[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 c'|](vOd]  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ^sVr#T  
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建模任务 l+nT$IPF  
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模拟&设置：单平台互操作性 J7
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建模技术的单平台互操作性 =\`iC6xP}  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 9%Eo<+myh  
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 平面波光源 xmNs%  
 微透镜阵列 8bJj3vr  
 彩色滤光片(吸收介质) d/Sw.=vq  
 通过基底传播 r03%+:  
 探测 8IkmFXj  
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连接建模技术：微透镜 vnN0o5  
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连接建模技术：彩色滤光片 p'`?CJq8  
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连接建模技术：可编程介质 H+{@VB  
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连接建模技术：自由空间传播 O9P+S|hcY  
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连接建模技术：堆栈 R<B5<!+  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。  + \]-"  
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 微透镜阵列 %8H$62w]  
 彩色滤光片(吸收介质) fGd1  
 通过基底传播 '&+]85_&$  
 探测 jl
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元件内场分析器：FMM ur.krsU  
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模拟结果 "O'c.v?{x  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) :>iN#)S  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) xL*J9&~iG  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) h% KEg667  
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3D仿真与结果比较 P-a8S*RRa  
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3D仿真与结果比较 Ph%{h"  
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