代理SCI高精准薄膜度量系统与软件分析 产品

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EMD代理美国SCI高精准薄膜度量 系统 与 软件分析 产品 j9"uxw@  
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美国SCI为世界薄膜度量系统和分析软件行业的领军者， /
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其产品广泛应用于半导体，OLED/LCD, 光电，数据存储，显示器，微型机电系统以及光附膜产业，SCI的薄膜特性度量系统品种丰富，从台式研发设备到全自动生产工具以及分析/设计软件应有尽有。 q SR\=:$  
1)    Film Wizard™ 软件 : 市面上功能最强大的，多用途，界面友好的薄膜测试模拟软件 C "XvspJ  
应用实例，目前已经有多套Film Wizard™软件应用于中国光电，半导体行业的研发和生产行业。 F:nh
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2) FilmTek™ 系统: 为SCI出产的基于分光光度技术的度量系统，有多种不同配置，配合不同需求. H]&a}WQ_  
1.多层厚度（1Å 到 250 microns） tGHZU^B:}  
2.折射率n k L\;90  
3.吸收系数k 9gP-//L@  
4.双折射率 r}kQ<SRx  
5.能隙（Eg） f P'qUN  
6.表面粗糙度和损伤 -6lsR  
7.多孔性，薄膜成份，结晶度（EMA模式） b[&A,ZPh$@  
8.薄膜温度特性 RsV<4$  
9.晶元曲率和薄膜耐压性 _IzJxAcJ  
技术参数 sf{rs*bgp  
1. 厚度测试范围: 1Å to 250 microns Ip#BR!$n  
2. 重复性：      ± 0°（△）   }uWIF|h~  
3. 折射率精度：  ± 2*10-5 zbQ-l1E  
4. 光谱范围:     380nm~1000nm（190nm~1700nm可选 ） AX6z4G  
5. 入射角:       0°（70°可选） 7|4t;F!  
6. 测试速度：    小于 15 s E"d\N-I  
7. 光斑直径：    小于 50 nm ~aKM+KmtPH  
应用实例，上海***研发中心2007年成功引进SCI的FilmTek™2000。 }
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详细信息请电话或邮件联系EMD上海办事处或前往SCI网站查询，联系方式如下： g/Q"%GN,  
电话021-61021226转820/818    王小姐/陈先生 B*
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邮件：wangdongmei@eccn.com/benchan@eccn.com DUBEh@  
SCI 网址：http://www.sci-soft.com k?r-%oJ7