6.~HbN 时间地点 cz
OhSbmc 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
&\. LhOm 苏州黉论教育咨询有限公司
jr~ +}|@{ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
Y<:%_]] 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
&qz&@!` 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
i' %V}2 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
f?#:@ zcL /$\yAOA'y 课程简介:
6S])IA&VJ 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
.Di+G-#aEs {3yzC 课程大纲:
:35J<oG 第一天
^TVy:5Ag 1. 光栅结构建模
SEr\ u# 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 jkQv cU 光栅的建模
Au#(guvm 2. 光栅仿真算法比较
D@^ r
薄元近似法(Thin Element Approximation)
.=3Sm% 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
i
cQsA 3. 光栅严格分析实例
vUS$DUF 闪耀光栅
8? W\kf$ 光栅与偏振
'1~mnmiP 非傍轴衍射分束器分析
8UwL%"?YB 4. 光栅设计与优化
:(} {uG 倾斜光栅结构参数优化
]d_Id]Qa+ 公差分析
Ik>sd@X*| 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
,COSpq]6 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
SLSJn))@! Q&A
.MhZ=sn ,aV89"} 第二天
L;Nz\sJ 1. 二维光栅结构建模
, =IbZ 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
<po.:c
Ce 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
v#IW;Rj8 2. 二维光栅设计优化
bnWIB+%_ 抗反射蛾眼结构设计
.r[DqC 公差分析
P%xk
纳米柱的严格分析
}=^YLu= 共振
光子晶格仿真
*^=`HE89S 3. 超表面微纳结构
*hF5cM[ 超表面分光光栅设计
ORs<<H.d 设计和分析超透镜
/_xwHiA 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
&e7yX 4. 包含光栅的光学系统仿真
r|fJ~0z 光栅衍射测量
pJ6bX4QnDX 结构光
照明的显微镜系统
2!~j(_TA 微结构晶圆检测系统
QV L92" 泰伯效应
1jh^-d5 Q&A
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