EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-04-27 12:36 阅读:2917
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 kX+98?h-C  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, 9q\_UbF  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 4^:$|\?]  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 wNmC1HOh  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 Bi>]s%zp  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. n98sY+$-z  
1.多层厚度(1? 到 250 microns) )RQQhB  
2.折射率n FW{K[km^P  
3.吸收系数k Hlpt zez  
4.双折射率 3jHg9M23[^  
5.能隙(Eg) 6E.[F\u  
6.表面粗糙度和损伤 6;;2e> e  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) "F4 3q8P  
8.薄膜温度特性 08! _B\  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 [6Sk>j  
技术参数 <2~DI0pp(  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns m!=5Q S3Z  
2. 重复性:      ± 0°(△)   q+cD  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 E[4 vUnm-  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) }>V=J aG  
5. 入射角:       0°(70°可选) qVH.I6)  
6. 测试速度:    小于 15 s 2b-g`60<  
7. 光斑直径:    小于 50 nm /XU=l0u  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 ai; Q,Vy  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: k!'+7K.  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 Wu(^k25  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com C[d1n#@r  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com <K,X5ctM}  
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