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时间地点 s0DT1s& 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
gOMy8w4> 苏州黉论教育咨询有限公司
vSo1WS 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
2"WP>>b80 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
,x?Jrcx~'C 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
Kd*=- 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
1/%5pb2\ vi` VK&+r 课程简介:
Y/
%XkDC~ 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
%q6I- 3CPSyF 课程大纲:
g*!1S 第一天
)[ejb?{d 1. 光栅结构建模
}/Qj8l. 在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 .UvDew/Y 光栅的建模
Uy@:-NC)kn 2. 光栅仿真算法比较
1?G%&X@
X 薄元近似法(Thin Element Approximation)
MjbgAH- 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
6NQ`IC 3. 光栅严格分析实例
3mL(xpT.8z 闪耀光栅
g!Ui|]BI9 光栅与偏振
SAE'y2B* 非傍轴衍射分束器分析
O^_CqT% 4. 光栅设计与优化
d+"F(R9 倾斜光栅结构参数优化
_>3#dk 公差分析
EAz>`~ 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
yh'*eli 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
%CqG/ol Q&A
f`8?]@y{ }|)T<|Y; 第二天
]`|;ZQiD 1. 二维光栅结构建模
L1&` 3a?pL 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
)~IOsTjI 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
'r1X6?dJ 2. 二维光栅设计优化
yoz-BS 抗反射蛾眼结构设计
Ml/K~H
tN 公差分析
<RcB: h
纳米柱的严格分析
s+ ^1\ 共振
光子晶格仿真
Ox@$ } 3. 超表面微纳结构
E+/XKF 超表面分光光栅设计
# wyjb:Ql 设计和分析超透镜
W,:j>vg 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
Jgy6 !qUn_ 4. 包含光栅的光学系统仿真
cfy9wD 光栅衍射测量
sXYXBX[ 结构光
照明的显微镜系统
{MUO25s02 微结构晶圆检测系统
@c}Gw;e 泰伯效应
'a$/ !~X Q&A
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