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    [技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 04-07
    摘要 3y%,f|ju  
    dKQu  
    mUNAA[0 L  
    9Ca }+  
    近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间分辨率。同时,这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真,以验证微透镜的有效性。 d:Oo5t)MN  
    /.WIED}>  
    建模任务 ?,`g h}>  
    -V&nlP  
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    9|WV28PK:  
    模拟&设置:单平台互操作性 Ye|(5f  
    建模技术的单平台互操作性 Lz&FywF-l  
    模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 tR\cS )  
    <{T5}"e  
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    N9#5 P!  
     平面波光源 /Un\P   
     微透镜阵列 ,R\ex =c  
     彩色滤光片(吸收介质) .L~ NX/V  
     通过基底传播 y(wb?86#W5  
     探测 t)5.m}  
    R; ui 4wg6  
    连接建模技术:微透镜 '=`af>Nc  
    wBJ|%mc3TA  
    :*ZijN*{)$  
    +|--}iE5n  
    P(UY}oU  
    连接建模技术:彩色滤光片 =q(?ALGc  
    B7wzF"  
    dZY|6  
    H)h$@14xu  
    连接建模技术:可编程介质 )3WUyD*UZN  
    =M6{{lI/  
    ]9-iEQ  
    M.\XG}RR  
    连接建模技术:自由空间传播 TBIr^n>Z<k  
    DX^8w?t  
     nvCp-Z$  
    yIC C8M  
    连接建模技术:堆栈 P]iJ"d]+X  
    在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。 8!b>[Nsc  
    CTe!jMZ=  
    'h@&rr@5  
    W!"Oho'  
     微透镜阵列 d)3jkHYEjj  
     彩色滤光片(吸收介质) 9C8 G(r  
     通过基底传播 _f~$iY  
     探测 JAM]neKiX  
    *&tTiv{^  
    元件内场分析器:FMM 3mHP=)  
    DS9-i2  
     6HPuCP  
    GO.7IL{ {  
    模拟结果 Z^BZH/I?  
    P 'o]#Az  
    像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) .mNw^>:cq  
    liqVfB%  
    YCVT0d  
    0e07pF/!  
    像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) `t\\O  
    | N}*  
    6b%IPbb  
     7|yEf  
    像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (J?_~(,`"  
    &'`ki0Xh;  
    >l #D9%  
    z7z9lDS  
    3D仿真与结果比较 5i}g$yjZ<  
    #?`S+YN!q)  
    vL;>A]oM2  
    B873UN  
    3D仿真与结果比较 #|3,DZ|)F  
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