摘要 Kla:e[{
h'^FrW aU/
FsCwF&/q /aUFc '5 近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间
分辨率。同时，这也给每个像素上微
透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行
仿真，以验证微透镜的有效性。
]5|z3<K^ \iMyo 建模任务 <<3+g"enno
|#TXE|#ux
= cfm= + ]Sta]}VQ 模拟&设置：单平台互操作性 N4 [E~ - 建模技术的单平台互操作性 I$ N7pobh 在
模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对
系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。
v`{:~ q* L? ;/cO^ 
\;
bW h B- Y +F 平面波
光源 \7E`QY4 微透镜
阵列 oofFrAaT 彩色滤光片(吸收介质)
*1;23BiH - 通过基底传播
Ea`OT+#h(* 探测
*5w v%- rh $1-Y 连接建模技术：微透镜 \o9@[t>&2 WzG07 2w md6*c./Z 
Lr M}?9' 1hNEkp L^a 连接建模技术：彩色滤光片 dy_.(r5[L] aB COGtf 
hCLk#_ a R#Cot 连接建模技术：可编程介质 nx :)k-p_[
R+^z y"~
eH=c|m]!P b@-)Fy4d2 连接建模技术：自由空间传播 -~'k P /E^ $Z7:#cZ Y 
--/-D5 m9g^ -X 连接建模技术：堆栈 / $OIlu 在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离
结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。
)tPl<lb Fhi5LhWe+. 
c+;S<g 0 g!`BXm W 微透镜阵列
!'PlDGD 彩色滤光片(吸收介质)
/a%KS3>V* 通过基底传播
I:/4t^% 探测
2 ^bgC~2C1 ^=#!D[xj> 元件内场分析器：FMM (v|`LmV "sIN86pCs 
67
O<*M .ftUhg 模拟结果 %((cFQ9 P59 uALi 像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) M[vCpa
573~-Jvx 
/]l f>\x1 W#Cq6N 像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) (T2<!&0 @
xx}'l:}2 ]
" V/k<HRw tQ6 | PV 像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) hf[ IEK
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%SFw~%@3&~ 6<Be#Y] b 3D仿真与结果比较 :!hk~#yvJ9
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