可以用幾種工具 Fj!U|l\_9
y)<q/
1.Macleod (tO\)aS=
phz&zlD
2.橢圓偏振儀 (V@HR9?W)
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3.optilayer dF2RH)Ud
tl>7^hH
先簡單說一下macleod怎麼使用 WY]s |2a
Ea=P2:3*
準備工具 yh=N@Z*zP
Xnh8e
1.macleod程式 *lb<$E]="!
:zR!/5
2.空白基板之穿透 K>
e7pu
z?//rXuO
3.待測物之穿透 Ir]\|t
?h2}#wg
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 y+q5UC|
DV{=n C
5.計算 ,u!sjx
y+;|Fz
6.即可得到NK值及總厚度 1YMh1+1
J=yTbSN\v
不懂再提出 nj4/#W
Y\tui+?J