代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 <CVX[R]U  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， nKGQU,C  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 m .(ja  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 tAN!LI+w  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 "]=OR>  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. AF#:*<Ev  
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） Hy3J2p9.  
2.折射率n W5Z-s.o  
3.吸收系数k *Vl#]81~  
4.双折射率 Trs~KcsD  
5.能隙（Eg） i[KXkjr  
6.表面粗糙度和损伤 G K~A,Miqk  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） xH2'PEjFM  
8.薄膜温度特性 GG>53}7{  
9.晶元曲率和薄膜耐压性  Q(f0S  
技术参数 [ojL9.6  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns nqH[ y0  
2. 重复性：      ± 0°（△）   N%f"W&ci  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 :

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4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） 9!jF$  
5. 入射角:       0°（70°可选） %q|*}l  
6. 测试速度：    小于 15 s D 1.59mHsD  
7. 光斑直径：    小于 50 nm iqR6z\p&  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 M@es8\&S.  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： ,mm97I  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 :? B4q#]N  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com >Y4^<!\
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