摘要
&,':@OQ ]3#_BL)M8p ~..h= %j=E}J<H5* 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
<_""4 B\bIMjXV 设计任务
D@H'8C\ rS9*_-NH 6YT*=\KT #'z\[^vp 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
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{ %@(6,^3%i 扫描参数空间以获取初始解
{rOz[E9vm \@4QG.3& C78d29 e*vSGT$KgL 初始解#1的参数优化
Dbyy H_ kYs2AzS{d "/hs@4{u9 6"
3!9JC 最终设计#1的性能分析
RCNqHYR URR|Q!D R4}G@&Q =}7wpTc, 初始解#2的参数优化
@6.1EK0 Xu HJy >T~{_|N ~C=`yj 最终设计#1的性能分析
c#9 zw[y-L r3ZY`zf Q}]:lmqH O\OG~`HBN VirtualLab Fusion一瞥
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cFzyE* VirtualLab Fusion中的工作流程
_F^|n}Qbj $K<jmEC@< 构建
光栅结构
KUH&_yCRB ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces Q*$x!q ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media @oYq.baHX 分析光栅
衍射效率
)#3,y6 ─
Grating Order Analyzer |c 8p{) 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document wrsETB
c 使用参数优化确定最终解
{yVi/*;f^ RWTv,pLK VirtualLab Fusion技术
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