示例.0082(1.0)
o(jLirnk ^)>( <6 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
VrZfjpV $Xlr@)% 1. 描述
2'S&%Uy P ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
~bb6NP;'L ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
k Mch ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
uM[|>t . i4aM;Qy 2. 系统
AtCT ^ w1+b;) 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
~-7/9$ay5 3. 透镜系统组件编辑
/)_4QSz7 Gr2}N"X= ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
C][hH?. ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
C +s/KA% ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
F:ycV~bE ■ 包括序列光学表面和光学介质。
>E J{ * T/P\j0hR 4. 光线追迹系统分析器-选项
?tjEXg>ny H ;nzo3x ]z^jz#>um& ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
h76j|1gI ■ 可以选择选取光线的方法：
.-rz30xT — 在x-y-网格
%MHL@Nn>e — 六边形
Cst1 nGPL — 自由选取
:P_h_Tizv ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
G=17]>U *P*~CHx> 5. 系统的3维视图
iw,uwh|L
PDD2ouv4 
K _VIk'RB 6. 其他系统参数
$mGz J4& ■ 系统由单色平面波
照明 Z . gb' ■ 照明波长266.08nm
tB>!1}v ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
sX~E ~$_g — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
R|qrK — 一个虚拟屏位于焦平面
t^":.}[Q —
光束尺寸探测器置于焦平面
Cu#n5SF* ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
aF?_V!#cT 2: gh q 7. 光线追迹系统分析器的结果
Jl\xE`-7 ;F @S z/ 光线经过整个光学系统的三维视图
lF(v<drkB 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:.g/=Q(T~ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
7/<~s]D[% GW>F:<p K@1gK<,a ■ VirtualLab可用于计算点列图。
|"LHo
H ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
_WWC8?6 U ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
SzpUCr" ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
~Re4zU $||WI}k3V 9. 焦平面上的结果
rwj+N%N 6t; ;Fz UiV#w#&P ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
h<&GdK2U+ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
^oPFLez56 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Nxe1^F33 ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
x] wi& ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
apm% \dN *Ze0V9$' 10. 总结
bQ3<>e\%B ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
} b54O\, ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
* .n Sv @F ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
>A{Dps i\ ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
UeFJ5n'x: ^?Xs!kJP （来源：讯技光电）
