可以用幾種工具 |mT1\O2a
^ LVKXr
1.Macleod me$nP}%C&
m|Sf'5fK
2.橢圓偏振儀 q2*1Gn9!j
$f+cd8j?o
3.optilayer #dQFs]:F
5 hW#BB
先簡單說一下macleod怎麼使用 A[uB)wWsn
}4kQu#0o")
準備工具 P 2)/!+`a
WG
+]
1.macleod程式 -#,4rN#
s01=C3
2.空白基板之穿透 <7`U1DR=
Hp[i8PJ
3.待測物之穿透
b(t8TR#-
;9'] na
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 FT!X r
IUz`\BO4
5.計算 !\cVe;<r
15d'/f
6.即可得到NK值及總厚度 kt+h\^g
K9+\Z
不懂再提出 O)D$UG\<
QWE\Ud.q