[求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。 51ILR9 Bc_  
求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！  J@J`)  
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不用离子源吗？用了离子源后50度咋可能控制在50度？除非设置离子源的功率特小，要不离子源的温升效果也很明显呀

离子源的功率较低，所以整个镀膜过程中温升不明显。

镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。

膜层与基底结合力不够

dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  .Z@iz5  

OK \9`  
请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ _I0=a@3  
谢谢！

woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46)  q,=YKw)*  

A$l  
是的，附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力，不知您有没有好的建议？ U/-|hfh  
谢谢！

dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  R[H#av  

B XO,  
退火处理？因为PMMA基板不耐高温，退货处理意义不大吧？ iGNZC{  
有点儿不太明白，能否详细说一下？ /.(F\2+A  
谢谢！

应该不可以用酒精擦吧？ x'V:qv*O  
超声波清洗，走中性或碱性洗剂。 P} Y .  
用60-70度恒温箱退火，去硬力很必要的步骤。

现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589