EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品

发布:sbisna 2009-06-22 18:38 阅读:2382
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 X;0DQnAI8j  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, Kq;Yb&  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 OsR4oT  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 Dl%NVi+n  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 gI^*O@Q4{b  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. o3l_&?^  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) U.G**v  
2.折射率n !}^ {W)h[  
3.吸收系数k m>6,{g)  
4.双折射率 ^1S(6'a#  
5.能隙(Eg) JQ8wL _C>  
6.表面粗糙度和损伤 v7/qJ9l  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) `:A`%Fg8<  
8.薄膜温度特性 Bn/ {J  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 D[)g-_3f6<  
技术参数 LEkO#F(  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns @D rMaTr  
2. 重复性:      ± 0°(△)   ;p#)z/zZ  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 T?c:z?j_9  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) nrMm](Y45  
5. 入射角:       0°(70°可选) ;%AK< RT  
6. 测试速度:    小于 15 s eUA6X ,I  
7. 光斑直径:    小于 50 nm Nq)=E[$  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 F"3PP ~  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: 8hi|F\$_h  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 g#1_`gK  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com (AdQ6eGMb  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com ]-& ehW  
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