爱德华 EDWARDS PUMP 真空泵
东益科技集团有限公司 DONG YI TECHNOLOGY GROUP LIMITED 东益科技集团有限公司于1997年成立,通过十余年的努力创新,锐意进取,逐步成为一家覆盖半导体行业各个领域的全面的公司,业务有二手半导体制造设备的翻新和销售、IC的封装测试、线路板设计制造、SMT生产加工等。其中翻新和销售的半导体制造设备有:AURA1000、AMAT5000、SSI TRARK150/500、AMAT8330、AMAT8310、AE490B、EG2001/EG2010、Quaestor Q5、Verteq1600、Edward Pump及各种设备的辅助机台和主机配件。 ![]() 主机设备清单 名称 型号 厂家 年代 CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995 CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992 LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985 LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986 LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993 LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991 Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995 AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994 AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996 Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996 Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993 SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990 SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990 SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993 |