EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品

发布:sbisna 2009-06-22 18:38 阅读:2300
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 C4(xtSJSd!  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, MAYb.>X#>  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 1Of(O!  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 =H)]HxEEM  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 :"Xnu%1  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. |p/ *OFC6  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) uZL]mwkj]  
2.折射率n Sesdhuy.@  
3.吸收系数k Z|C,HF+m.  
4.双折射率 /[_aK0U3  
5.能隙(Eg) ]B )nN':  
6.表面粗糙度和损伤 ~Y`ys[Z m  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) =Smd/'`_  
8.薄膜温度特性 {3  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 O(I^:_eH  
技术参数 ?7NSp2aq2A  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns u~OlJ1V  
2. 重复性:      ± 0°(△)   t[TM\j0jW  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 9;LjM ~Ct  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) JxinfWk  
5. 入射角:       0°(70°可选) _S{TjGZ&  
6. 测试速度:    小于 15 s +\Vw:~e  
7. 光斑直径:    小于 50 nm e$s&B!qJ  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 !!Ww#x~k$[  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: >s5}pkAv|e  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 p K-tj  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com >fYcr#i0[  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com "a2|WKpD  
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