切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • ZEMAX光学系统设计实战 Zemax光学设计从基础到实践 成像衍射光学元件设计及应用 现代光学与光子学技术
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    123
    • 8003阅读
    • 22回复

    [下载]去下载《紫外激光切割Si片的实验研究》 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线不是大人物
    实习生
     
    发帖
    25
    光币
    118
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2007-06-15
    紫外激光切割Si片的实验研究，楼祺洪 章琳 叶震寰 董景星 魏运荣 ;|UF)QGa2  
    B" 3dQwQ  
    中国科学院上海光学精密机械研究所 (PfqRk1Y  
    i+gQE!  
    摘要：报道了用193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于15μm的切缝及小于5μm的切面不平整度。 y#XbJuN/  
    r2k2%nI-J  
    关键词：紫外激光；激光切割；硅片
    附件设置隐藏，需要回复后才能看到
     
    回复
    举报
    分享到
    离线Myoptics
    工程师
    发帖
    176
    光币
    4229
    光券
    0
    只看该作者 1楼 发表于: 2007-06-17
    多谢啦，不错的论文。
    回复
    举报
    离线6172007
    助理工程师
    发帖
    84
    光币
    845
    光券
    0
    只看该作者 2楼 发表于: 2007-06-17
    谢谢啦，下了。
    回复
    举报
    离线518918
    助理工程师
    发帖
    155
    光币
    654
    光券
    0
    只看该作者 3楼 发表于: 2007-06-17
    收下了，多谢。
    回复
    举报
    离线wayguo
    实习生
    发帖
    153
    光币
    44
    光券
    0
    只看该作者 4楼 发表于: 2009-08-05
    多谢啦，不错的论文。
    回复
    举报
    离线111
    实习生
    发帖
    266
    光币
    -305
    光券
    0
    只看该作者 5楼 发表于: 2009-08-13
    收下了，多谢。
    回复
    举报
    离线xieyifeng
    实习生
    发帖
    121
    光币
    8
    光券
    0
    只看该作者 6楼 发表于: 2010-05-04
    fghfghfhfghfh
    回复
    举报
    离线lw890720
    实习生
    发帖
    42
    光币
    17
    光券
    0
    只看该作者 7楼 发表于: 2010-07-02
    多谢楼主
    回复
    举报
    离线khwonthy
    实习生
    发帖
    1
    光币
    0
    光券
    0
    只看该作者 8楼 发表于: 2010-07-18
    谢谢楼主。想学习一下。
    回复
    举报
    离线唐亮
    实习生
    发帖
    5
    光币
    0
    光券
    0
    只看该作者 9楼 发表于: 2010-07-20
    多谢楼主
    回复
    举报
    发帖 回复
    返回列表
    123