可以用幾種工具 +C'XS{K,#
8jRs=I
1.Macleod yC
W*fIaq
d'ZS;l
2.橢圓偏振儀 ^uia`sOP4
VLiIO"u;
3.optilayer cI2Fpf`2Wj
!6M Bxg >
先簡單說一下macleod怎麼使用 X` ATH^S
5B1G?`]?
準備工具 cC'
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1.macleod程式 L~IE,4
,"B?_d6
2.空白基板之穿透 fO6[!M(
y`4{!CEyLW
3.待測物之穿透 _l<mu? "
0mTEim
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 rOW;yJ[
j?xk&
5.計算 R\*)@[y9l
fe|g3>/|
6.即可得到NK值及總厚度 $ADPV,*gG
Jn=42Q:>
不懂再提出 :/6()_>bO
|=O1Hn