gts09{"}Y 时间地点 'EC0|IT)c 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
VFq7nV/O 苏州黉论教育咨询有限公司
Z-3("%_$/ 授课时间:2025年3月22(六)-23(日)AM 9:00-PM 16:00
kQ"Ax? b 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
ki|OowP 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
rJ(A O'= 课程费用:3000RMB(课程包含课程
材料费、开票税金、午餐费)
z9w]{Zd_,d cZ3A~dTOR 课程简介 5xQ5)B4k 纵观历史,
光学为进行极其精确的测量提供了必要的手段,这是激发科学技术潜力的重要一环。对计量
系统的分析不可避免地需要考虑物理光学效应(相干、偏振、干涉、衍射等),以产生现实、充分的结果。VirtualLab Fusion为这种分析提供了必要的工具,利用快速物理光学理论来促进快速仿真。
mQ3gp&d3W 干涉系统被广泛的应用于光学测量和光学检测等领域。对这类系统工作原理的讨论必须要结合物理光学的知识,如光的电磁场表示、光的波动性、光场的叠加等。
;H9 W:_ahE 显微系统也是组成光学测量的一个重要组成部分,课程内容中也涵盖了高NA系统,微观与宏观相结合的完整系统仿真如晶圆检测系统,摩尔纹系统等。
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u&dU'@q SgkW-# 课程大纲 eoJ*?v 第一天
xVTl 1. 基本干涉原理
8S5Q{[ ! 干涉发生的条件
8X/SNRk6p 杨氏双缝特性
udPLWrPF\ 2. 典型的干涉仪系统建模
f# -\*
光学层析扫描在面型检测中的应用
?*6Q;.f< 基于涡旋光的干涉测量系统
q#K0EAgC
激光准直镜的测量
c3WF!~1r 基础Mirau干涉仪的仿真
\d3 ~kq3 Q&A
qB+OxyT& 第二天
G=l:v 1. 干涉系统的应用
4#W*f3d[@:
光学系统部分相干性测试
%qEp{itq 法布里腔干涉仪分辨
光谱 [LrO"9q( 时间相干性的测试(傅里叶变换光谱仪)
+_jM$?:F} 全息曝光干涉
Pm QeO*f+ 2. 多尺度系统建模仿真
(yoF 衍射
光栅干涉测量
?rziKT5OOC 阿贝
成像理论
k"E|E";B 单色仪/光谱仪系统仿真
2InM(p7j~K 用于微结构晶圆检测的光学系统
pcQgWjfS 不同轮廓亚
波长光栅的成像
S5r.so 结构光
照明显微镜与STED显微镜
&'Xgf!x SPR表面等离子共振效应
} ?MbU6" 3. 摩尔纹系统
/#SH`ZK 摩尔纹检测系统
/J9Or{#r Q&A
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