电容式真空压力传感器

E+H公司的电容式压力传感器是由一块基片和厚度为0.8～2.8mm的氧化铝(Al2O3)构成,其间用1个自熔焊接圆环钎焊在一起。该环具有隔离作用,不需要温度赔偿,可以保持长期测量的可靠性和持久的精度。测量方法采用电容原理,基片上一电容CP位于位移最大的膜片的中央,而另一参考电容CR位于膜片的边沿,由于边沿很难以生产生位移,电容值不发发生变故化,CP的变化则与施加的压力变化有关,膜片的位移和压力之间的关系是线性的。遇到过载时,膜片贴在基片上不会被破坏,无负载时会立刻返回原位无任何滞后,过载量可以达到100%,即使是破坏也不会泄漏任何污染介质。因此具有广泛的应用前景。 tCuN?_UG  
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电容式真空传感器只是压力传感器的以的一种，传感器的总类还是挺多的，如电压压力传感器、光纤传感器、电阻传感器、离子传感器…… _{lx*dq