摘要
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4"(zi5`e 9Zsb1 M!n> 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
xy3%z "}+/0$F 设计任务
Hf{%N'4 (#iM0{
P2JRsZ. Lbp6I0&n 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
^|;4/=bbs .%Q Ea_\ 扫描参数空间以获取初始解
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HYmUxheN2 32P ]0&_O 初始解#1的参数优化
^tcBxDC"] c!^}!32j)
=T4w: NB+O; 最终设计#1的性能分析
k+M-D~@5H Qb{5*>
)_K@ ?rWS W(4?#lA2W 初始解#2的参数优化
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=T}uQ$X QXj(Urp 最终设计#1的性能分析
i4rF~'h@ 7zZ|=W?&{
RcP5].^T {=7i}xY]T VirtualLab Fusion一瞥
A_|FsQ6$P A'(F%0NF6
f.^w/ GJO/ E}&jtMRUt VirtualLab Fusion中的工作流程
Nb/%>3O@ S9oGf 构建
光栅结构
@0'|Uygn ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces ACltV"dB^ ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media <j3HT"^[D 分析光栅
衍射效率
p;=(-4\V} ─
Grating Order Analyzer toJ&$HrE 使用参数运算寻找初始解
KZfRiCZ ─
Usage of the Parameter Run Document 5K~6` 使用参数优化确定最终解
:K:gyVrC }h6z&:qA[? VirtualLab Fusion技术
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