 描述
Z+=WICI/2 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
_FU}IfG>t ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
=QIu3% & ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
cSj X/%*!m <sn, X0W 2. 系统
h1y3gl[;TD ^ U) ;MH8 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
0+K<;5"63d 3. 透镜系统组件编辑
y Ni3@f G.r =fNP ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
ZFtJoGaR ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
WD5jO9Oai ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
..x 2 ■ 包括序列光学表面和光学介质。
H6Ytp^ ~> ^x Z=";eq 4. 光线追迹系统分析器-选项
fymmA faR ps^["3e . @\(ay ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
OnyAM{$g ■ 可以选择选取光线的方法：
Xy}>O* — 在x-y-网格
Q3'P< "u — 六边形
5~$WSL?O) — 自由选取
Y-,S_59 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
,4k3C#!. i lR/Uboyy 5. 系统的3维视图
!^EA}N.u $
nMx#~ >a 
x VrLoAw 6. 其他系统参数
W )^%/lAh ■ 系统由单色平面波
照明 efuiFN; ■ 照明波长266.08nm
|[ p]])
o ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
{{)pb> E — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
[ {HTGz@( — 一个虚拟屏位于焦平面
RB6TM —
光束尺寸探测器置于焦平面
2Ima15^+ F ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
VF +g+~ '3~m},0 7. 光线追迹系统分析器的结果
'@zMZc ! - 0I &dG- 光线经过整个光学系统的三维视图
jAovzZ6BL 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
ftQ;$@ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7V5kYYR^F 'e6J &X / 8u}VYE ■ VirtualLab可用于计算点列图。
#ApmJLeC O ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
b &]z^_m) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
:;IZ|hU ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
|,({$TrF F=PBEaX 9. 焦平面上的结果
FbH@qHSH C' WX$!$d Galh _;= ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
U lCw{:#F ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
F& Rr&m ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
y-S23B( ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
> "z`))9 ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
"`mG_qHI[ |+Z-' k~Q 10. 总结
~S<}q6H. ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
'j?H >'t{ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
- ~*kAh ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
L>lx kq8!Q ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
jthyZZ vst;G-ys （来源：讯技光电）
