测量平行表面面形,不对后表面进行处理
对于平行度非常好的平面元件、或两个平面,如何单独地测量出其中一个平面的面形? 由于平行度比较好,如果直接使用干涉仪测量,一般会看到两套条纹,一套是被测表面的面形条纹,一套是前后表面自相干的条纹(如图1左)。为了消除自相干条纹的影响,一般都是对后表面做些处理,比如涂凡士林、橡皮泥或淋乙醇等;这样才能消除或抑制后表面对前表面的干涉。但是对于某些特殊材料,采用这类手段或造成表面污染,或改变表面的状态,因而不适用。因此需要采用其它方法来消除平行表面间的条纹干扰。 ![]() 不仅如此,FizCam2000还可以透过前表面测量后表面,当然,这种测量结果中也包含了前表面的面形误差和材料的不均匀性。 图2是个平行薄片的测量图 |