[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 DYy@t^sC  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 "9MX,}X*  
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建模任务 4nVO.Ud0$X  
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模拟&设置：单平台互操作性 +E""8kW- Z  
建模技术的单平台互操作性 9fr&Yb=_o@  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 DI2S %Nl  
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 平面波光源 y7}~T!UyfF  
 微透镜阵列 7@e[:>e  
 彩色滤光片(吸收介质) JY;#]'T\;  
 通过基底传播 Ed ?Yk* 4  
 探测 MOH,'@&6^  
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连接建模技术：微透镜 XH_qA[=c]  
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连接建模技术：彩色滤光片 st1M.}  
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连接建模技术：可编程介质 16d{IGMz  
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连接建模技术：自由空间传播 oeU+?-y/b  
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连接建模技术：堆栈 m<VL19o>R  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 s\K-(`j}  
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 微透镜阵列 rO2PbF3  
 彩色滤光片(吸收介质) 4QN6BZJ5  
 通过基底传播 LnACce ?b  
 探测 =K&q;;h  
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元件内场分析器：FMM hJtghG6v  
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模拟结果 kv`3Y0R-"  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ]`+"o[  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) O
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) I5AjEp  
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3D仿真与结果比较 Ffqn|}gb  
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3D仿真与结果比较 mm~o%1|WR  
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