半导体设备CVD ILD Dep Amat 5000薄膜工艺

东益科技集团有限公司 NxP(&M(  
DONG YI TECHNOLOGY GROUP LIMITED !eX0Q 2  
东益科技集团有限公司于1997年成立，通过十余年的努力创新，锐意进取，逐步成为一家覆盖半导体行业各个领域的全面的公司，业务有二手半导体制造设备的翻新和销售、IC的封装测试、线路板设计制造、SMT生产加工等。其中翻新和销售的半导体制造设备有：AURA1000、AMAT5000、SSI TRARK150/500、AMAT8330、AMAT8310、AE490B、EG2001/EG2010、Quaestor Q5、Verteq1600、Edward Pump及各种设备的辅助机台和主机配件。 O1c%XwMn^  
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主机设备清单 LrU8!r`a  
名称 型号 厂家 年代 P9v(5Z00|d  
CVD ILD Dep Amat 5000 Applied Materials 1992--1995 2 bc&sU)X  
x,B] J4  
CVD W Dep Amat 5000 Applied Materials 1992 [WwoGg*)mn  
o[Iu9.zJpy  
LRC Etcher AE 480 LAM Research Corp. 1985 y`I>|5[`  
\YP,}_~  
LRC Poly Etcher 490 LAM Research Corp. 1986 4Aj~mA  
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LRC Poly Etcher 490B LAM Research Corp. 1987--1993 Al>d 21U  
VfU"%0x  
LRC Nit/Diel Etcher 490B LAM Research Corp. 1990--1991 `YhGd?uu$  
nrac)W  
Microwave Asher AURA 1000 Gasonics International 1989--1995 1lw%RM  
zdN[Uc+1Bd  
AMAT Metal Etcher AMAT 8330 Applied Materials 1991--1994 'a#lBzu\b  
zPt<b!q  
AMAT Oxide Etcher AMAT 8310 Applied Materials 1988--1996 Y
T(N][V  
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Prober EG2001X,EG2001CX,EG2010 ELECTROGLAS 1984--1996 fi?4!h  
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Rinser Dryer 1600(double ) Verteq (Rhetech, Inc.) 1990--1993 c^}y9% 4c  
0Lo8pe`DH  
SSI Track 500 BAY 900 Semiconductor Systems, Inc. 1990 |{9<%Ok4P  
?=1eHnP!R  
SSI Track 150 BAY 910 Semiconductor Systems, Inc. 1990 \|=6<ZY:  
W[2]$TwT  
SSI Track 150 Semiconductor Systems, Inc. 1990--1993 :_e[xB=Yy  
o1AbB?%=  
SSI Track 500 Semiconductor Systems, Inc. 1989--1998 e]4$H.dP  
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Biorad Q2 Req. Q5 Quaestor 1994 v[dUUR f  
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除此外我公司还有大量Edwards单泵和组合泵 !"^Zr]Qt+\  
Edwards Pump： Y'U1=w~E  
Qdp40, Qdp40/Qmb250, Qdp40/Qmb500 (&}[2pb!  
Iqdp80, Iqdp80/qmb500 ， Iqdp80/Iqmb250， Iqdp80/Iqmb500
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我公司网站http://www.dongyitech.com/ M(X _I`\E  
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周一至周五 !se1W5ke#  
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