精密光学元件先进测量与评价（作者：程灏波）

《精密光学元件先进测量与评价》结合光学测量技术的最新发展，针对目前光学领域中先进光学测量技术进行了详细的探讨，主要涉及技术起源与发展、原理、优缺点、具体的测量设备，以及相关的测量方法和精度。 r<O^uz?Di  
《精密光学元件先进测量与评价》分为6 章，第1 章归纳了光学元件质量表述和评价方式，阐述了光学干涉测量技术的基本知识与原理；第2～5 章分别介绍了子孔径拼接轮廓测量、接触式轮廓测量、结构光轮廓测量和亚表面损伤检测；第6 章介绍了其他相关的光学测量方法。 Em@h5V  
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目录 _'H<zZo  
前言 6EK+]0  
第1章绪论 H]=3^g64  
1.1概述 ".xai.trr  
1.2光学元件质量评价 =pcj{B{qa  
1.2.1表面质量评价 n/?5[O-D]  
1.2.2亚表面质量评价 #K!Df%,<  
1.3干涉测量基础知识 ''BP4=r5n  
1.3.1干涉原理 vo`wYJ3W  
1.3.2典型干涉测量结构 ].dTEzL9X  
第2章子子L径拼接轮廓测量 @?Y^=0  
2.1概述 ]QT0sGl  
2.2圆形子孔径拼接 {|xwvTlJ  
2.2.1拼接原理 0uU%jN$  
2.2.2拼接算法 /"CKVQ  
2.3环形子孔径拼接 @LL&ggV?  
2.3.1孔径划分 SC2C%.%l`  
2.3.2拼接原理 F`I-G~e  
2.3.3拼接算法 v[a#>!;s  
2.4广义子孔径拼接 }aNiO85  
2.4.1广义环形子孔径拼接算法 ;@d%<yMf@  
2.4.2计算机模拟 6>=>Yj  
2.5子孔径拼接优化算法 4nl>&A
V  
2.5.1调整误差分量及其波像差 E;
4Ns  
2.5.2环形子孔径拼接优化模型 @IiT8B  
2.5.3仿真研究 M2@q
{RiS  
2.6测量系统 50DPzn  
2.6.1SSI—300子孔径检测平台 4(aesZ8h  
2.6.2实验研究 K%=n \Y  
2.7超大口径拼接检测 lIFt/  
2.7.1方案设计 <Z m ,q}  
2.7.2拼接算法 }uHc7gTBF7  
2.8小结 h{* O9O<  
参考文献 "ZyHt HAK  
第3章接触式轮廓测量 2/7=@>|  
3.1概述 =H,cwSE+%  
3.2测量理论基础 Ar<OP'C  
3.2.1测量原理 K%pmE?%,8  
3.2.2坐标系和坐标变换 oyr2lfz*  
3.2.3检测路径 HJJ^pk&  
3.2.4二次曲面系数研究 >|Jw,,uf  
3.2.5离轴镜测量模型 3,vH:L4  
3.3测量系统 `90v~OF  
3.3.1测头系统 ,K9UT#h  
3.3.2系统设计 /hX"O?^  
3.4误差分析 /5x`TT  
3.4.1误差源分类 KFZ[gqW8YY  
3.4.2固有误差 1=;QWb6  
3.4.3随机调整误差 7%E1F)%  
3.4.4接触力诱导误差 =O;SXzgE  
3.4.5高阶像差误差分析 I }/Oi]jA6  
3.5小结 <y.D0^68  
参考文献 iO!lG  
第4章结构光轮廓测量 ^mum5j
 
4.1概述 *[SsvlFt  
4.2基于结构光原理的测量方法 '!.;(Jo  
4.2.1傅里叶变换轮廓术 y:A0!75  
4.2.2相位测量轮廓术 poeXi\e!(  
4.2.3莫尔测量轮廓术 8zc!g|5"  
4.2.4卷积解调法 '.K,EM!-~h  
4.2.5调制度测量轮廓术 KvD$`"L/CT  
4.3测量系统及其标定 n21$57`4  
4.3.1结构光三维测量系统 xF/DYXC{8  
4.3.2系统参数标定 lXPn]iLJ  
4.3.3快速标定方法 Yjl0Pz.q  
4.4位相展开算法 eurudl  
4.4.1位相展开的基本原理 kW!:bh  
4.4.2空间位相展开方法 4jz]c"p-  
4.4.3时间位相展开方法 @}?D<O8#"#  
4.4.4光栅图像采集与预处理 MzG ryM-  
4.5测量误差分析 x5|v# -F ^  
4.5.1光栅图像非正弦化过程与误差分析 6g"<i}_|  
4.5.2非线性误差矫正方法 *h4m<\^U  
4.6小结 dI!/:x  
参考文献 Qwa"AY5pW  
第5章亚表面损伤检测 od}x7RI%m  
5.1概述 u W|x)g11a  
5.2亚表面损伤产生机理与表征 U]D.z}0  
5.2.1产生机理 "<2bjy  
5.2.2表征方法 >Y+KL  
5.3亚表面损伤检测技术 *_QHtZG  
5.3.1破坏性检测 z`5I1#PVA  
5.3.2非破坏性检测 ,jnRt%W  
5.4工艺试验 /a(zLHyz)  
5.4.1亚表面损伤的测量 i/J NG  
5.4.2亚表面损伤和工艺参数的关联 LgNNtZ&F  
5.4.3损伤抑制策略 be/1-=m  
5.5小结  7q:bBS  
参考文献 lkZC?--H  
第6章其他测量技术 _cw^5  
6.1移相干涉测量技术 "J5Pwvs-  
6.2动态干涉测量技术 nTU~M~gky  
6.3剪切干涉 | q16%6q  
6.4点衍射干涉 #(IMRdUf  
6.5白光干涉测量技术 BNCJT$tYX  
6.6外差干涉测量技术 SU'1#$69F  
6.7补偿法检测非球面 ;0!
Wd  
6.8计算全息法检测非球面 tTFoS[V  
参考文献 x#0@$  
文摘 4)iEj  
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