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    [培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三:光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 02-18
    K(HrwH`a{  
    时间地点 zGy+jeH:.  
    主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司 i:jns>E  
    苏州黉论教育咨询有限公司 A[F_x*S  
    授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00 +\?+cXSc  
    授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 sL ;;'S&  
    课程讲师:讯技光电工程师团队成员 ddd2w  
    课程费用:3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) Y#6LNI   
    a <Iikx  
    课程简介 <":83RCS  
    纵观历史,光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 8kvA^r`  
    干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 fxmY,{{  
    显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。 6ND*L0  
    1Zi` \N4T  
    课程大纲 @!}/$[hu1  
    第一天
    Ql9>i;AGV  
    1. 基本干涉原理 @"wX#ot  
     干涉发生的条件 7U^{xDg.b  
     杨氏双缝特性 H!Dj.]T  
    2. 典型的干涉仪系统建模 D7m uf  
     光学层析扫描在面型检测中的应用 %oWG"u  
     基于涡旋光的干涉测量系统 Br.UN~q  
    激光准直镜的测量 )u4=k(  
     基础Mirau干涉仪的仿真 v#`>  
    Q&A Jd',v  
    第二天
    .}T-R?  
    1. 干涉系统的应用 W; os4'h$  
    光学系统部分相干性测试 ?M6)O?[  
     法布里腔干涉仪分辨光谱 5.DmMG[T^=  
     时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪) salDGsW^  
     全息曝光干涉 3\{\ al   
    2. 多尺度系统建模仿真 s^4wn:*$zd  
     衍射光栅干涉测量 d|)ARRW  
     阿贝成像理论 X*w;6 V  
     单色仪/光谱仪系统仿真 rixVIfVF  
     用于微结构晶圆检测的光学系统 OW@"j;6 3`  
     不同轮廓亚波长光栅的成像 +XW1,ly~  
     结构光照明显微镜与STED显微镜 (`4&Y-  
     SPR表面等离子共振效应 E7hs+Mh  
    3. 摩尔纹系统 1ox#hQBoS  
     摩尔纹检测系统 O(v>\MV  
    Q&A
    i_QiE2d  
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