EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品

EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 %K;,qS'N_  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， ToCB*GlL  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 aQMET~A:  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 5(%+8<2  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 !0fpD'f!n  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. hrNri$  
1.多层厚度（1? 到 250 microns） 6WgGewn  
2.折射率n MH'S,^J  
3.吸收系数k 5sM-E>8G^{  
4.双折射率 e~W35Y>A  
5.能隙（Eg） Od>Ta_  
6.表面粗糙度和损伤 &rorBD 5aj  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） d&(GIH E&d  
8.薄膜温度特性 S$%T0~PR~  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 "T<Q#^m  
技术参数 c*1t<OAS~  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns ;f^.7|
 
2. 重复性：      ± 0°（△）   O:+#k-
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3. 折射率精度：  ± 2*10-5 IW Lv$bPZ/  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） +Ys<V  
5. 入射角:       0°（70°可选） ^%)'wDK  
6. 测试速度：    小于 15 s p;"pTGoWi  
7. 光斑直径：    小于 50 nm ya5;C"  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 dum! AO  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： -F/"W  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 37v!:xF!  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com Cl6y:21]K  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com {e<J}-/?