可以用幾種工具 =TB_|`5;j
jU,Xlgz(A
1.Macleod k.T=&0J_1
5>532X(0
2.橢圓偏振儀 f%Q)_F[0D4
1/_g36\l$
3.optilayer [K{{P|(q
m0HK1'
先簡單說一下macleod怎麼使用 6W1GvM\e
Z9{~t
準備工具 3^xUN|.F*V
'C+cQLig@
1.macleod程式 g` rr3jP
ldv@C6+J
2.空白基板之穿透 bQ<qdGa
q?,PFvs"
3.待測物之穿透 XqH@3Ehk
*D5 xbkH=.
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 Xr*I`BJ
xJq|,":gj
5.計算 hCxg6e<[
{q>%Sr]9
6.即可得到NK值及總厚度 (m]l -Re
GT{4L]C
不懂再提出 K:Z$V
Z)!8a$M~