摘要
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-uK@2}NZ
5sMyH[5zY 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
Of$gs- @v\jL+B+m 设计任务
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qQ<7+z<4KP w>#.id[k 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
yH@2nAn qB=%8$J 扫描参数空间以获取初始解
=$%_asQJ Q"{Q]IT
r%oXO]X 771r(X?Fa 初始解#1的参数优化
'~Gk{'Nx" ^$\#aTyFK
1\Vp[^#Vx 0bMbM^xV6 最终设计#1的性能分析
yCye3z. |G>Lud
Q%RI;;YyA IQ}YF]I; 初始解#2的参数优化
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X=b]Whuv K"ytE2:3 最终设计#1的性能分析
X1~ B V_7QWIdiy>
4EEXt<c. 0Z~G:$O/i VirtualLab Fusion一瞥
q1o)l |-k~Fa
bG9$ &, V4
Wn VirtualLab Fusion中的工作流程
w4p<q68 Dmv@ljwO 构建
光栅结构
lilF _y ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces qc`UDD5 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media +q4AK<y- 分析光栅
衍射效率
.1& F p ─
Grating Order Analyzer lvZ:Aw
r 使用参数运算寻找初始解
3sq(FsT ─
Usage of the Parameter Run Document 5;-?qcb^w 使用参数优化确定最终解
CpF&Vy K |yow(2(F@ VirtualLab Fusion技术
.9;wJ9Bw[ at `\7YfQp