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    [求助]我的镀膜机抽不动了,请达人! [复制链接]

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    离线wsxiswu
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2008-07-05
    我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: |ERf3  
    低真空时间: oIv\Xdc81  
    0000——3.0 E0        8分钟 1EHL8@.M  
    但此时不能开启高阀 K}( @Ek  
    低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 *%n(t+'q  
    0000——8.0E-1        65分钟 s?7"iE  
    高真空时间: 1wLEkp!~  
    8.0E-1——4.8E-3      65分钟    s(8e)0Tl  
    4.8E-3¬——4.5E-3      20分钟(熔料) VT2f\d[Q  
    4.5E-3——2.5E-3      60分钟    )ZMR4U$+v  
    抽真空环境: .H}#,pQ}l  
      温度:26℃-28℃ .YlhK=d4  
      湿度:45% XR+  
      烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) @ruWnwb  
    可是现在不知道为什么抽不动了。 7srq~;j3  
    主要表现在 > zV  
    0000——3.0 E0        8分钟 !%(PN3*  
    真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 1'!%$D  
    使用丙酮检漏没有发现漏点。 ^D?{[LBc  
    扩散泵油很好,很清亮。 Nz%Yi?AF  
    )?<V-,D  
    7{Zs"d{s  
    Vs9]Gm  
     
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    离线wsxiswu
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    只看该作者 1楼 发表于: 2008-07-05
    及盼能解决的办法!
    离线windsnow
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    只看该作者 2楼 发表于: 2008-07-06
    那你的机械泵是不是有问题,检查下机械泵的能力。
    离线zzh1011
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    只看该作者 3楼 发表于: 2008-07-06
    不像是机械泵的问题,因为低抽看起还正常。油加热温度不够,检查低阀关完了没有,有可能是阀门内漏气!
    离线wsxiswu
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    只看该作者 4楼 发表于: 2008-07-07
    油温一直维持在247℃ -246℃ 之间,两个泵都是。高阀我也检查了,没有漏气的现象。目前好郁闷,不知道从那个方面下手了!!!!(TO:zzh1011 低阀显示关闭到位,要不我开不了高阀啊!)
    离线wsxiswu
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    只看该作者 5楼 发表于: 2008-07-07
    冷却水温也较正常。入水20℃-23℃出水29℃-32℃
    离线lsnanjing
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    只看该作者 6楼 发表于: 2008-07-09
    我不知道说的对不对,你的机器用了多和时间了?机械泵换过油没有? 0}q*s!  
      南光的机械泵有一个最大的毛病,就是在里面有一个蓄水槽,时间长了里面全都是水,影响抽速。 GriFb]ml"  
    你检查一下,
    离线wsxiswu
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    只看该作者 7楼 发表于: 2008-07-10
    机械泵已洗,蓄水槽是有很多水!!!油也换了!!可是………………可是………………还是没有多大的改观
    离线wsxiswu
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    只看该作者 8楼 发表于: 2008-07-10
    低真空时间: *mkL>v &  
    0000——3.0 E0        8分钟  3ZhuC".c  
    但此时不能开启高阀 v_,'NA0  
    低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽  MLN+ BuS  
    这个现象我觉得很不正常,不知道怎么处理!! } ^WmCX2a  
    这两天我单独测量了一下扩散泵的真空度,感觉还可以一个3.6E-4,一个1.2E-4(维持泵3小时)
    离线flyinlove79
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    只看该作者 9楼 发表于: 2008-07-13
    看看你的扩散泵油有没有氧化