[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 8U2dcx:G3  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 nCg66-3A  
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建模任务 d=.2@Ry  
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模拟&设置：单平台互操作性 dB
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建模技术的单平台互操作性 Rxpn~QQ  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 7;`o( [N  
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 平面波光源 ajhEL?%D  
 微透镜阵列 >r5P3G1  
 彩色滤光片(吸收介质) mbl]>JsQD  
 通过基底传播 s,VXc/  
 探测 %bXx!x8(  
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连接建模技术：微透镜 F^aR+m  
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连接建模技术：彩色滤光片 0x2!<z  
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连接建模技术：可编程介质 qMBR *f  
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连接建模技术：自由空间传播 u#7+U\  
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u),Qa=Wp  
连接建模技术：堆栈 3CjL\pIC  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 23(=Xp3;>  
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 微透镜阵列 h~U02"$  
 彩色滤光片(吸收介质) NBh%:tu7M  
 通过基底传播 8 S`9dSc  
 探测 tHD  
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元件内场分析器：FMM 1xNVdI  
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模拟结果 PMsz`  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) *x~xWg9^  

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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) .o%^'m"=D[  
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X C86-b)E  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O40+M)e]  
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3D仿真与结果比较 4:3rc
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3D仿真与结果比较 os3 8u!3-  
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