代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

Z.&\=qiY  
6FfOH<\z6i  
EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 8F;>5i  
^ L:cjY/  
美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， Al)$An-  
其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 lD;'tqaC  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 " oy\_1|  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 j{#Wn !,  
2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. gL$&@NY  
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） 5,+\`!g  
2.折射率n 5/ecaAB2  
3.吸收系数k gLj?Ys  
4.双折射率 %@&a7JOL  
5.能隙（Eg） $%2_{m_K:p  
6.表面粗糙度和损伤 s #:%x#  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） 5''*UFIF1  
8.薄膜温度特性 B_3QQtjAl  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 pLoy  
技术参数 /<)-q-W;  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns WbjF]b\  
2. 重复性：      ± 0°（△）   ?s} %  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 D>ai.T%n  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） lpQP"%q  
5. 入射角:       0°（70°可选） -Q$nA>trKA  
6. 测试速度：    小于 15 s f
hp)S",  
7. 光斑直径：    小于 50 nm 74vmt<Q  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 7-iIay1h"  
详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： wV<
7pi  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 e]W0xC-  
邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com u7]<=*V]  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com X\GM/A