[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

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时间地点 k$:QpTg[  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 >0)E\_ u  
苏州黉论教育咨询有限公司 +*,rOK`C  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 idnn%iO  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 lMAmico  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 BL0WI9  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) X@Eq5s  
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课程简介： @3wI(l[  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。  z:9  
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课程大纲： _Ptf^+  
第一天 +JZ<9,4  
1. 光栅结构建模 ;d G.oUk=  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 5Zs"CDU  
 光栅的建模 bL_s[-7  
2.  光栅仿真算法比较 S#0y\  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） g3n^ <[E  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） {l{p  
3. 光栅严格分析实例 d hiLv_/  
 闪耀光栅 u~<>jAy  
 光栅与偏振 %_u*5,w  
 非傍轴衍射分束器分析 _tL+39 u  
4.  光栅设计与优化 ]n?a h  
 倾斜光栅结构参数优化 R4
!qm0Cd  
 公差分析 `}k!SqG  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 G39H@@ *O0  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 OQ#gQ6;?
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Q&A mmY~V:,Kd  
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第二天 @A!Ef=R  
1. 二维光栅结构建模 %#Wg>6  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） vq$%Ug/B  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 ,iCd6M{  
2. 二维光栅设计优化 TCU|k ,  
 抗反射蛾眼结构设计 &k\
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 公差分析 V5KAiG<d  
 纳米柱的严格分析 _jH1Mcq  
 共振光子晶格仿真 H:U1#bQQ:  
3. 超表面微纳结构 R8EDJ2u#  
 超表面分光光栅设计 @SPmb o  
 设计和分析超透镜 d|on y
 
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 6`NsX  
4. 包含光栅的光学系统仿真 BdUhFN*  
 光栅衍射测量 ;knSn$  
 结构光照明的显微镜系统 R.A}tV=j#  
 微结构晶圆检测系统 0'^? m$  
 泰伯效应 9^0 'VRG  
Q&A