9sYMSc~Bm 时间地点 VA#"r!1 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
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"wwpl? 苏州黉论教育咨询有限公司
R{SF(g3 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
p8Qk'F=h 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
1~NT.tY 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
KW pVw! 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
Sw ig;` D2Kp|F; 课程简介:
g}1B;zGf 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
12b(A+M
h-`? {k&e 课程大纲:
.SU8)T 第一天
K0|FY=#2y 1. 光栅结构建模
"*e$aTZB\ 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 kTOzSiq 光栅的建模
YYBDRR" 2. 光栅仿真算法比较
V^bwXr4f 薄元近似法(Thin Element Approximation)
DEKP5?] 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
dO!
kk"qn 3. 光栅严格分析实例
s+$ Q}|?u 闪耀光栅
E Nhl&J 光栅与偏振
vc;$-v$& 非傍轴衍射分束器分析
N/"{.3{W 4. 光栅设计与优化
SJn;{X>)q 倾斜光栅结构参数优化
/T0F"e)Ci 公差分析
IL#"~D? 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
m$>H u@Va 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
2*;~S44 Q&A
nS }<-s 7rc0yB
第二天
_)3|f<E_t) 1. 二维光栅结构建模
5H<m$K4z 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
/K@XzwM 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
K_|k3^xx" 2. 二维光栅设计优化
K7_UP&`=J 抗反射蛾眼结构设计
!C': 公差分析
dVtG/0
纳米柱的严格分析
4yy>jXDG 共振
光子晶格仿真
/$Nsd 3. 超表面微纳结构
WUn]F~Lt 超表面分光光栅设计
AUG#_HE]k 设计和分析超透镜
[.7d<oY 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
oGnSPI5KGC 4. 包含光栅的光学系统仿真
^eY!U%. 光栅衍射测量
M6"PX *K 结构光
照明的显微镜系统
!Iy_UfW 微结构晶圆检测系统
'x#~'v* 泰伯效应
yW=::= Q&A
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