[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 O'y8q[2KE  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 ^h(wi`i  
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建模任务 e+ xQ\LH  
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模拟&设置：单平台互操作性 3EoCEPb#  
建模技术的单平台互操作性 9T,/R1N8  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Dg&84,bv^  
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 平面波光源 F:{*4b  
 微透镜阵列 \2SbW7"/;P  
 彩色滤光片(吸收介质) ;b~ S/  
 通过基底传播 g: i5%1  
 探测 >ohH4:  
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连接建模技术：微透镜 jHLs 5%  
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连接建模技术：彩色滤光片 gI+8J.AG=  
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连接建模技术：可编程介质 H4/wO  
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连接建模技术：自由空间传播 T$Z9F^w  
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连接建模技术：堆栈 TlG>)Z@/  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 z;OYPGvkw  
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 微透镜阵列 !_W:%t)g  
 彩色滤光片(吸收介质) ou,[0B3n0  
 通过基底传播 exRw, Nk4  
 探测 % rBzA<  
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元件内场分析器：FMM #]#9Xq  
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模拟结果 :]3X Ez  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) ,Oo`*'a[o7  
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ts]e M1;  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) QM$UxWo-  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) 8%rD/b6`  
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3D仿真与结果比较 jNZ.Fb  
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3D仿真与结果比较 h]7_ N,  
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