[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 ?s
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 _AYF'o-Cm  
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建模任务 54w-yY  
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模拟&设置：单平台互操作性 '%N)(S`O7P  
建模技术的单平台互操作性 CI{x/ e^(  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 !&[4T#c  
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 平面波光源 2wQ CQ"  
 微透镜阵列 PK" C+o;:  
 彩色滤光片(吸收介质) hgGcUpJy?  
 通过基底传播 %>TdTt  
 探测 @jKB!z9{  
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连接建模技术：微透镜 mN02T@R-  
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连接建模技术：彩色滤光片 <lR8MqjM_  
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连接建模技术：可编程介质 o@. !Z8  
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连接建模技术：自由空间传播 "Q1hP9xV  
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连接建模技术：堆栈 {y'kwU  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 rtm28|0H'  
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 微透镜阵列 $G3P3y: [  
 彩色滤光片(吸收介质) bX,Z<BvbF  
 通过基底传播 P;Ox|  
 探测 /l L*U  
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元件内场分析器：FMM P}gh-5x  
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模拟结果 =E}/Z  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) +\4=G@P.J  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Gx m"HC
  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) rlD@O~P4  
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3D仿真与结果比较 rAWBuEU;!  
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3D仿真与结果比较 Y3?kj@T`i  
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