可以用幾種工具 {'16:dTJ
&rkEK4
1.Macleod <b/~.$a'
'+j} >Q
2.橢圓偏振儀 nQ|r"|g
vkLC-Mzm<
3.optilayer gm9mg*aM
r>GZ58i
先簡單說一下macleod怎麼使用 @
P|LLG'
!mXxAo
準備工具 |yo\R{&6
Y.^=]-n,
1.macleod程式 m7T)m0
p }[zt#v
2.空白基板之穿透 pRSOYTebP
!|c|o*t{
3.待測物之穿透 []s^
>
xIJE2
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 nC{%quwh{
0a"igq9t
5.計算 02BuX]_0g
wf1lyS
6.即可得到NK值及總厚度 b,8{ X<
Q]p(u\*
不懂再提出 4Vq%N
vFEQ7qI