可以用幾種工具 E Z95)pk
x}t,v.:
1.Macleod pBV_'A}ioh
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2.橢圓偏振儀 AV\6K;~
Nf(Np1?;c
3.optilayer bM[!E 8dF
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先簡單說一下macleod怎麼使用 #jAlmxN
O(U'G|
準備工具 I^>m-M.
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1.macleod程式 ?}4 =A&][
[\(}dnj:
2.空白基板之穿透 es}j6A1
n]$50_@
3.待測物之穿透 acd8?>%[
W`HO Q
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 d1YE$
+DMD
g.
5.計算 jb~2f2vUa
sHC4iMIw
6.即可得到NK值及總厚度 <xOv0B
thWQU"z4
不懂再提出 1<Fh
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