我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: MkwU<ae AB
低真空时间: (+*
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0000——3.0 E0 8分钟 {Fbg]'FQ
但此时不能开启高阀 > 2#%$lX6
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 93j{.0]X
0000——8.0E-1 65分钟 8{dEpV*
高真空时间: !O|ql6^;
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 v?L
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) KU-'+k2s;p
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 j&5G\6:
抽真空环境: ((XE\V\}Z
温度:26℃-28℃ z
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湿度:45% 7paUpQit
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) #ZJMlJ:q`"
可是现在不知道为什么抽不动了。 aX;A==>
主要表现在 ._?V%/
0000——3.0 E0 8分钟 zh\$t]d<I
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 F|>05>8
使用丙酮检漏没有发现漏点。 YTK^ijmU6x
扩散泵油很好,很清亮。 (89Ji'dc
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