摘要
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V[rNJf1z i8Y l1nF 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
X+?*Tw!\ ~;Ss)d 设计任务
0$":W `a3q)}*Y OzX\s= ~AS2$ 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
<E&1HeP %R7Q`!@8 扫描参数空间以获取初始解
p%]*I? NA]7qb%%< *<Fz1~%* xQk]a1 初始解#1的参数优化
pIC CjA?3@ r*0a43mC1 8}{';k @zT.&1;` 最终设计#1的性能分析
?*9U
d #CW]70H` iL/(WAB_od HP3~.1Sp 初始解#2的参数优化
E@JxY (X)$8y ,B5Ptf# O->i>d 最终设计#1的性能分析
6IctW5b jMzHs*: A0V"5syY 6@]Xwq VirtualLab Fusion一瞥
pyT+ba# !_?<-f( S/G,A,"c HdJLD+k/ VirtualLab Fusion中的工作流程
fB3O zff h$f/NSct2 构建
光栅结构
E:D1ZV ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 6mep|![6 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media P>)-uLc~W 分析光栅
衍射效率
x/[i &Gkv ─
Grating Order Analyzer L`R,4mI.W 使用参数运算寻找初始解
=<O{t#] ─
Usage of the Parameter Run Document it&c
,+8 使用参数优化确定最终解
95T%n{rz i\3BA"ZX VirtualLab Fusion技术
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