摘要
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)Wy:I_F351 #z =$*\u 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
W
H%EC$ s)G?5Gz 设计任务
a=
(v S 1ZY~qP+n+
`r]C%Y4? k
[iT'] 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
sBa&]9>m R$bDj>8 扫描参数空间以获取初始解
Xi0fX$-, sAS[wcOQ
4q\&Mb3 -8yN6
0| 初始解#1的参数优化
)]C(NTfxg 5c$\DZ(
JPM~tp?;< oSLm?Lu 最终设计#1的性能分析
]GBlads Lk.tEuj=82
%D3Asw/5a U(2=fKK; 初始解#2的参数优化
n(W&GSj|u9 Hu+GN3`sx^
40G'3HOp S0`u!l89( 最终设计#1的性能分析
9XhcA #^{%jlmHxJ
\_x~lRqJJ W3jwc{lj VirtualLab Fusion一瞥
R>B6@|}? QUDpAW
]f>0P3O5& M(vX.kF VirtualLab Fusion中的工作流程
CA5T3J@vAQ P !I Lji! 构建
光栅结构
$b)t`r+ ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces T+oOlug ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media 6!SW]#sD 分析光栅
衍射效率
4v`G/w ─
Grating Order Analyzer 1024L; 使用参数运算寻找初始解
$Z3{D:-) ─
Usage of the Parameter Run Document t N4-<6 使用参数优化确定最终解
5_1\{lP 'Y/kF1,* VirtualLab Fusion技术
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