我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ，但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下： j<* `?V^
低真空时间: Fgg4 QF
0000——3.0 E0 8分钟 5Ai$1'*p
但此时不能开启高阀 VR0#"
低真空必须到80E-1才可以开高阀，不然会出现反抽 j\8'P9~%
0000——8.0E-1 65分钟 >zAI#N 4
高真空时间: '$n#~/#}
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 uP[:P? ,t
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟（熔料） LlG ~aGhel
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 Jv=G3=.
抽真空环境： mF !=H%
温度：26℃-28℃ +bK.{1
湿度：45% }~28UXb23
烘烤温度：280℃（低阀开启时加烘烤） >#\&%0OZw
可是现在不知道为什么抽不动了。 Af"vSL
主要表现在 kpN'H_ .
0000——3.0 E0 8分钟 ; i><03
真空在8.5E-1就抽不动了，开高阀就出现反抽。 >h
m<$3
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ?V&[U
扩散泵油很好，很清亮。 >, }m=X8
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