[求助]如何计算Tooling值 [复制链接]

请教各位老师如何计算Tooling值,非常感谢!!!!!!!

谢谢一楼

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 =|#-Rm^YB  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  y(S0 2v>l  

aLq;a  
谢谢指教

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 f,#xicSB*  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  ;:4puv+]  

\2`U$3Q  
对 应该是个修正因子的意思吧

fly6947:镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 2XHk}M|  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm
....... (2014-07-29 16:47)  MlFvDy  

7;NV 1RV  
谢谢指教

谢谢指教＠！

镀单层膜。。测出来看中心波长位置。。再导入膜系软件，优化出物理厚度 yU,xcq~l  
镀的厚度除以物理厚度就是tooling 2-aYqMmT;  
u9w&q^0dqG  
比如，我镀单层MGF2  1200A    优化物理厚度100nm v\,%)Z/  
2<Bv=B  
那么tooling=1200/(100*1000)

求老师提点下。。。