摘要
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_|xO4{X [rv"tz= 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
6~sb8pK.= *
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:,5 设计任务
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+;`[b 7=t4;8|j; 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
{%xwoMVc+ p q7G[ 扫描参数空间以获取初始解
~k?7XF I ^!-*xH.dK
n4+l,~ Jz
s.) 初始解#1的参数优化
Y@N}XH<4R 9D:p~_"g
"o/:LCE m(E-?VMHo 最终设计#1的性能分析
3(G}IWPq< XKB)++Q=
Y~vI@$<~( quHq?oXV, 初始解#2的参数优化
TU{^/-l Z:W6@j-~
Cfu]umZLn >S3iP?V7 最终设计#1的性能分析
`:!mPNW# O^48c$Apv
:}0y[qc3 F6R+E;"4R' VirtualLab Fusion一瞥
Vm6G5QwM Tw"u{%t
$-m@cObw!. Y;d$x}dh VirtualLab Fusion中的工作流程
cdfJa z9pv| 构建
光栅结构
IlJ6&9 ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces U7O~ch[, ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media SuU,SE'TX 分析光栅
衍射效率
YU.aZdA&V3 ─
Grating Order Analyzer %KK6}d# 使用参数运算寻找初始解
fOCLN$x^ ─
Usage of the Parameter Run Document f4)fa yAVp 使用参数优化确定最终解
ya3A^&: 0gw0 VirtualLab Fusion技术
>&3M
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