[求助]如何计算Tooling值 [复制链接]

请教各位老师如何计算Tooling值,非常感谢!!!!!!!

求老师提点下。。。

镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 a_%>CD${t  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling $W,zO|-  
~U%j{8uH  
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm /7vE>mSY  
O6]u!NqG  
那么tooling=1200/(100*1000)

谢谢指教＠！

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 HS(U4  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  r(]98a]o~  

TqXge{r  
谢谢指教

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 dJloH)uJZ>  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  qI(W$  

"pOqd8>]  
对 应该是个修正因子的意思吧

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 ?lu_}t]  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  Tm(Q@  

xeJ9H~^  
谢谢指教

谢谢一楼