EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品

发布:sbisna 2009-06-22 18:38 阅读:2537
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 W~j>&PK,?  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, rw.DKM'  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 7gE/g`"#  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 cs?IzIQ  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 [Gc9 3PA7q  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. 5#~E[dr  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) p4vX3?&1W  
2.折射率n DLO2$d  
3.吸收系数k H1r8n$h  
4.双折射率 b<j*;n.  
5.能隙(Eg) v(;n|=O  
6.表面粗糙度和损伤 ,c|Ai(U  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) [:8+ +#KD  
8.薄膜温度特性 q9(Z9$a(\  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 DFp">1@`PR  
技术参数 v+C%t!dx  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns g}$B4_sY  
2. 重复性:      ± 0°(△)   LerRrN}~  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 C(n_*8{  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) (} wMU]!_  
5. 入射角:       0°(70°可选) b\p2yJ\  
6. 测试速度:    小于 15 s ~p x2kHZ  
7. 光斑直径:    小于 50 nm ,L\>mGw  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 =>L2~>[  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: 'u3,+guz  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 q +!i6!6r  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com h/]));p  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com GHpP *x  
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