[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 9<v}LeX  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 %bXsGPB  
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建模任务  [@<G+j  
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模拟&设置：单平台互操作性 EX4 C.C|d  
建模技术的单平台互操作性 QNb>rLj52  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 a!D*)z Y  
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 平面波光源 n26>>N  
 微透镜阵列 kxh 5}eB  
 彩色滤光片(吸收介质) VJg,~lQN#t  
 通过基底传播 6|^0_6_  
 探测 EI\v  
XIRR Al(,  
连接建模技术：微透镜 2h<U  
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连接建模技术：彩色滤光片 <m0{'xw  
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连接建模技术：可编程介质 t:=k)B  
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连接建模技术：自由空间传播 cOb4c*  
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连接建模技术：堆栈 W' e
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在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 AK*N  
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 微透镜阵列 2tf6GX:  
 彩色滤光片(吸收介质) KDD@%E  
 通过基底传播 Sl>>SP  
 探测 jV^C19  
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元件内场分析器：FMM ru{f]|  
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模拟结果 =VSkl;
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) c@(1:,R  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) J?%}=_fsa  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) J#aVo&.Y  
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3D仿真与结果比较 2
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3D仿真与结果比较 m<:IFx#  
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