9M^5<8: 时间地点 L8q#_k 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
EKO~\d 苏州黉论教育咨询有限公司
$EHFf$M 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
?H!jKX 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
])G|U A. 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
;HBKOe_3 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
pP#D*hiP-g W\($LD"X 课程简介 xQ';$& 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
,{\Ae"{6 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
w_V A:]j4 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
E7i/gY KwV!smi2 课程大纲 [m4M#Lg\0 第一天
A9g/At_ 1. 基本干涉原理
skXzck 干涉发生的条件
mZXtHFMu 杨氏双缝特性
:Jf</uP_ 2. 典型的干涉仪系统建模
KgbBa2@+ 光学层析扫描在面型检测中的应用
qO38vY){ 基于涡旋光的干涉测量系统
S,C c0)j>
激光准直镜的测量
Pwj|]0Y@ 基础Mirau干涉仪的仿真
%sPze] Q&A
FZ RnIg 第二天
3=o4ncg( 1. 干涉系统的应用
:/%Y"0
光学系统部分相干性测试
qou\4YZ 法布里腔干涉仪分辨
光谱 l*]hUP J 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
{chZ&8)f 全息曝光干涉
PNd'21N 2. 多尺度系统建模仿真
[mQ1r*[j 衍射
光栅干涉测量
hr&&b3W3p 阿贝
成像理论
sV-PR] 单色仪/光谱仪系统仿真
_yJz:pa 用于微结构晶圆检测的光学系统
k0N>J8y 不同轮廓亚
波长光栅的成像
U,p'<rmS 结构光
照明显微镜与STED显微镜
!;mn]wR>a SPR表面等离子共振效应
t2vm&jk 3. 摩尔纹系统
j1qU 4#Y 摩尔纹检测系统
S[q:b
. Q&A
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