半导体设备CVD ILD Dep Amat 5000薄膜工艺

东益科技集团有限公司 5:H9B  
DONG YI TECHNOLOGY GROUP LIMITED Y-WYQ{  
东益科技集团有限公司于1997年成立，通过十余年的努力创新，锐意进取，逐步成为一家覆盖半导体行业各个领域的全面的公司，业务有二手半导体制造设备的翻新和销售、IC的封装测试、线路板设计制造、SMT生产加工等。其中翻新和销售的半导体制造设备有：AURA1000、AMAT5000、SSI TRARK150/500、AMAT8330、AMAT8310、AE490B、EG2001/EG2010、Quaestor Q5、Verteq1600、Edward Pump及各种设备的辅助机台和主机配件。 ]OOL4=b  
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主机设备清单 8y{<M"v+/  
名称 型号 厂家 年代 zk@KuBLL  
CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995 {^#62Y  
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CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992 3J{`]v5`  
XK>/i}y  
LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985 t>T |\WAAL  
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LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986 @M-+-6+  
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LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993 O9k9hRE]z  
98os4}r  
LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991 r^k:$wJbRK  
~o+HAc`=v  
Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995 M"]~}*  

PQRh5km  
AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994 8vM}moper  
!RnO{FL  
AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996 2c <Qh=  
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Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996 1;[\xqJ  
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Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993 J.
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u5EHzoq  
SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990 d\dt}&S 5  
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SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990 0f 1Lu) 2  
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SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993 #s1O(rLRl  
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SSI Track 500 Semiconductor Systems, Inc. 1989--1998 9psX"*s  
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Biorad Q2 Req. Q5 Quaestor 1994 Cd#>,,\z  
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除此外我公司还有大量Edwards单泵和组合泵 i=-zaboo  
Edwards Pump： j3rBEQ,R  
Qdp40, Qdp40/Qmb250, Qdp40/Qmb500 a'ViyTBo  
Iqdp80, Iqdp80/qmb500 ， Iqdp80/Iqmb250， Iqdp80/Iqmb500 PqIGc  
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我公司网站http://www.dongyitech.com/ $Tt@Xu  
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