摘要
$'Pn(eZHGv Kmy'z
$qz(9M(m# yH`4sd 对于许多
光学应用来说需要减少表面反射。控制表面反射的一种非常有效的方法是使用抗反射的
纳米或微米
结构,启发来源于自然界(蛾眼)。这些具有亚
波长范围特征尺寸的结构表现出关于波长和
角度依赖性的独特性质。在本文中,介绍了
VirtualLab Fusion中确定抗反射结构的分析和设计。
hKkUsY=R c}XuzgSY 设计任务
D.7,xgH {?2jvv
T6/d[SH> euxkw]`h6 如何
优化抗反射蛾眼结构的
参数?最小化空气-PMMA界面的反射?
a#i85su Gp 8%n 扫描参数空间以获取初始解
z@70{* Tbf@qid e
.`I;qF =J@M,mbHg 初始解#1的参数优化
j@w+>h =1!,A
l ~bjNhk Drn{ucIs 最终设计#1的性能分析
V)pn)no'V N3M:|D
w@K4u{| C(w?`]Qs 初始解#2的参数优化
BIu%A]e" It5U=PU
`zRE $O D)kh"cK*1 最终设计#1的性能分析
tVAWc$3T t>f61<27eB
A$6T) {"^LUw8fd VirtualLab Fusion一瞥
bHJKX>@{ [Ej#NHs
m7dpr$J $`KddW0_ VirtualLab Fusion中的工作流程
"-y2En 73n|G/9n[ 构建
光栅结构
4yZ'+\ +I ─
Configuration of Grating Structures by Using Interfaces 5g x9W\a ? ─
Configuration of Grating Structures by Using Special Media L9lN AiOH 分析光栅
衍射效率
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Grating Order Analyzer 8vk*", 使用参数运算寻找初始解
9+z5$ ─
Usage of the Parameter Run Document 2yB@)?V/ 使用参数优化确定最终解
zC@ ziH>{] rNi]|)-ET VirtualLab Fusion技术
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