示例.0082(1.0)
#S)]`YW v%v(-, _q 关键词:
光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸
+Z> Y// HK&Ul=^VN| 1. 描述
fFDI qX ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
TRP#b 7nC ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Fa<>2KkOr ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
,I6jfXI4 yMaU`z 2. 系统
Le;;Yd}f 5&?[Vt 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
;;e\"%}@=q 3. 透镜系统组件编辑
BIGln`;,f mN^w?R41m ■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。
p7et>;WRx ■ 透镜系统是由序列
光学表面(OIS)定义的。
0U|t@&q ■ 每一个可选项都有独立的
参数,并可以设定。
1(%9)).K ■ 包括序列光学表面和光学介质。
?YE'J~0A6 \WS2g"( 4. 光线追迹系统分析器-选项
]Z\Z_t # &zM.O1Q F.{{gpI ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
SnIH6k0T_ ■ 可以选择选取光线的方法:
7egE." — 在x-y-网格
w`BY>Xft0 — 六边形
#1Zqq([@ — 自由选取
m=Mb'< ■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
L& = a( (~>uFH 5. 系统的3维视图
44Dytpvg YcQ$nZAU
.8o?` 6. 其他系统参数
"PgVvm#w' ■ 系统由单色平面波
照明 l5h+:^#M5c ■ 照明波长266.08nm
L`'#}#O l ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能:
,+w9_Gy2H — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
C@x\ZG5rA — 一个虚拟屏位于焦平面
L
hp —
光束尺寸探测器置于焦平面
f^JiaU4 [ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
PP*6nW8 CzMCd
~*7R 7. 光线追迹系统分析器的结果
@jL](Mq|] { 6
#Qm7s- 光线经过整个光学系统的三维视图
G)|Xj70 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Zv]'9,cbk 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
%x'}aTa iGq%|o> yMG(FAyu ■ VirtualLab可用于计算点列图。
[^Z)f<l ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
@%lkRU) ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
j_I[k8z ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
n?KhBJx 4 Pj-.oS2dA 9. 焦平面上的结果
mkE_ a> ^fiJxU !S.O~Kq ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
jJY{np ■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。
1d$qr` ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
,`Keqfx ■ 此外,背景颜色也可以预先设置。
noNJ+0S ■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
%p48=|+ c"O4=[N: ; 10. 总结
Z~0TO-Q ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
^h$^j ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。
-uKTEG[ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
$u~*V ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
X-=4Z9 1[yy/v'q (来源:讯技光电)