示例.0082(1.0)
qb >mUS KmaMS(A(3 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
xQ@gh
( ( H@BU/{ 1. 描述
nfA#d- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
TZ]o6B b ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
y<*/\]t9L[ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
'A#F < x =Vi>?fWpn= 2. 系统
L(\o66a-rV pXq5|,aC 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
)L%[(iI,x 3. 透镜系统组件编辑
z*OQ4_ S$1dX XT ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
Nm, 9xq ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
[5$Y>Tr! ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
V] 0~BV ■ 包括序列光学表面和光学介质。
}p L#C tU, >EbwO 4. 光线追迹系统分析器-选项
GN@(!V#/4 t+m
ug ahqsbNu1 ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
@/0-`Y@? ■ 可以选择选取光线的方法：
<hM`]/J55 — 在x-y-网格
6qkMB|@ Ix — 六边形
LSW1,} /B — 自由选取
q8P$Md-=b1 ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
iK <v r I.RmBUq):s 5. 系统的3维视图
<-K'9ut, o2r)K AA 
pZO`18z 6. 其他系统参数
vILq5iR ■ 系统由单色平面波
照明 y759S)U>>p ■ 照明波长266.08nm
pG(%yIiAi ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
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M`&$ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
g Q~X;' — 一个虚拟屏位于焦平面
{8Uk] —
光束尺寸探测器置于焦平面
E LqpIXq# ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
C6cEt5 %W:]OPURK 7. 光线追迹系统分析器的结果
=}7[ypQM`] y{]iwO; 光线经过整个光学系统的三维视图
O6Jn$'os1# 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
:{ Q[kYj 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
A q:1 2#?qey pQf5s7 ■ VirtualLab可用于计算点列图。
5
Yf
T ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
yPhTCr5pK ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
:q,tmk h ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
*aT\V64 u?+i5=N9{ 9. 焦平面上的结果
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\c.MIDp" X23#y7: ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
cas5 ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
^CWxYDG* ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
.PJCBT e ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
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T3oE> ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
cczV}m 2) xgV(0H}Mf 10. 总结
rS^+y{7 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
n~|sMpd,M1 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
^B `*4 ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
!<2%N3l ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
:]g>8s WL Tz{f 5c& （来源：讯技光电）
