[求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。 PcDPRX!@  
求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！ 9Ki86  
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描述:膜裂+脱膜

图片:膜裂.jpg

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描述:脱膜

图片:脱膜.jpg

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不用离子源吗？用了离子源后50度咋可能控制在50度？除非设置离子源的功率特小，要不离子源的温升效果也很明显呀

离子源的功率较低，所以整个镀膜过程中温升不明显。

镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。

膜层与基底结合力不够

dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  <=jE,6_|  

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请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ i~l0XjQbs  
谢谢！

woshiyiyun:膜层与基底结合力不够 (2015-08-30 17:46)  $@Hw DRP  

`\O[9.B  
是的，附着力不行。现在的问题就是如何提高结合力，不知您有没有好的建议？ 8]2S'mxE  
谢谢！

dumoty:镀膜前基板要清洗，然后退火2-3h，镀完之后再退火2-3h。 (2015-08-21 13:20)  5n?fZ?6(  

(QqKttL:  
退火处理？因为PMMA基板不耐高温，退货处理意义不大吧？ IjNE1b
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有点儿不太明白，能否详细说一下？ ob-be2EysH  
谢谢！

应该不可以用酒精擦吧？ cl14FrpYu  
超声波清洗，走中性或碱性洗剂。 ><^A4s  
用60-70度恒温箱退火，去硬力很必要的步骤。

现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589