摘要
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Nj<}t/e J.r^"K\ 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
/7
CF f&4 s^{hdCCl67 设计任务
2L<iIBSJwm Sd!!1as
h2SVDKj GxL;@%B 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
\<}4D\qz zF9SZ#{a 扫描参数空间以获取初始解
f.%mp$~T 6fozc2h@x%
-_bnGY%, 7S_rN!E1i* 初始解#1的参数优化
7<<-\7` [\ M$a|K
mIK-a{?G "B~c/%#PH 最终设计#1的性能分析
ADTx _tE Nq`@ >Ml
PgeC\#;9 .$r=:k_d 初始解#2的参数优化
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CEwMPPYnD 6`>WO_<z 最终设计#1的性能分析
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:2'y=t # F3-<F_4.w VirtualLab Fusion一瞥
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:!SVpCt3 VirtualLab Fusion中的工作流程
s$cr|p;7# }e7os0;s 构建
光栅结构
#DBg8 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces q#{.8H-X' ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 'pCZx9*c 分析光栅
衍射效率
)w?DB@Tx ─
Grating Order Analyzer ! :[`>=! 使用参数运算寻找初始解
7#~v<M6 ─
Usage of the Parameter Run Document F/ZB%;O9 使用参数优化确定最终解
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'w VirtualLab Fusion技术
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