EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 TSd;L u%hr  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， 'q*/P&x5  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 1'J|yq  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 [~rBnzb  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 L5>.ku=T  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. X?]1/6rV  
1.多层厚度（1? 到 250 microns） P-lE,X   
2.折射率n z9*7fT  
3.吸收系数k "(y|iS$^T  
4.双折射率 P^bcc
 
5.能隙（Eg） DvXbbhp  
6.表面粗糙度和损伤 )x&}{k6 %  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） kF*^" Cn  
8.薄膜温度特性 !bD`2m[Q  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 RiAY>:  
技术参数 iu.+bX|b  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns XS"lR |  
2. 重复性：      ± 0°（△）   !~aDmY2  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 k*xgF[T 8  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） d\aU rsPn  
5. 入射角:       0°（70°可选） ?)#}Nj<R  
6. 测试速度：    小于 15 s &mp@;wI6@  
7. 光斑直径：    小于 50 nm JS1''^G&.  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 (%EhkTb  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： gnSb)!i>z  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 <P1sK/IZb  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com KrT+Svm  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com k@ZmI^