可以用幾種工具 Q>\y%&df
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1.Macleod |ITSd%`3_
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2.橢圓偏振儀 [4)q6N5`f
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3.optilayer %w
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先簡單說一下macleod怎麼使用 sb
3l4(8g
d4"KM+EP?
準備工具 <ex,@{n4
kyQUaFG
1.macleod程式 p5<2t SD
(<ybst6+I
2.空白基板之穿透 ;Qpp[V`
{^TV Zdw
3.待測物之穿透 GO@pwq<
b6Jv|1w'
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 5#~ARk*?a
5t6!K?}
5.計算 0 S3~IeJ
:tP:X+?O
6.即可得到NK值及總厚度 zV)Ob0M7U
6d~[M y
不懂再提出 S>~QuCMY
7
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