我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: 9,wU[=. 0
低真空时间: $btk48a 7
0000——3.0 E0 8分钟 )Q~K\bJf
但此时不能开启高阀 VBg
M7d
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 DLEHsbP{$
0000——8.0E-1 65分钟 _3m\r*(vmQ
高真空时间: "IzM:
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 4#D>]AX
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) TxmKmZ u
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 xU;Q~(
抽真空环境: !@f!4n.e|I
温度:26℃-28℃ 7HQ|3rt
湿度:45% *qw//W
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) ?_@Mg\Hc
可是现在不知道为什么抽不动了。 >^adxXw.o
主要表现在 &BRi& &f
0000——3.0 E0 8分钟 ,M9Hdm
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 2]_fNCNLN
使用丙酮检漏没有发现漏点。 I~>Ye<g#
扩散泵油很好,很清亮。 0t0m?rVW
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