摘要
bMGXx>x Dlg9PyQ R%6KxN)+@ dH)\zCt 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
S5[}kfe >[S\NAE> 设计任务
:@~mN7O* 7*>,BhF# 814cCrr,o #9t3 <H[ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
VjJ}q*/3e EzU3'x 扫描参数空间以获取初始解
%*OQH?pyx} }(!3)k7* Z6#(83G4 a1z*Z/!5 初始解#1的参数优化
Bw>)gSB5$k rC6@
] s#FX2r3=Fg C0W-}H 最终设计#1的性能分析
@4Lol2 dst!VO:
M nnCz!:9p u<EPK*O* 初始解#2的参数优化
T!-ly7-` T=':$(t c]NZGn* JG@Zb}b 最终设计#1的性能分析
4xgfm.9I^ @[bFlqsE Tr,
zV #!t6'* VirtualLab Fusion一瞥
.f`KP!p. 2:&L|; mpD[k9`x# cC9haxW VirtualLab Fusion中的工作流程
Gm=e;X;r 8Fv4\dr 构建
光栅结构
rN'}IS@5 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces tc{Qd&"( ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media eg"A?S 分析光栅
衍射效率
FY
pspv?4 ─
Grating Order Analyzer ]3uj~la 使用参数运算寻找初始解
g#o9[su ─
Usage of the Parameter Run Document ,;n[_f 使用参数优化确定最终解
Jt3*(+J>/ e8{!Kjiz VirtualLab Fusion技术
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