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    [求助]PMMA基板上镀膜，出现膜裂和脱膜，求大神指点！ [复制链接]

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    离线即兴以来
    技术员
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2015-08-01
    回复本帖可获得1枚光币奖励！
    每人最多可获奖1次，奖池剩余3枚光币 (中奖几率10%)
    现在在PMMA基板上镀AR膜，使用Leybold真空镀膜机，电子枪蒸发方式，选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料；会出现膜裂和脱膜现象，使用3M胶带拉，膜层几乎全部脱落；镀膜前基板未经清洗处理，在真空室中加热到50℃，然后停止加热，开始镀膜，镀膜整个过程中温度未超过50℃。 b9TsuY  
    求大神指点，如何改善工艺才能解决膜裂和脱膜的问题，非常感谢！ r;8X6C  
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    离线菲涅尔
    助理工程师
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    只看该作者 26楼 发表于: 02-06
    膜层与基底结合力不够
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    离线f4213705
    技术员
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    只看该作者 25楼 发表于: 2022-06-10
    的，附着力不行
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    离线sgsmta
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    只看该作者 24楼 发表于: 2022-06-09
    改用耐温的PMMA吗？ ~zhP[qA})  
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    离线蚂蚁啃大象
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    只看该作者 23楼 发表于: 2022-05-11
    PMMA基板加硬处理，再镀膜
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    离线凯歌一万年
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    只看该作者 22楼 发表于: 2022-03-25
    这个要用硅铝混合物和五氧化三钛
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    离线xtzxwwb
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    只看该作者 21楼 发表于: 2018-07-14
    回 即兴以来 的帖子
    即兴以来:请问镀膜前怎么清洗，尝试过用酒精，不行！ "'~&D/7  
    谢谢！ (2015-09-06 20:42)  s[#_sR`y  
    DFp">1@`PR  
    用酒精就大错特错了，如果镀膜后也用酒精擦拭，再好的附着力都会脱膜，膜裂
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    离线1592203609
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    只看该作者 20楼 发表于: 2018-07-02
    回 西北风 的帖子
    西北风:现在解决了吗？如果没有可联系我 QQ2860598589 (2015-09-17 15:47)  ;)z+dd#3  
    p21li}Iu  
    能分享一下如何解决的吗？
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    离线斯文未遂
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    只看该作者 19楼 发表于: 2017-07-21
    为什么要用胶带拉呢，上次镀的反射膜就被我用胶带粘完了
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    离线lzh123
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    只看该作者 18楼 发表于: 2017-07-08
    就是膜应力问题，
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