可以用幾種工具 2*D2jw
'QE8
1.Macleod p_Xfj2E4c
LkJq Bg
2.橢圓偏振儀 TYuP
EVEXZ
HCOsVTl,
3.optilayer l^R:W#*+U
O;VqrO
先簡單說一下macleod怎麼使用 8x1!15Wiz
e Fs5l
準備工具 b$Hbo;_
uO1^Q;F
1.macleod程式 ? /!Fv/
! =21K0~t#
2.空白基板之穿透 {($m LfC4
Qf0P"s`
3.待測物之穿透 {@KLN<
;fqp!|J
4.選取1/4波長(1/2波長)位置 X#axCDM-
,'c%S|]U7
5.計算 Z%o.kd"
Y_*KAr'{P
6.即可得到NK值及總厚度 o
Rk 'I
|6-9vU!LK?
不懂再提出 $!G|+OuTR
MkVv5C