[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

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时间地点 5"=qVmT)  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 sHx>UvN6  
苏州黉论教育咨询有限公司 z{w!yMp"  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 8_6\>hW&  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 s
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课程讲师：讯技光电工程师团队成员 =^m,|j|d>4  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) w~A{]s{4  
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课程简介 Mvq5s+.  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 #IjG[a-  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 r]p 0O(  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 8y5iT?.~vy  
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课程大纲 4hb<EH'_&  
第一天 =l?F_  
1. 基本干涉原理 i#o:V/Z.  
 干涉发生的条件 OTs vox|(  
 杨氏双缝特性 #%t&f"j2  
2. 典型的干涉仪系统建模 dGU io?  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 pJ Iq`)p5  
 基于涡旋光的干涉测量系统 <<}t&qE%2%  
 激光准直镜的测量 QZ!;` ?(  
 基础Mirau干涉仪的仿真 !iBe/yb  
Q&A x#ub % t  
第二天 Fdsaf[3[v  
1. 干涉系统的应用 BFP (2j  
 光学系统部分相干性测试
t .*z)N  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 Ffxf!zS  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） 5 Z
+2   
 全息曝光干涉 cn1UFmT  
2. 多尺度系统建模仿真 x_&=IyU0j  
 衍射光栅干涉测量 rxZ%vzVQ>  
 阿贝成像理论 $\BRX\6(-  
 单色仪/光谱仪系统仿真 ,f ..46G  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 v0762w  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 es}j6A1  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 V7}5Zw1  
 SPR表面等离子共振效应 0'T*l2Z`2  
3. 摩尔纹系统 QJ2V&t"3  
 摩尔纹检测系统 0?hJ!IT;q7  
Q&A