摘要 3y%,f|ju
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mUNAA[0 L 9Ca }+ 近几十年来,CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm,甚至更小。通过减小像素尺寸,可以获得更高的空间
分辨率。同时,这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中,我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真,以验证微透镜的有效性。
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8#nAs\^ 9|WV28PK: 模拟&设置:单平台互操作性 Ye| (5f 建模技术的单平台互操作性 Lz&FywF-l 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术,这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
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f hjlt# N9#5 P! 平面波
光源 /Un\P 微透镜
阵列 ,R\e x =c 彩色滤光片(吸收介质)
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NX/V 通过基底传播
y(wb?86#W5 探测
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4wg6 连接建模技术:微透镜 '=`af>Nc wBJ|%mc3TA :*ZijN*{)$
+|--}iE5n P(UY}oU 连接建模技术:彩色滤光片 = q(?ALGc B7wzF"
dZY|6 H)h$@14xu 连接建模技术:可编程介质 )3WUyD*UZN
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]9-iEQ M.\XG}RR 连接建模技术:自由空间传播 TBIr^n>Z<k DX^8w?t
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C8M 连接建模技术:堆栈 P]iJ"d]+X 在VirtualLab Fusion中,堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中,可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意,整个堆栈使用了相同的建模技术。
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'h@&rr@5 W!"Oho' 微透镜阵列
d)3jkHYEjj 彩色滤光片(吸收介质)
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JAM]neKiX *&tTiv{^ 元件内场分析器:FMM 3mHP=) DS9-i2
6HPuCP GO.7IL{{ 模拟结果 Z^BZH/I? P'o]#Az 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) .mNw^>:cq liqVfB%
YCVT0d 0e07pF/! 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) `t\\O
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7|yEf 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (J?_~(,`"
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