我这里有一台国投南光的1100型的镀膜机目前高真空实在是抽不动了 ,但找不到原因。前段时间抽真空的时间如下: |ERf3
低真空时间: oIv\Xdc8 1
0000——3.0 E0 8分钟 1EHL8@.M
但此时不能开启高阀 K}(@Ek
低真空必须到80E-1才可以开高阀,不然会出现反抽 *%n(t+'q
0000——8.0E-1 65分钟 s?7"iE
高真空时间: 1wLEkp!~
8.0E-1——4.8E-3 65分钟 s(8e)0Tl
4.8E-3¬——4.5E-3 20分钟(熔料) VT2f\d[Q
4.5E-3——2.5E-3 60分钟 )ZMR4U$+v
抽真空环境: .H}#,pQ}l
温度:26℃-28℃ .YlhK=d4
湿度:45% XR+
烘烤温度:280℃(低阀开启时加烘烤) @ruWnwb
可是现在不知道为什么抽不动了。 7srq~;j3
主要表现在 >zV
0000——3.0 E0 8分钟 !%(PN3*
真空在8.5E-1就抽不动了,开高阀就出现反抽。 1'!%$D
使用丙酮检漏没有发现漏点。 ^D?{[LBc
扩散泵油很好,很清亮。 Nz%Yi?AF
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