我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: {"Xn`@Y
低真空时间: 2=Sv#
0000——3.0 E0 8分钟 wQR>S>p
但此时不能开启高阀 .FUws
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 W[trsFP1?
0000——8.0E-1 65分钟 k
I{)"
高真空时间: )!+M\fT
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 6H+'ezM
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) 9Q{-4yF9k
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 H4%2"w6|!
抽真空环境: ~JjL411pG
温度:26℃-28℃ 5,/rh,?
湿度:45% A-5xgp,
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) x*}41;j}C
可是现在不知道为什么抽不动了。 ~>C@n'\lv
主要表现在 oNW.-gNT
0000——3.0 E0 8分钟 -$W#bqvz^
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 p;;4b@
使用丙酮检漏没有发现漏点。 #_]/Mr1
扩散泵油很好,很清亮。 [
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