[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 vlD!YNy  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 u7e g:0Y  
苏州黉论教育咨询有限公司 4)BPrWea1  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 h9McC3  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 0RLyAC|  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员
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课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) vu%:0p`K  
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课程简介： idC4yH42  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 Q}J'S5%  
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课程大纲： n.{+\M6k  
第一天 )V^J^1  
1. 光栅结构建模 x9#>0 4s  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 'oZ/fUl|7  
 光栅的建模 FQR{w  
2.  光栅仿真算法比较 oh '\,zpL  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） yqF$J"=|  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） <ByR!Y  
3. 光栅严格分析实例 o0~+%&  
 闪耀光栅 X517PT8O  
 光栅与偏振 YC:>)  
 非傍轴衍射分束器分析 O[3AI^2  
4.  光栅设计与优化 P!C!E/Jf5  
 倾斜光栅结构参数优化 }b+tD3+  
 公差分析 %d+:0.+`n  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 \A\a=A[  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 p6(n\egR  
Q&A @WX]K0$;  
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第二天 YF=@nR$_~j  
1. 二维光栅结构建模 H&6
5X  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） I"E5XVC);  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 m :ROq  
2. 二维光栅设计优化 _9E7;ew  
 抗反射蛾眼结构设计
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PW  
 公差分析 w\pD'1e  
 纳米柱的严格分析 M:c^[9)y  
 共振光子晶格仿真 raGov`  
3. 超表面微纳结构 %@L(A1"#D  
 超表面分光光栅设计 vBd^=O  
 设计和分析超透镜 ~130"WQ;  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 GmN} +(  
4. 包含光栅的光学系统仿真 Wx"bW ICc  
 光栅衍射测量 L<Q1acoZm  
 结构光照明的显微镜系统 >`8r52  
 微结构晶圆检测系统 no+{9Uf  
 泰伯效应 St/Hv[H'[E  
Q&A