}wj*^>* 时间地点 k 2;m"F 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
POUB{ba 苏州黉论教育咨询有限公司
][wS}~): 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
gjyg`% 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
.B#Lt,m 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
owYfrf3ZLX 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
ot(|t4^ ?R"5 .3 课程简介:
PX2Ejrwj 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
'{6`n5:e vlzjALy 课程大纲:
9OT2yCT 第一天
ecf<(Vl} 1. 光栅结构建模
3^1)W!n/ 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 [.dNX 光栅的建模
ub4(mS 2. 光栅仿真算法比较
w[4SuD 薄元近似法(Thin Element Approximation)
VFA1p)n 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
D8[&}D4 3. 光栅严格分析实例
,EwJg69 闪耀光栅
9n8;eE08 光栅与偏振
Qyd3e O_ 非傍轴衍射分束器分析
l*% voKZG 4. 光栅设计与优化
1`2lTkg 倾斜光栅结构参数优化
hw~cS7 公差分析
S$muV9z2= 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
y7,~7f!N2 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
jGt'S{ Q&A
2(`2 f :MJBbrV
, 第二天
kQVl8KS 1. 二维光栅结构建模
bmT J 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
C .YtjLQP$ 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
nW|[poQK 2. 二维光栅设计优化
9h*$P:S;1v 抗反射蛾眼结构设计
|U7{!yy%MF 公差分析
]p0m6}B
纳米柱的严格分析
Ej.D!@ 共振
光子晶格仿真
pLyX9C 3. 超表面微纳结构
pR\etXeL d 超表面分光光栅设计
dF1Bo 设计和分析超透镜
\?qXscq 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
8
LaZ5 4. 包含光栅的光学系统仿真
G ROl9xp2 光栅衍射测量
rM>&!?y+ 结构光
照明的显微镜系统
`I
m;@_J 微结构晶圆检测系统
g08=D$P 泰伯效应
JZP2NB_xt Q&A
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