切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学设计仿真实验指导 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 京东年货节，领红包！更优惠！
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 现代光学设计及应用(Zemax) CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    123
    • 16974阅读
    • 27回复

    [求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线即兴以来
    技术员
     
    发帖
    265
    光币
    1
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2015-08-01
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余3枚光币 (中奖几率10%)
    现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。 wK+%[i&,  
    求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！ 4=S.U`t7  
    Y '&&1 R  
    EELS-qA  
    Xm./XC  
    a9C8Q l  
    本主题包含附件，请 登录 后查看, 或者 注册 成为会员
     
    回复
    举报
    分享到
    离线yzhuang
    论坛版主
    发帖
    349
    光币
    3203
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2015-08-19
    不用离子源吗？用了离子源后50度咋可能控制在50度？除非设置离子源的功率特小，要不离子源的温升效果也很明显呀
    回复
    举报
    离线即兴以来
    技术员
    发帖
    265
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2015-08-19
    离子源的功率较低，所以整个镀膜过程中温升不明显。
    回复
    举报
    离线dumoty
    工程师
    发帖
    72
    光币
    4739
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2015-08-21
    镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。
    回复
    举报
    离线woshiyiyun
    助理工程师
    发帖
    687
    光币
    3
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2015-08-30
    膜层与基底结合力不够
    回复
    举报
    离线即兴以来
    技术员
    发帖
    265
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  %=w@c  
    E4}MU}C#[  
    请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ {HF,F=W  
    谢谢！
    回复
    举报
    离线即兴以来
    技术员
    发帖
    265
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2015-09-06
    回 woshiyiyun 的帖子
    woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46)  &sA@!  
    )O:T\{7+  
    是的，附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力，不知您有没有好的建议？ e0e3b]  
    谢谢！
    回复
    举报
    离线即兴以来
    技术员
    发帖
    265
    光币
    1
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2015-09-06
    回 dumoty 的帖子
    dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  zKf.jpF^  
    )an,-EIX%  
    退火处理？因为PMMA基板不耐高温，退货处理意义不大吧？ a"pejW`m  
    有点儿不太明白，能否详细说一下？ bqI| wGCA"  
    谢谢！
    回复
    举报
    离线dumoty
    工程师
    发帖
    72
    光币
    4739
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2015-09-07
    应该不可以用酒精擦吧？ h8-'I= ~  
    超声波清洗，走中性或碱性洗剂。 KRN{Ath.  
    用60-70度恒温箱退火，去硬力很必要的步骤。
    回复
    举报
    离线西北风
    实习生
    发帖
    10
    光币
    6
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2015-09-17
    现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123