[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 $VX<UK$|s  
c$<7&{Pb  
M4;A4V=W  
IIN"'7Z^R  
近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 9fWr{fx  
]Q}z-U  
建模任务 5kwDmJy  
A+JM* eB  
won(HK\1p  
ELF,T(  
模拟&设置：单平台互操作性 8"C;I=]8  
建模技术的单平台互操作性 X%S9H^9  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 $N7:;X"l  
fk(l.A$  
=y3gnb6  
*^'$YVd#  
 平面波光源 *fBI),bZa  
 微透镜阵列 dHU#Y,v  
 彩色滤光片(吸收介质) 3I)!.N[m  
 通过基底传播 <h_lc}o/  
 探测
/M
S*_  
|51z&dG  
连接建模技术：微透镜 gE,i
Cx  
R5QSf+/T4  
B_u+$Odo  
X X>Y]P a  
RvL-SI%E  
连接建模技术：彩色滤光片 cJ 5":^O  
:K!@zT=o  
u~X]W3  
;SBM
7fwRk  
连接建模技术：可编程介质 JwzA'[tM  
5S PGv}if  
{5+t\~q$  
Qtmsk:qm  
连接建模技术：自由空间传播 o;o ji  
YW@Ad  
8-cB0F=j_  
q9-=>  
连接建模技术：堆栈 P |c6V  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 \h6_m)*H4  
(rcH\   
w.qpV]9>  
Or&TGwo I  
 微透镜阵列 u1yc  
 彩色滤光片(吸收介质) + M2|-C  
 通过基底传播 6MfjB@  
 探测 I;`)1   
MVV9[f  
元件内场分析器：FMM *Yk3y-   
d+KLtvB%M  
WU-.lg'c'  
/}?"O~5M"  
模拟结果 [((P,v*  
/H+j6*}r  
像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) Mn(:qQo^&`  
PTe8,
cD>  
BH0@WG7F  
pg69mKZ$  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) %WrUu|xj>_  
Pj_2y)^?  
,.u7([SGm  
~={8b  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) D@tuu]%p  
b_*Y5"(*  
6\(wU?m'/  
p=6Q0r|'  
3D仿真与结果比较 QK-_~9V  
}<w/2<T[  
BnH<-n_  
bH+p5Fd;  
3D仿真与结果比较 1R)4[oYN\<  
EzK,SN#