[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 on\\;V_/Q  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 qu%s 7+  
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建模任务 +q$|6?  
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模拟&设置：单平台互操作性 (
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建模技术的单平台互操作性 ^@2Vh*k  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 rYQ@"o0/Y  
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 平面波光源 w)n]}k  
 微透镜阵列 8)8oR&(f  
 彩色滤光片(吸收介质) c^IEj1@}'?  
 通过基底传播 ]s@8I2_  
 探测 ,v_r$kh^  
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连接建模技术：微透镜 qhtAtP>i"  
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连接建模技术：彩色滤光片 z&,sm5Lb  
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4 GW[GT  
连接建模技术：可编程介质 %W;Gf9.w  
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连接建模技术：自由空间传播 gEHfsR=D6  
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连接建模技术：堆栈 jYID44$  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 q<[ke   
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 微透镜阵列 Ds,"E#?  
 彩色滤光片(吸收介质) ^i)Q CDU7  
 通过基底传播 X]U"ru{1q  
 探测 }.V0SM6  
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元件内场分析器：FMM ~V"cLTj"  
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模拟结果 ^ R^N`V   
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ^'53]b:  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) C\^<v&  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) XvkI+c  
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3D仿真与结果比较 w
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