K(HrwH`a{ 时间地点 zGy+jeH:. 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
i:jns>E 苏州黉论教育咨询有限公司
A[F_x*S 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
+\?+cXSc 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
sL;;'S& 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
ddd2w 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
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<Iikx 课程简介 <":83RCS 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
8kvA^r` 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
fxmY,{{ 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
6ND*L0 1Zi` \N4T 课程大纲 @!}/$[hu1 第一天
Ql9>i;AGV 1. 基本干涉原理
@"wX#ot 干涉发生的条件
7U^{xDg.b 杨氏双缝特性
H!Dj.]T 2. 典型的干涉仪系统建模
D7muf 光学层析扫描在面型检测中的应用
%oWG"u 基于涡旋光的干涉测量系统
Br.UN~q
激光准直镜的测量
)u4=k( 基础Mirau干涉仪的仿真
v#`> Q&A
Jd',v 第二天
.}T- R? 1. 干涉系统的应用
W;os4'h$
光学系统部分相干性测试
?M6)O?[ 法布里腔干涉仪分辨
光谱 5.DmMG[T^= 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
salDGsW^ 全息曝光干涉
3\{\ al 2. 多尺度系统建模仿真
s^4wn:*$zd 衍射
光栅干涉测量
d|)ARRW 阿贝
成像理论
X*w;6 V 单色仪/光谱仪系统仿真
rixVIfVF 用于微结构晶圆检测的光学系统
OW@"j;6
3` 不同轮廓亚
波长光栅的成像
+XW1,ly~ 结构光
照明显微镜与STED显微镜
(`4&Y- SPR表面等离子共振效应
E7hs+Mh 3. 摩尔纹系统
1ox#hQBoS 摩尔纹检测系统
O(v>\MV Q&A
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