可以用幾種工具 J+|ohA
PrKlwhi#
1.Macleod (MIw$)#^
KE&}*Nf[
2.橢圓偏振儀 1=a}{)0h
"AK3t'
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3.optilayer )|a9Z~#x
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先簡單說一下macleod怎麼使用 eztk$o
7Mv$.Z(
準備工具 N]<gHGj}
c-=0l)&'D=
1.macleod程式 f,a %@WT
ZtLn*M
2.空白基板之穿透 <"+C<[n.
ZO1J";>u
3.待測物之穿透 bN&da
[K
"\[>@_p h
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 RHbp:Mlk
8 vw]u_e
5.計算 8W>l(w9M
R4(8]oUW
6.即可得到NK值及總厚度 ECzNByP
K-u/q6ufK
不懂再提出 $\!;*SSj
Vgn1I(Gj 4