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2= 时间地点 6;Sz^W 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
\]|(w*C 苏州黉论教育咨询有限公司
/1 h ${mo~ 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
& N.]8x5A 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
rd1EA|T 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
Hj97&C{Q^ 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
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^5w '_B;e=v` 课程简介:
tUT:vK` 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
q#PMQR"C `MC5_SG 1 课程大纲:
vI \8@97 第一天
MGLcM&oR 1. 光栅结构建模
vlC$0P 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 h!J|4Qa 光栅的建模
Aaug0X 2. 光栅仿真算法比较
M3!4,_!~ 薄元近似法(Thin Element Approximation)
^GnR1.ux 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
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J/NYV 3. 光栅严格分析实例
Go)}%[@w 闪耀光栅
Vy 7 )_D 光栅与偏振
q+ 2v9K@ 非傍轴衍射分束器分析
PwnfXsR 4. 光栅设计与优化
N nq r{ub 倾斜光栅结构参数优化
Hq
aay 公差分析
xV"~?vD 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
{RN-rF3w 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
#H;1)G(/ Q&A
w* \JA+ s0m k<>z 第二天
%$'Z"njO& 1. 二维光栅结构建模
a[jNT$8 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
#_Z)2ESX 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
c)Ne/E{!0 2. 二维光栅设计优化
!.{"Ttn;s 抗反射蛾眼结构设计
y7vA[us 公差分析
>Z>sR0s7
纳米柱的严格分析
:Q ?p^OC 共振
光子晶格仿真
L KLLBrm: 3. 超表面微纳结构
49=L9: 超表面分光光栅设计
rN'8,CV 设计和分析超透镜
C9 j{:& 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
g>QN9v}) 4. 包含光栅的光学系统仿真
NAX`y2z 光栅衍射测量
5a|{ytP 结构光
照明的显微镜系统
xoQ(GrBY 微结构晶圆检测系统
K!(hj '0. 泰伯效应
7c83g2|% Q&A
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