[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 #5{sglC"|F  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 DrS?=C@  
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建模任务 l,bZG3,6  
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模拟&设置：单平台互操作性 2Ow<`[7  
建模技术的单平台互操作性 I~RcOiL)  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ~CFMIQ et  
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 平面波光源 !R{em48D  
 微透镜阵列 <7RfBR.9  
 彩色滤光片(吸收介质) _LLshV3  
 通过基底传播 uBRw>"c_*8  
 探测 Q\WXi  
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连接建模技术：微透镜 A$m<@
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连接建模技术：彩色滤光片 ;tr)=)q&  
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ua:9`+Dff  
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连接建模技术：可编程介质 Sj1r s#@1  
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连接建模技术：自由空间传播 \E&thp  
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连接建模技术：堆栈 B[7A  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 @?M;'xMbB  
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 微透镜阵列 pLo;#e8'f  
 彩色滤光片(吸收介质) ec1Fg0Fa  
 通过基底传播 `.`FgaJ |  
 探测 U,d2DAvt  
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元件内场分析器：FMM iz(m3k:w  
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模拟结果 <L%HG  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) /rOnm=P+Q  
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Ltl]j*yei  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) Db
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) +O,V6XRr  
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DWdLA~'t  
3D仿真与结果比较 $Q#?`j  
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3D仿真与结果比较 z3ZuC{  
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