[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 9<3( QR  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ~0,v Q   
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建模任务 C]Fw*t   
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模拟&设置：单平台互操作性 _xAru9=n^  
建模技术的单平台互操作性 X_'tgP9  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 }-:B`:K&  
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 平面波光源 EPW4
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 微透镜阵列 2@bOy~$A  
 彩色滤光片(吸收介质) 8G)~#;x1  
 通过基底传播 [GbrKq(  
 探测 _v#puFy  
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连接建模技术：微透镜 I+Fy)=DO9  

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连接建模技术：彩色滤光片 PW@ :fM:q  
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连接建模技术：可编程介质 w&YUb,{Y  
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连接建模技术：自由空间传播 M>=@Z*u/+  
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连接建模技术：堆栈 t$qIJt$  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 kj|Oj+&  
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 微透镜阵列 5Kd"W,  
 彩色滤光片(吸收介质) @G]*]rkKb  
 通过基底传播 vy2<'V*y}  
 探测 vg?(0Gasm*  
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元件内场分析器：FMM U}HSL5v  
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模拟结果 A%EhRAy  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) F%zMhX'AG  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) C!547(l[  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) {88|J'*L  
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3D仿真与结果比较 '%_K"r
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