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    [下载]去下载《紫外激光切割Si片的实验研究》 [复制链接]

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    离线不是大人物
    实习生
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2007-06-15
    紫外激光切割Si片的实验研究，楼祺洪 章琳 叶震寰 董景星 魏运荣 R<eD)+  
    E/:mO~1< c  
    中国科学院上海光学精密机械研究所 W3M1> (  
    XN Gw@$  
    摘要：报道了用193nm准分子激光切割硅片的实验结果。采用柱透镜光学系统及“热劈裂法”获得小于15μm的切缝及小于5μm的切面不平整度。 ,VYUQE>\  
    w40 -K5wt>  
    关键词：紫外激光；激光切割；硅片
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    离线blue_maple
    实习生
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    只看该作者 22楼 发表于: 2013-08-22
    看下先~
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    离线titanlizard
    助理工程师
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    只看该作者 21楼 发表于: 2013-08-14
    支持一个·············
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    离线daipengcq
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    只看该作者 20楼 发表于: 2012-04-30
    我正在看。
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    离线嗱嘚起放嘚吓
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    只看该作者 19楼 发表于: 2012-04-28
    好东西
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    离线liu89060
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    只看该作者 18楼 发表于: 2012-04-27
    看看先~  先下载
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    离线zhckz949
    实习生
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    只看该作者 17楼 发表于: 2012-04-16
    好东西哇
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    离线朱艳玲
    实习生
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    只看该作者 16楼 发表于: 2011-06-28
    我也想要
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    离线wy6688
    实习生
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    只看该作者 15楼 发表于: 2010-12-16
    好东西
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    离线dahai
    助理工程师
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    只看该作者 14楼 发表于: 2010-10-11
    感谢楼主！
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