半导体设备CVD ILD Dep Amat 5000薄膜工艺

东益科技集团有限公司 6qf-Y!D5  
DONG YI TECHNOLOGY GROUP LIMITED \eT/%$  
东益科技集团有限公司于1997年成立，通过十余年的努力创新，锐意进取，逐步成为一家覆盖半导体行业各个领域的全面的公司，业务有二手半导体制造设备的翻新和销售、IC的封装测试、线路板设计制造、SMT生产加工等。其中翻新和销售的半导体制造设备有：AURA1000、AMAT5000、SSI TRARK150/500、AMAT8330、AMAT8310、AE490B、EG2001/EG2010、Quaestor Q5、Verteq1600、Edward Pump及各种设备的辅助机台和主机配件。 PMY~^S4O  
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主机设备清单 DEcGFRgN~  
名称 型号 厂家 年代 S,VyUe4P4  
CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995 <irpmRQr  
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CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992 -FaaFw:Z;A  
Gj*SPU  
LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985 L@+Z)# V  
Wy!uRzbBv  
LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986 oLd:3,p}  
C,(j$Id  
LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993 1j+eD:d'  
1NW>wo  
LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991 \UhGGg%  
c|+y9(0|y  
Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995 Agz=8=S%  
vLr&ay!w  
AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994 hj+p`e S  
C!hXEtK  
AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996 [Zh2DNp  
ps"9;4P  
Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996 fH; |Rm  
x!>d 6lgej  
Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993 #U:0/4P(  
|K6nOX!i  
SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990 8pd&3G+  
3eJ\aVI>pE  
SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990 eXc[3ceUr  
PMQb\%iE"  
SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993 {rz>^  
lu3Q,W  
SSI Track 500 Semiconductor Systems, Inc. 1989--1998 75<el.'H  
|I(%7K  
Biorad Q2 Req. Q5 Quaestor 1994 i:;$oT  
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除此外我公司还有大量Edwards单泵和组合泵 _@7(g(pY 3  
Edwards Pump：
4^0\dq  
Qdp40, Qdp40/Qmb250, Qdp40/Qmb500 ,=yOek}  
Iqdp80, Iqdp80/qmb500 ， Iqdp80/Iqmb250， Iqdp80/Iqmb500 z_'dRw  
Oxpo6G  
我公司网站http://www.dongyitech.com/ S3nB:$_-;  
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欢迎来电咨询 n&(3o6i'  
联系人：陈女士 13810208908 8qn{  
周一至周五 U-ERhm>uk  
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dongyi@dongyitech.com y
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服务电话： 010-65678375转810 \A` gK\/h  
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传真： 010-65673110