_n1[(I 时间地点 1YK(oRSDn 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
t)1`^W} 苏州黉论教育咨询有限公司
2VzYP~Jg 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
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*nh 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
4*&k~0#t 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
.+,U9e:% 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
+Qf}&D_ P ^ 4 @ 课程简介 tuLNGU 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
0` .5gxm 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
$,yAOaa 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
u"4B5D 5vg="@O K 课程大纲 /'VbV8% 第一天
)+R n[MMp 1. 基本干涉原理
yzv"sd[8N 干涉发生的条件
AJm$(3?/D 杨氏双缝特性
QFMAy>Gdn 2. 典型的干涉仪系统建模
H8B$#. 光学层析扫描在面型检测中的应用
"Kdn`zN{ 基于涡旋光的干涉测量系统
:AS`1\ C
激光准直镜的测量
em'ADRxG+ 基础Mirau干涉仪的仿真
_ OC@J*4. Q&A
?xrOhA9 第二天
SnR2o3r-Of 1. 干涉系统的应用
4Y$\QZO
光学系统部分相干性测试
aydNSgu 法布里腔干涉仪分辨
光谱 %IZd-N7i^ 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
$rI 1|;^ 全息曝光干涉
GX0zirz 2. 多尺度系统建模仿真
MXa^g" 衍射
光栅干涉测量
IzJq:G. 阿贝
成像理论
I}m20|vv 单色仪/光谱仪系统仿真
N!Rt040.% 用于微结构晶圆检测的光学系统
}zx
~ 不同轮廓亚
波长光栅的成像
3 ye 结构光
照明显微镜与STED显微镜
Rq%Kw> {& SPR表面等离子共振效应
|?ssHW 3. 摩尔纹系统
?*%_:fB 摩尔纹检测系统
bi^?SH\ Q&A
r4fHD~#l{ 
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