[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 Hxzdxwz%$  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 aok,qn'j  
苏州黉论教育咨询有限公司 uSi/|  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00
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授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 MX#MDA-4  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 |`yzH$,F  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) !%_H1jk  
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课程简介： s
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光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 ljo^ 2  
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课程大纲： (
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第一天 >4}2~;  
1. 光栅结构建模 \XXS;  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 %<Q?|}  
 光栅的建模 d^<a)>5h  
2.  光栅仿真算法比较 3e.v'ccK&  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） C4ut!I #  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） P"WnU'+  
3. 光栅严格分析实例 v|v^(P,o  
 闪耀光栅 C^x+'. ^N  
 光栅与偏振 'ehJr/0&g  
 非傍轴衍射分束器分析 jW-j+WGSM  
4.  光栅设计与优化 &i~AXNw  
 倾斜光栅结构参数优化 ?>p<!:E!r  
 公差分析 Eb<iR)e H=  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 "wPFQXU  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 G;%Pf9o26  
Q&A Ur]~>-Z  
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第二天 @9QtK69  
1. 二维光栅结构建模 2S\~  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） 7gV"pa
  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 NgnHo\)  
2. 二维光栅设计优化 ( |1 $zF+  
 抗反射蛾眼结构设计 \ l+RX*  
 公差分析 _r}oYs%1  
 纳米柱的严格分析 /WVnyz0  
 共振光子晶格仿真 [k9aY$baT^  
3. 超表面微纳结构 rwlV\BU
  
 超表面分光光栅设计 X]Emz"   
 设计和分析超透镜 :fr2K  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 `1NxS35u  
4. 包含光栅的光学系统仿真 ,J
f)A/_  
 光栅衍射测量 6SMGXy*]^  
 结构光照明的显微镜系统 lq$1CI  
 微结构晶圆检测系统 3d.JV'C'c  
 泰伯效应 4><b3r;T'  
Q&A