EMD代理美国SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 :._O.O  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， 7O{\^Jz1  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 O+e8}Tmm  
1)    Film Wizard? 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 $b8>SSz  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard?软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 ?ph"|LyL  
2) FilmTek? 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. ^]v}AEcmW  
1.多层厚度（1? 到 250 microns） X%gJ,c(4  
2.折射率n ybB}|4d&  
3.吸收系数k G +YF  
4.双折射率 l9<+4rK2  
5.能隙（Eg） a;
lCr|*  
6.表面粗糙度和损伤 xE9s=}  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 2z-&Ya Qu  
8.薄膜温度特性 0 @,
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9.晶元曲率和薄膜耐压性 0J_x*k6  
技术参数 {6KU.'#iF  
1. 厚度测试范围: 1? to 250 microns s_kI\w4(x1  
2. 重复性：      ± 0°（△）   -Rf|p(SJ,E  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 ]]]7"a  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） P@Qo2zTh%  
5. 入射角:       0°（70°可选） Cf+O7Y`^  
6. 测试速度：    小于 15 s *Lufz-[1  
7. 光斑直径：    小于 50 nm 6\]-J*e>  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek?2000。 Pq`4Y K  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： @ce4sSo  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 GY4yZa  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com {1qEN_ERx  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com pGOS'.K%t8