《现行
光学元件检测与国际
标准》重点介绍了光学元件检测领域的近期进展、方法、技术和需求。全书共10章,主要论述了现代光学的发展对光学元件检测的需求;计量概念与误差及精度的必要知识;光学元件检测基础;光学元件的
参数检测和性能检测的现行技术,侧重对特殊元件、光学表面面形、表面缺陷及表面粗糙度等内容的叙述;介绍了光学元件技术要求和检测要求的国际标准(ISO10110)的最新内容和相关的辅助
资料。《现行光学元件检测与国际标准》附录汇总了光学检测中4个常用的资料及相关的参考书籍。
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《现行光学元件检测与国际标准》可供从事光学、光学工程(尤其光学制造技术与检验)的科技人员与工艺技术人员参考,也可供大专院校有关专业的师生阅读。
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Oe"nNvu/ cE+Y#jB ['Y"6[1 现行光学元件检测与国际标准目录
in#lpDa[ 序
;U]Ym48 前言
B*AB@ 第1章 概论光学元件的现代发展及其对光学检测的需求
D2 X~tl5< 1.1 现代光学检测的重要性
[SU;U['7 1.1.1 光学元件检测的重要性
%ZM"c 1.1.2 光学元件检测仪器与技术现状
J*;= f8 1.2 现代光学元件制造发展的特点
pI1IDu*_Z 1.2.1 以多功能、精密化为特点的大型化甚至巨型化光学工程和仪器牵引着现代光学制造业的发展
G?<uw RV 1.2.2 以大批量化、产业化为特征的小型和超小型化的光学元件及大型和超大型化的光学元件需求量猛增
~UQXt r 1.2.3 以多样化、高精度为特点的各种光学元件对光学制造与检测提出了全新的要求
X|dlVNL8p 1.3 现代光学元件检测技术的需求
a9g~(#?a 1.3.1 大平面光学元件的检测
(DY&{vudF 1.3.2 大球面光学元件的检测
+D
d! 1.3.3 小非球面镜的检测
^50\c$ 1.3.4 柱面镜元件的检测
%Z+FX,AK 1.3.5 角锥棱镜的检测
Ox9M![fC 1.3.6 批量生产的小光学元件的检测
}j;G`mV2 1.4 光学元件技术要求和检验要求的国际标准(ISO10110)
tX~*.W: 1.4.1 ISO10110的产生背景
_t?# 1.4.2 基本内容及简要说明
!4+ FN) 1.4.3 学习ISO10110的重要性
Hd57Iw 参考文献
,ut7`_Fy ;.Y-e
Q, 第2章 计量的基本概念与误差理论知识
o^v]d7I8b 2.1 计量法律法规知识
l-$5CO 2.1.1 计量法知识
4)?s?+ 2.1.2 国防计量监督管理条例知识
cyBm,! 2.1.3 法定计量单位简介
l4*vM 2.1.4 单位使用中的方法及规定
|o<c`:;kt 2.2 计量学的基本知识
Of
m0{c= 2.2.1 测量与计量
rUh2[z8: 2.2.2 计量器具
W<>R;~) 2.2.3 计量器具的误差
2B b,ZC* 2.2.4 测量方法
A$70!5* 2.3 误差理论基本知识
G124!^ 2.3.1 真值与误差
5Zn: $?7 2.3.2 误差在测量值中的表现规律
m\G45%m 2.3.3 随机误差的处理——算术平均值
F+)g!NQZ 2.3.4
系统误差的处理——发现与减小
?D;7ut$~ 2.3.5 粗大误差的处理——判别与剔除
+h@ZnFp3 2.3.6 测量列数据处理实例
`t3w|%La} 2.4 精度、误差及测量的可靠性
& tjL*/ 2.4.1 测量精度概念的解析
Jk;dtLL}4 2.4.2 测量可靠性的认识
W/<Lp+p 2.4.3 测量不确定度
Cs2kbG_ 2.5 数据处理
1>L8EImx]V 2.5.1 有效数字
)zkr[;j~` 2.5.2 有效数字的数值计算规则
TeKU/&fkc 2.5.3 误差合成的方和根法
z||FmL{ 2.5.4 微小误差的取舍
j937tn!Q 2.5.5 不同测量之间的数据比较——En评定
OmlM9cXm^4 参考文献
;$3epP
)=AWgA 第3章 光学元件检测基础
YRQ?:a{H 3.1
光源与接收器
>dXB)yl 3.1.1 光学检测中常用的光源
d)GR]^=r 3.1.2 光接收器
F},kfCFF 3.2 国内外光学
材料主要性能与指标
`=%G&_3_< 3.2.1 应力双折射
E+cx8( 3.2.2 气泡与杂质
:9f 9Z7M 3.2.3 非均匀性与条纹
P q1 j 3.2.4 材料非均匀性、波差及元件厚度关系的列线图
b9VI(s> 3.3 光学检测中典型的部件与仪器
Cz6bD$5 3.3.1 平行光管
ySHpN>U 3.3.2 自准直目镜和自准直仪
Zn:]?%afdO 3.3.3 测微目镜
V/tl-;W 3.3.4 内调焦
望远镜的原理和应用
eOahr:Db 3.4 光束准直的检测技术
(_AU) 3.4.1 单平行平板作为剪切干涉仪检测光束的准直性
ET(/h/r 3.4.2 单楔板作为剪切干涉仪检测光束的准直性
\+"Jg/)ij 3.4.3 提高单楔板作为剪切仪检测光束准直性的其他技术
`+i/rc1. 参考文献
wLxuSs| Ld
0j!II( 第4章 光学元件面形偏差的检测
2M)E1q|a 4.1 面形偏差的基本概念及检测方法概述
hqa6aYY x 4.1.1 面形、波面与干涉图
Q)\[wYMt 4.1.2 样板法
<?h(Dchq 4.1.3 条纹法
&FG0v<f5Pv 4.1.4 多幅干涉图的移相干涉原理
A4/gVi| 4.1.5 高精度的绝对检验
{LT2^gy= 4.2 波面的数字指标
,6ae='=d 4.2.1 PV、Powei。及RMS描述面形偏差
ni6zo~+W] 4.2.2 光圈(N)和局部光圈(△N)
iD/+#UTY 4.2.3 A、B、C与PV(pv)、Power及与N、△N的关系
zXk^ugFy 4.2.4 稳定性峰谷值PV
8 %p+:6kP5 4.3 平面面形偏差检测
jOZ>^5} 4.3.1 平面面形的等级及其使用条件
` 5n^DP*X 4.3.2 温度
t ?05 4.3.3 气流
yq!peFu 4.3.4 振动
2OjU3z<J 4.3.5 数字干涉仪检测时应注意的问题
VVfTFi< 4.4 球面面形偏差检测
r@PVSH/ 4.4.1 球面干涉仪
_o&NbDH 4.4.2 干涉仪标准球面
镜头及其选择
V P(JV 4.4.3 样板法球面面形检测应预先考虑的问题
t"OP* 4.5 非球面面形偏差检测
jI~$iDdOfs 4.5.1 非球面检测方法概述
.g94|P 4.5.2 用计算全息图检验非球面
goND S5} 4.5.3 轮廓仪对非球面表面的检测
>8&fFq 4.5.4 采用干涉仪直接测量非球面镜头质量
BU|)lU5)z 4.5.5 检验分辨率评价非球面镜头
i=&]%T6Qk 4.5.6 柱面面形的计算全息法干涉检测
{asq[;] 参考文献
%3.
np VxE;tJ>1 第5章 光学
透镜半径、厚度及中心偏的测量
kOC0d, 5.1 球面曲率半径的测量
Pa"Kk9!o36 5.1.1 样板半径的真实性及其半径公差
CZ>Ujw=&k 5.1.2 球面曲率半径的几种测量方法
u9 5D0S 5.1.3 几种测量方法对Askania球径仪标准样块的测量比较
M"-.D;sa1 5.2 球面厚度测量
]YOWCFAQot 5.3 球面透镜中心偏
[zSt+K; 5.3.1 中心偏定义及其转换关系
/. H(& 5.3.2 中心偏图例
<U8w# dc 5.4 球面透镜及透镜组定中心
yqR]9"a 5.4.1 透镜定中心
yCkX+{ki 5.4.2 透镜组定中心
SiJ{ 5.5 柱面镜厚度、中心偏等几何偏差的检测
wk'&n^_br 5.5.1 柱面镜的一般技术性能与检验
U }I#;*F 5.5.2 柱面镜中心偏差的检测
2B5Ez,'#x 5.5.3 柱面镜平行性和垂直性的检测
}}bMq.Q' 5.5.4 关于柱面镜柱面曲率半径的控制和测量
u|k_OUTq 参考文献
B
]sVlbt oE2VJKs<B 第6章 平板及棱镜角偏差的测量
gSf> +| 6.1 平行平板玻璃平行性测量
1=e(g#Ajn\ 6.1.1 双像法
w c\`2( 6.1.2 干涉法
tY:,9eh7B 6.1.3 测量中应注意的问题
ab#z&jg! 6.1.4 单楔形板的角度测量
/82E[P"}6R 6.2 棱镜及直角角偏差测量
&.PAIe. 6.2.1 直角棱镜测量
X":2o|R 6.2.2 长方体直角误差测量
&wN}<Ge6 6.2.3 屋脊棱镜测量
U#<{RqY 6.3 角锥棱镜的角偏差经典测量
Fc=6*.hy 6.3.1 角锥棱镜的特点
K3h"oVn 6.3.2 在高精度自准直仪上批量检测角锥棱镜角偏差
M1T . 6.4 数字波面干涉仪测量元件角偏差
L+eK)Q ……
keStK8 第7章 光学元件表面缺陷与表面粗糙度的检测
\HQ.Pwr 6 第8章
光学系统性能评价与光学测试
FlY"OU* 第9章 光学元件国际标准(ISO10110)的基本内容
[k&7h, 第10章 实验实习技术
?.n1t@sG& 附录
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