[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 h
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 X-<l+WP  
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建模任务 k^#+Wma7  
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模拟&设置：单平台互操作性 M-V{(  
建模技术的单平台互操作性 Tl!}Rw~Pg  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 ~wFiq)v(  
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 平面波光源 <<Q}|$Wu  
 微透镜阵列 _Q9I W  
 彩色滤光片(吸收介质) 928uGo5  
 通过基底传播 V0G"Z6  
 探测 H(gETRh  
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连接建模技术：微透镜 6qd?&.=r  
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连接建模技术：彩色滤光片 yA]OX"T?*  
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连接建模技术：可编程介质 [?55vYt  
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连接建模技术：自由空间传播 cBt
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连接建模技术：堆栈 (9Of,2]&E  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 QTospHf`  
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 微透镜阵列 J,*+Ak ~  
 彩色滤光片(吸收介质) dC>(UDC  
 通过基底传播 :[&QoEZW  
 探测 <~zPt&C]V  
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元件内场分析器：FMM )%09j0y>l"  
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模拟结果 k\X yR4r  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) )|6OPR@(#/  
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像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) X0knM}5  
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像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) L=dQ,yA  
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3D仿真与结果比较 TZhYgV  
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3D仿真与结果比较 gs&F .n  
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