上海EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析产品

SCI美国科学计算国际公司 `{wku@  
薄膜测量 软件产品 及 仪器产品 T8441qo{>  
网址:www.sci-soft.com tbPPI)lu  
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SCI为薄膜设计,材料分析,椭圆偏光法,分光光度测定法提供不同的工具. u.[JYZ  
A)    薄膜测量/测试 软件 yhdG 93  
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一.FilmWizard (Optical Thin Film Software光学薄膜软件) h]Oplp4\W  
Design设计|Materials材料|Analysis分析|Optimization优化|Synthesis综合|Results计算结果|Macro宏 5
qr!OEF2  
二.FilmMonitor(Monitor Deposition Software监视沉积软件) j?,*fp8  
三.FilmEllipse(椭偏数据生产线工艺软件包) O0{  
FilmEllipseTM是分析和捕获椭圆偏光数据的生产线上工艺型易用的软件包 !p&'so^-W  
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B) 薄膜测量 仪器 vQ/\BN  
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SCI FilmTek  系列, 可测量:\+_Nq~ JKT+ q*V  
1!`768  
Index of Refraction折射指数(at 2μm thickness) Thickness Measurement Range 厚度测量范围,K^q\ wY.g-3  
Maximum Spectral Range 最大光谱范围##b (RmED\.]4  
Standard Spectral Range标准光谱范围F .V3Dql@z"  
Reflection反射测量, +r$.v|6  
Transmission透射测量5wIBS\ 3b
3cNYP  
Optional Spectroscopic Ellipsometry可选择的光谱椭圆偏光法测量cY Mak9qaWqF>  
Power Spectral Density功率谱密度测量a 9-Qtj49  
Multi-angle Measurements (DPSD) 多角度测量Y u-9t s  
Both TE & TM Components of Index Multi-layer thickness多层厚度测量gS|p] Mdrv/x{  
Index of Refraction折射系数测量~c=]o% M0zD)@  
Extinction (absorption) Coefficient消光(吸收)系数:{P]F 2jZ}VCzRG  
Energy band gap能量带隙测量U4r[n b(q&}60  
Composition成分测量c*'nh) tKeO+6l  
Crystallinity晶状测量DTE; t60/f&A#7H  
Inhomogeneous Layers非均匀层测量}KF DP_Pqn8p&M  
Surface Roughness表面粗糙度测量L" 62x< rph  
etc. 等等 3K!0 4\  
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Typical  applications典型应用:P &{/>Sv!6#  
H27Oq8  
OLED有机发光二级管薄膜 OZ;E&IL  
Flat panel display平板显示器薄膜 Zax]i,Bx  
Semiconductor and dielectric materials半导体和电介质材料薄膜 =+h!JgY/L  
Computer disks计算机磁盘薄膜 ?+O|mX}`-  
Multilayer optical coatings多层光学涂层薄 ,;P`Mf'YC  
Coated glass有涂层的玻璃薄膜>nU3 uHro%UAd  
Optical antireflection coatings光学抗反射涂层薄膜 87(^P3;@  
Laser mirrors激光镜薄膜Op)` un^IQMIh  
Electro-optical materials电镀光学材料薄膜 -fx88  
Thin Metals薄金属薄膜6e4,iC ]XGn2U\  
etc. 等等 WJU NJN  
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