[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

rRG\:<a  
时间地点 iN/!k.ybW}  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 *Qwhi&k  
苏州黉论教育咨询有限公司 8YLZ)k'  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 ,bwopRcA  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 "`gZy)E  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 )%@WoBRj  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) b%jG?HSu  
q
jEWk."  
课程简介： !2M
[  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 *7fPp8k+Z;  
?gMrcc/{  
课程大纲： [ma#8p)  
第一天 iXS-EB/  
1. 光栅结构建模 CU^3L|f2N  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 :!YJ3:\  
 光栅的建模 =
?*"V-l  
2.  光栅仿真算法比较 -L50kk>h  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） Jq<`j<'9  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） Wu;|(2I  
3. 光栅严格分析实例  D6!+  
 闪耀光栅 )Gp\_(9fc  
 光栅与偏振 M "P  
 非傍轴衍射分束器分析 o^"3C1j  
4.  光栅设计与优化 'CAukk|  
 倾斜光栅结构参数优化 rxI&;F#  
 公差分析 Fl3r!a!P,  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 3b[+m}UWQ  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 B|$13dHfa  
Q&A o@`E.4
 
C2|2XL'l(C  
第二天 z2q5f:d8  
1. 二维光栅结构建模 k:@Ls  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） @ZPTf>J}  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 D!T4k]^  
2. 二维光栅设计优化 9Kx:^~}20o  
 抗反射蛾眼结构设计 jh](s U  
 公差分析 m7eIhmP  
 纳米柱的严格分析 :#htOsP  
 共振光子晶格仿真 Vd>.fb\U2  
3. 超表面微纳结构 (U(x[Df)  
 超表面分光光栅设计 KXfW&d(Pk  
 设计和分析超透镜 .
EZ{d  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 v]SE?xF{U  
4. 包含光栅的光学系统仿真 Z=[a 8CU  
 光栅衍射测量 +Qvgpx>  
 结构光照明的显微镜系统 "?&bh@P&  
 微结构晶圆检测系统 B(Q.a&w45t  
 泰伯效应 mqT0^TNPcl  
Q&A