EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, 其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 1) Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 应用实例,目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. 1.多层厚度(1? 到 250 microns) 2.折射率n 3.吸收系数k 4.双折射率 5.能隙(Eg) 6.表面粗糙度和损伤 7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) 8.薄膜温度特性 9.晶元曲率和薄膜耐压性 技术参数 1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns 2. 重复性: ± 0°(△) 3. 折射率精度: ± 2*10-5 4. 光谱范围: 380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 ) 5. 入射角: 0°(70°可选) 6. 测试速度: 小于 15 s 7. 光斑直径: 小于 50 nm 应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: 电话021-61021226转820/818 王小姐/陈先生 邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com SCI 网址:http://www.sci-soft.com 分享到:
|