摘要
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Cmp5or6d (_]!}N 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
z9!OzGtIR CH#K0hi 设计任务
hQ}_(F_H q6ZewuV.
+v~x_E5FP -&Q+x,.% 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
FJ^\K+; K$:+]fJK 扫描参数空间以获取初始解
^?wR{q"8 +$Y*1{hyOo
R58NTPm ]Ok'C"V(j 初始解#1的参数优化
3IJ0 P.x!o E%(s=YhW
3 yw$<lm QT5pn5+ z 最终设计#1的性能分析
UCXRF ;l1.jQh
9]{va"pe7 4l{$dtKbI 初始解#2的参数优化
ak-agH B`t/21J
<W>A }}q &4+|{Zx0 最终设计#1的性能分析
^|=P9'4Th &2U%/JqY
SQhVdYU1'
x.4z)2MO VirtualLab Fusion一瞥
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/G|v.#2/g "*t0
t VirtualLab Fusion中的工作流程
W9pY=9]p+ ,Tu.cg 构建
光栅结构
I 44]W & ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 5eE\
X / ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media
W~2,J4= 分析光栅
衍射效率
S0Io$\ha ─
Grating Order Analyzer 8zpzVizDG 使用参数运算寻找初始解
/t<
& ─
Usage of the Parameter Run Document 7y&6q`y E 使用参数优化确定最终解
z HvE_- $,J0) ~ VirtualLab Fusion技术
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