摘要
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ZQ_xDKqRV 87:!C5e} 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
6oLwfTy ]u4Hk?j~< 设计任务
~er\~kp /ODXV`3QYI
)//I'V &Y
4F!Rb 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
9lGOWRxR) \MjJ9u `8 扫描参数空间以获取初始解
1Wm)rXW[x AJSx%?h:6
cs1l~bl +T=(6dr 初始解#1的参数优化
7\f\!e < d'/TdVM
v.:3"<ur} ~(pmLZ<GW} 最终设计#1的性能分析
_R.B[\r@ TQ{Han!
"TUe%o GrTulN? 初始解#2的参数优化
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KN?6;G{ ,RgB$TcE 最终设计#1的性能分析
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^2$ lJ 3/b;7\M VirtualLab Fusion一瞥
=xNv\e ^S)cjH`P
: C b&v07 5Q 'i2*j VirtualLab Fusion中的工作流程
#7ov#_2Jd >IX/<
{);M 构建
光栅结构
hSK;V<$[Z ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces rQEyD ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media zCOgBT~p 分析光栅
衍射效率
hUD7_arKF
─
Grating Order Analyzer k6Uc3O 使用参数运算寻找初始解
Vpr/ ─
Usage of the Parameter Run Document o/C\d$i' 使用参数优化确定最终解
9_QP !, uA$<\fnz VirtualLab Fusion技术
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