[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 V@.Ior}w  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 @o].He@L<j  
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建模任务 /*(Kr'c  
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模拟&设置：单平台互操作性 '&P%C" 5  
建模技术的单平台互操作性 ?>9/#Nv  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 0Uz"^xO["  
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 平面波光源 B9_X;c  
 微透镜阵列 i'<[DjMDlm  
 彩色滤光片(吸收介质) dM.f]-g  
 通过基底传播  \{_q.;}  
 探测 R3f89  
B&M%I:i  
连接建模技术：微透镜 Qab>|eSm  
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连接建模技术：彩色滤光片 nAAs{  
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G`D`Af/B  
连接建模技术：可编程介质 4d4ZT?V[  
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连接建模技术：自由空间传播 R{`(c/%8  
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连接建模技术：堆栈 caR<Kb:;*  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 H\"sgoJ  
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 微透镜阵列 lWk>z; d  
 彩色滤光片(吸收介质) bTN
gjc  
 通过基底传播 JPI3[.o  
 探测 yf.~XUk^  
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元件内场分析器：FMM G^|:N[>B  
Pl06:g2I  
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J$DE"|-  
模拟结果 |-67\p]  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) A0s ZOCky  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) \~mT] '5  
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OX0%C.K)hZ  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) K:[F%e  
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3D仿真与结果比较 rl;
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3D仿真与结果比较 (*'f+R`$  
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