[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 8=%%C:  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 >%~%O`+  
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建模任务 `n# {}%  
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模拟&设置：单平台互操作性 nzdJ*C  
建模技术的单平台互操作性 ?y\gjC6CNG  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 nbpGxUF`]  
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y3 R+060\3  
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 平面波光源 uH}cvshv  
 微透镜阵列 1HF=,K+  
 彩色滤光片(吸收介质) ?~;8Y=O  
 通过基底传播 W+&w'~M  
 探测 =c-,uW11[  
*)V1Sd#m  
连接建模技术：微透镜  vj+x
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R(?g+:eCpM  
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连接建模技术：彩色滤光片 u'o."J^&'  
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连接建模技术：可编程介质 '\$2+*  
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连接建模技术：自由空间传播 6iiH+Nc  
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连接建模技术：堆栈 jXBAo  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 1N#KVvK  
6]=R#d 7U  
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 微透镜阵列 6gLk?^.  
 彩色滤光片(吸收介质) jp
l"KN?X  
 通过基底传播 =tJ}itcJ'  
 探测 Jl-Lz03YG  
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元件内场分析器：FMM cr{;gP  
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模拟结果 N|n"JKw)  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) }n+#o!uEf  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) ^f:oKKaAW;  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) O@@=ZyYwc  
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3D仿真与结果比较 #{]X<et  
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3D仿真与结果比较 sb"etc`w%-  
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