可以用幾種工具 c<pr1g
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1.Macleod !;zacw
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2.橢圓偏振儀 Le|Ho^h,Y
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3.optilayer H5^'J`0\
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先簡單說一下macleod怎麼使用 B=u@u([.
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準備工具 0&2TeqsLh)
~Q>97%
1.macleod程式 ;}=v|Dr&I.
7evE;KL
2.空白基板之穿透 \96?OCdr
~O
65=8
3.待測物之穿透 d_1w
9FA
w# ,:L)
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 I/pavh
6b6}HO
5.計算 7W5FHZd'
v&xk?F?WU,
6.即可得到NK值及總厚度 ,DXNq`24
R`!x<J
不懂再提出 Y>R|Uf.o z
>m44U 9