Pc]c8~ 时间地点 WPE@yI(
主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
u%O^hcfb 苏州黉论教育咨询有限公司
'Ph4(Yg 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
Jz#ZDZkm 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
(D8'qx-M 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
Y54*mn 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
Q9[dUdQm XEZ6%Q_ 课程简介
e?G*q)l 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
2|~&x~ 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
pAmTwe 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
GX_Lxc_<f +V|]:{3W 课程大纲 su=.4JcK 第一天
(6\A"jey\x 1. 基本干涉原理
)m[!HE`cZ 干涉发生的条件
%!rsu-W:Y 杨氏双缝特性
!9o8v0ZI 2. 典型的干涉仪系统建模
2$NP46z} 光学层析扫描在面型检测中的应用
O!f* @ 基于涡旋光的干涉测量系统
PJAir8
激光准直镜的测量
;T52aX 基础Mirau干涉仪的仿真
]Wa,a
T' Q&A
Gz *U?R-T 第二天
l!i B
-?'u 1. 干涉系统的应用
72-@!Z0e
光学系统部分相干性测试
6}ax~wYct 法布里腔干涉仪分辨
光谱 >5 5/@+^ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
GW
$iK@ 全息曝光干涉
k5xirB_ 2. 多尺度系统建模仿真
f\(K ou$ 衍射
光栅干涉测量
6ldDt?iSg 阿贝
成像理论
^ O` 单色仪/光谱仪系统仿真
_X.M,id 用于微结构晶圆检测的光学系统
G#%
=R`k/ 不同轮廓亚
波长光栅的成像
rbtPG=t_R 结构光
照明显微镜与STED显微镜
sox90o 7 SPR表面等离子共振效应
3 oWCQ 3. 摩尔纹系统
U3U eTa_ 摩尔纹检测系统
V
u!,tpa. Q&A
n6uobo- 
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