我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: CnyCEIO-
低真空时间: xp-.,^q\w
0000——3.0 E0 8分钟 ][3H6T!ckL
但此时不能开启高阀 jq#gFt*
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 _|qJ)gD[
0000——8.0E-1 65分钟 (PAkKY}
高真空时间: U,
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8.0E-1——4.8E-3 65分钟 ):HjpJvF
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) FG]xn(E
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 u:#+R_0#97
抽真空环境: EUH&"8
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温度:26℃-28℃ JW[y
湿度:45% Ojqbj0E9
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) [@d$XC]Qz
可是现在不知道为什么抽不动了。 'q%56WAJ
主要表现在 ?HwW~aO
0000——3.0 E0 8分钟 Y+5nn
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 d,kh6'g2@
使用丙酮检漏没有发现漏点。 Za68V/Vj
扩散泵油很好,很清亮。 qgREkb0
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