EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品

EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品 &/Gn
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， I)#8}[vK  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 '_7rooU9  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 @1xVWSF  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 eD(5+b

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2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. &+(D< U  
1.多层厚度（1? 到 250 microns） lijTL-3  
2.折射率n #?r|6<4X  
3.吸收系数k aaf}AIL.  
4.双折射率 ks phO-  
5.能隙（Eg） Z~h6^h   
6.表面粗糙度和损伤 i"n_oO  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） w^zqYGxG
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8.薄膜温度特性 YCStX)r  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 Kyk{:UnI  
技术参数 ^/}4M'[w  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns ]!!?gnPd5  
2. 重复性：      ± 0°（△）   [O^/"Qk  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 6&'kN2  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） 68bvbig  
5. 入射角:       0°（70°可选） gCsN\z  
6. 测试速度：    小于 15 s Q[#8ErUY  
7. 光斑直径：    小于 50 nm T#!% Uzz  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 7neJV  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： {Mb<onW  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 z]hRc8g}d  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com B%u[gN
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SCI 网址：http://www.sci-soft.com gfN=0Xj4