代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

发布:sbisna 2009-02-23 14:04 阅读:2858
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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 d|NNIf  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者, P*T)/A%4  
其产品广泛应用于半导体,OLED/LCD, 光电,数据存储,显示器,微型机电系统以及光附膜产业,SCI的薄膜特性度量系统品种丰富,从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 BVNh>^W5B  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的,多用途,界面友好的薄膜测试模拟软件 anwn!Eqk"  
应用实例,目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电,半导体行业的研发和生产行业。 |B`tRq  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统,有多种不同配置,配合不同需求. (_08?cN  
1.多层厚度(1Å 到 250 microns) tQ}gBE63  
2.折射率n ,`7GI*Vq  
3.吸收系数k /&dt!.WY^  
4.双折射率 si;]C~X*  
5.能隙(Eg) 68!fcK  
6.表面粗糙度和损伤 zLn#p]  
7.多孔性,薄膜成份,结晶度(EMA模式) \~H"!vj  
8.薄膜温度特性 :gVjBF2  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 vPs X!m[#  
技术参数 ?hu 9c  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns E{ ,O}  
2. 重复性:      ± 0°(△)   }Tef;8d  
3. 折射率精度:  ± 2*10-5 7A|jnm  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm(190nm~1700nm可选 )  ~EM];i  
5. 入射角:       0°(70°可选) -ur]k]R  
6. 测试速度:    小于 15 s ~<U3KB  
7. 光斑直径:    小于 50 nm h5gXYmk  
应用实例,上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 W*m[t&;  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询,联系方式如下: >dl!Ep  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 K]oPh:E  
邮件:wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com w8i!Qi#y5D  
SCI 网址:http://www.sci-soft.com Z%R%D*f@y  
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