[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 3y%,f|ju  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 d:Oo5t)MN  
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建模任务 ?,`g h}>  
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模拟&设置：单平台互操作性 Ye|(5f  
建模技术的单平台互操作性 Lz&FywF-l  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 tR\cS)  
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 平面波光源 /Un\P  
 微透镜阵列 ,R\ex =c  
 彩色滤光片(吸收介质) .L~ NX/V  
 通过基底传播 y(wb?86#W5  
 探测 t)5.m}  
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连接建模技术：微透镜 '=`af>Nc  
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连接建模技术：彩色滤光片 =q(?ALGc  
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连接建模技术：可编程介质 )3WUyD*UZN  
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连接建模技术：自由空间传播 TBIr^n>Z<k  
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连接建模技术：堆栈 P]iJ"d]+X  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 8!b>[Nsc  
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 微透镜阵列 d)3jkHYEjj  
 彩色滤光片(吸收介质) 9C8 G(r  
 通过基底传播 _f~$iY  
 探测 JAM]neKiX  
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元件内场分析器：FMM 3mHP=)  
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模拟结果 Z^BZH/I?  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) .mNw^>:cq  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) `t\\O  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) (J?_~(,`"  
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3D仿真与结果比较 5i}g$yjZ<  
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3D仿真与结果比较 #|3,DZ|)F  
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