[培训]VirtualLab Fusion系列课程-专题二：光栅及超表面微纳结构的设计与仿真 [复制链接]

p )JR5z  
时间地点 %4!^AA%  
主办单位：讯技光电科技（上海）有限公司 QlMLWi  
苏州黉论教育咨询有限公司 us|Hb  
授课时间：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 sd%)g<t  
授课地点：深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室 d9TTAa
f  
课程讲师：讯技光电工程师团队成员 Ss5@n  
课程费用：3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费) `H:`JBe=+[  
q9ra  
课程简介： }1 qQ7}v  
光栅是现代光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升，光栅的尺寸也越做越小。相应的，光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion，介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅，也有全息型体光栅，例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和参数优化和大角度超光栅仿真。 >uYQt~s  
cb)7$S  
课程大纲： |-S!)iG1V  
第一天 _w?!Mu  
1. 光栅结构建模 w"[T  
 在VirtualLab Fusion中搭建光学系统 Sq,>^|v4&e  
 光栅的建模 s1cu5eCt  
2.  光栅仿真算法比较 t6+W  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） G9okl9;od  
 傅里叶模态法（Fourier Modal Method） N(4y}-w$  
3. 光栅严格分析实例 6}R*7iMs  
 闪耀光栅 9;{(.K  
 光栅与偏振 &\6},
JN  
 非傍轴衍射分束器分析 -( p%+`  
4.  光栅设计与优化 !6X6_ +}M  
 倾斜光栅结构参数优化 !~?/D  
 公差分析 C=&n1/  
 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计 qQ)1+^  
 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理 =6ru%.8U,  
Q&A Ip7#${f5M  
IowXVdm@6  
第二天 /YZMP'v  
1. 二维光栅结构建模 H0"'jd  
 体全息光栅（点光源和平行光之间干涉曝光） o

CkG  
 利用全息光栅抑制高阶衍射级次 ["&{^  
2. 二维光栅设计优化 Gf#l ^yr  
 抗反射蛾眼结构设计 tc`3-goX  
 公差分析 w`8H=Hf  
 纳米柱的严格分析 r{r~!=u  
 共振光子晶格仿真 9kWI2cLzQt  
3. 超表面微纳结构 b6k_u9m^E  
 超表面分光光栅设计 .>TG{>sH  
 设计和分析超透镜 n;:.UGl9.  
 亚波长周期结构的波片实现偏振控制 )_C>hWvo_  
4. 包含光栅的光学系统仿真 IYq#|^)5+  
 光栅衍射测量 Fl($0}ER  
 结构光照明的显微镜系统 ldp9+7n~  
 微结构晶圆检测系统 a_S`$(7k  
 泰伯效应 ZJWpb  
Q&A