可以用幾種工具 +TeFt5[)h
,pq{& A
1.Macleod {OT:3SS7
1u]P4Gf=
2.橢圓偏振儀 K#K\-TR|$
4ZT A>
3.optilayer ,/&Zw01dGN
A1cb"N^
先簡單說一下macleod怎麼使用 ly4Qg\l
V'Qn sI
準備工具 o%M<-l"!/
ID};<[
1.macleod程式 <XQ.A3SG!
<
/p8r
2.空白基板之穿透 i}TwOy<4s
h3u1K>R)
3.待測物之穿透 qH%")7>
7N2\8kP
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 w#G2-?aj
9x~-*8aw
5.計算 j?(!^ _!m
6k])Kl J2;
6.即可得到NK值及總厚度 U; xF#e
s[3fqdLP&
不懂再提出 ySdN;d:q
=~FG&rk^