摘要
]=s!cfu 3)F9:Tzw1
T;cyU9 y8Q96zi 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
+3HukoR( !Gv*iWg 设计任务
2?",2x09 2v!ucd}
?;{fqeJz 'Zq$W]i 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
#RE L{v^: 扫描参数空间以获取初始解
+%Vbz7+! /UJ@e
omxBd#;F$ z|Z<S+=f 初始解#1的参数优化
kzA%.bP| DzZ)aE
P;&rh U^[ -Cb<T"7 最终设计#1的性能分析
*wNX<R. #z|\AmZ\
^y@RfM=A {x{/{{wzv 初始解#2的参数优化
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Vb|;@*=R&Q *>Z|!{bI 最终设计#1的性能分析
RB5fn+FiZ ap;tggi(H
'4PAH2&n )PC(1Zn VirtualLab Fusion一瞥
FzOr#(^ Luxo,Ve
32_{nLV$[ 4X2XSK4 VirtualLab Fusion中的工作流程
s5 2c`+ qp(F}@ 构建
光栅结构
ALw5M'6q0\ ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces qyP|`Pm4 ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media K)2ZH@ 分析光栅
衍射效率
WZk\mSNV ─
Grating Order Analyzer &Mset^o 使用参数运算寻找初始解
AL.zF\? ─
Usage of the Parameter Run Document -e=p*7'] 使用参数优化确定最终解
xF)AuGdp\ {~g(WxE VirtualLab Fusion技术
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