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% x-i 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
Tlv|To 苏州黉论教育咨询有限公司
Vf* B1Zb 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
|x~ei_x7.p 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
wz2)seZY 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
r4qV}-E 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
Sv[_BP\^h kO O~%|1CP 课程简介 REe%>|
纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
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0=@{( 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
X([n>w 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
n@8{FoF b8xfV{3 L 课程大纲 5nlyb,"^g 第一天
vt7C 1. 基本干涉原理
o ML
K!]a 干涉发生的条件
a[OLS+zf!P 杨氏双缝特性
+]2~@=<@ 2. 典型的干涉仪系统建模
5^R#e(mr 光学层析扫描在面型检测中的应用
vVRCM 基于涡旋光的干涉测量系统
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激光准直镜的测量
L
~'N6 基础Mirau干涉仪的仿真
i7E7%~S Q&A
[ Sa
C 第二天
q>h+Ke 1. 干涉系统的应用
X|0`$f
光学系统部分相干性测试
'g,
x}6 法布里腔干涉仪分辨
光谱 yru}f;1 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
[IX!3I[J] 全息曝光干涉
o".O#^3H% 2. 多尺度系统建模仿真
15yV4wHr 衍射
光栅干涉测量
T_
#oMXZ/ 阿贝
成像理论
z+`)|c4- 单色仪/光谱仪系统仿真
JN|# 用于微结构晶圆检测的光学系统
Tp.iRFFkP 不同轮廓亚
波长光栅的成像
U0=zuRr n 结构光
照明显微镜与STED显微镜
=Qq^=3@h SPR表面等离子共振效应
tWy<9TF 3. 摩尔纹系统
hndRgCo 摩尔纹检测系统
JHOBg{Wg Q&A
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