[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题三：光的干涉原理及光学检测系统的建模仿真 [复制链接]

pHeG{<^  
时间地点 ;vH2r~  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 C(N'=-;Kl  
苏州黉论教育咨询有限公司 P3zUaN\c  
授课时间：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 O =Z}DGa+  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 gX}'b\zxC  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 mrTf["K  
课程费用：3000RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) e+[*4)Qfy  
.p#kW:zspA  
课程简介 ?JrUZXY  
纵观历史，光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段，这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应（相干、偏振、干涉、衍射等），以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具，利用快速物理光学理论来促进快速仿真。 ^h[6{F~J  
干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识，如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。 K.Xy:l*z  
显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分，课程内容中也涵盖了高NA系统，微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统，摩尔纹系统等。 5GsmBf$RUb  
5nG\J g7  
课程大纲 F&Md+2  
第一天 xWLvx'8
W  
1. 基本干涉原理 k<9,Ypa  
 干涉发生的条件 /vQ)$;xf#  
 杨氏双缝特性 m06'T2I  
2. 典型的干涉仪系统建模 %BI
8m|6  
 光学层析扫描在面型检测中的应用 <y
6`8J7:  
 基于涡旋光的干涉测量系统 bxXpw&  
 激光准直镜的测量 L!Jx`zM^  
 基础Mirau干涉仪的仿真 Y+-yIMt$r  
Q&A UTA|Ps$  
第二天 vt EfH  
1. 干涉系统的应用 JX59n%$@  
 光学系统部分相干性测试 <5zR-UA>  
 法布里腔干涉仪分辨光谱 eR!#1ar  
 时间相干性的测试（傅里叶变换光谱仪） GBz?$]6  
 全息曝光干涉 V.~kG ,Ht  
2. 多尺度系统建模仿真 lu#a.41  
 衍射光栅干涉测量 nW=6nCyvo  
 阿贝成像理论 579Q&|L.  
 单色仪/光谱仪系统仿真 8lF9LZ8  
 用于微结构晶圆检测的光学系统 [L%Ltmx  
 不同轮廓亚波长光栅的成像 _}{KS, f]0  
 结构光照明显微镜与STED显微镜 ZU\$x<,  
 SPR表面等离子共振效应 WIWo4[(  
3. 摩尔纹系统 ]3,'U(!+  
 摩尔纹检测系统 !r/i<~'Bx  
Q&A