示例.0082(1.0)
8Ex0[ e 5zU$_ M 关键词：
光线追迹，高数值孔径，点列图，光斑尺寸
@y +Wl*: OR3TRa XD 1. 描述
Xma0k3;- ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的
透镜系统进行分析。
F>OYZOC] ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。
Liofv4![ ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。
pS0T> r i> ;G4 2. 系统
sMZ \6 [eImP
V] 文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
AWw'pgTQX 3. 透镜系统组件编辑
{P Ze!EQ xfb%bkr ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。
J{H475GqiT ■ 透镜系统是由序列
光学表面（OIS）定义的。
q07>FW R ■ 每一个可选项都有独立的
参数，并可以设定。
\a <E3
< ■ 包括序列光学表面和光学介质。
@ B+];lr/- -
0zo>[c/p 4. 光线追迹系统分析器-选项
'2NeuK -KD YV+e];s 46b. = } ■ 分析器允许用户指定使用
光源的光线选项。
di"*K*~y ■ 可以选择选取光线的方法：
E>&dG:3no — 在x-y-网格
#C|iW@ — 六边形
d/e9LK — 自由选取
c8(.bmvF ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。
|nD`0 Rbw yt?# T # 5. 系统的3维视图
1*XqwBV yY}`G-)g~* 
GE>&fG 6. 其他系统参数
k
v b"n} ■ 系统由单色平面波
照明 bp }~{]:b ■ 照明波长266.08nm
fSj ^/> ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能：
3 Tt8#B — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
9vXrC_W9 — 一个虚拟屏位于焦平面
0 'gJSrgNI —
光束尺寸探测器置于焦平面
-50|r;a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。
EM"YjC)F fNQecDuS 7. 光线追迹系统分析器的结果
'i}Q R~pe 'INdZ8j_ 光线经过整个光学系统的三维视图
^ +-i7`|= 光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
oC[$PPqX# 8. 透镜系统后虚拟屏的结果
w!61k \ \2 uQ"kJC GZs e8ng ■ VirtualLab可用于计算点列图。
& ",pPu q ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。
(i { ■ 默认情况下光线显示的颜色比此
波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。
0 ~VniF^ ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
}nkX-PG9 < d?O#( 9. 焦平面上的结果
ondF W}Z'zU?[ $cjidBi`): ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。
1D 6iJ ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。
5@?P 8 ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm
Iu=iC.50} ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。
1%H]2@ ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。
`w2hJP -FwOX~s/' 10. 总结
O0e6I&u : ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。
IS!sJ c ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。
TeQpmhN ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。
7Y:1ji0 l ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。
@`)A ) op ;OPf, （来源：讯技光电）
