摘要
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\[Ugh 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
HOP*QX8C% )^ah, ;( 设计任务
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qbv\uYow3k >(Y CZ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
yvYMk(LSF ybBmg'198 扫描参数空间以获取初始解
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(P|[<Sd ?})A-$f ~ 初始解#1的参数优化
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ukiWNF/ xb;{<~`71 最终设计#1的性能分析
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<V&0GAZ 7:jLZ!mgi 初始解#2的参数优化
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gNCS*a :PO./IBX 最终设计#1的性能分析
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$mQ0w~:@ =]7o+L4 VirtualLab Fusion一瞥
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K<>kT4 h4;kjr}h} VirtualLab Fusion中的工作流程
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0\9' S/]\GG{ 构建
光栅结构
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Configuration of Grating Structures by Using Interfaces b>-DX ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media FLi'}C 分析光栅
衍射效率
)WqolB ─
Grating Order Analyzer <*(Z}p 使用参数运算寻找初始解
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Usage of the Parameter Run Document | v!N1+v0 使用参数优化确定最终解
oZBD.s !xsfhLZK VirtualLab Fusion技术
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