可以用幾種工具 5toNEDN
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1.Macleod ~epkRO="
@L7rE)AU.
2.橢圓偏振儀 @gk[sQ\O
akwVU\RP
3.optilayer r?7^@
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先簡單說一下macleod怎麼使用 ^PszZ10T
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準備工具 d|lzkY~
8t; nU;E*
1.macleod程式 2US8<sq+
*i90[3l
2.空白基板之穿透 ?~8V;Qn
W;W\L? r
3.待測物之穿透 T;7|d5][
8a1{x(\z.
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 [c~zO+x
Rk^&ras_
5.計算 0't)fnI#
2Hj]QN7"
6.即可得到NK值及總厚度 d7Z\
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不懂再提出 ='azVw%_
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