\VMD$zZx 时间地点 :wqC8&V 主办单位:讯技光电科技(上海)有限公司
6M.;@t,Y 苏州黉论教育咨询有限公司
-5l6&Y 授课时间:2025年3月20(四)-21(五)AM 9:00-PM 16:00
f$HH:^# 授课地点:深圳市光明区凤凰街道光明大道与科裕路交汇处尚智科园1栋1B座1503室
"[p@tc?5 课程讲师:讯技光电工程师团队成员
.9[45][FK 课程费用:3600RMB(课程包含课程材料费、开票税金、午餐费)
7IlOG~DC 9i5,2~ 课程简介:
m(iR|Zx 光栅是现代
光学系统中最为常用的一种衍射光学元件。随着制作工艺的不断提升,光栅的尺寸也越做越小。相应的,光栅分析必须使用基于矢量电磁场原理的方法。本课程使用多元化光学仿真平台VirtualLab Fusion,介绍如何使用傅里叶模态法对光栅进行严格精确的仿真。课程涵盖的光栅示例既有表面型光栅,也有全息型体光栅,例如倾斜光栅、闪耀光栅、用于光学超
透镜的Nanopillar结构等。此外还会介绍超表面的设计和
参数优化和大角度超光栅仿真。
ppIbjt6r &ZHC-qMRK 课程大纲:
M]v=- 第一天
x"P);su 1. 光栅结构建模
fQK"h
在VirtualLab Fusion中搭建
光学系统 /Ss7"*JLe 光栅的建模
6 Si-u 2. 光栅仿真算法比较
iZ3W"Vd`b 薄元近似法(Thin Element Approximation)
UM*jKi2]" 傅里叶模态法(Fourier Modal Method)
|wE3UWsy 3. 光栅严格分析实例
-m=
8&B 闪耀光栅
sd#|3 光栅与偏振
_/* U2.xS 非傍轴衍射分束器分析
3l<S}k@M) 4. 光栅设计与优化
Z BUArIC 倾斜光栅结构参数优化
RE$`YCs5 公差分析
O#EV5FeF. 高衍射效率偏振无关光栅的优化设计
e,_-Je 利用VirtualLab Optimization Package实现光栅的优化及后处理
R=Ws#' Q&A
ow=UtA-^O fEE
/-}d 第二天
H=g.34 1. 二维光栅结构建模
^[-el=oKn0 体全息光栅(点
光源和平行光之间干涉曝光)
P|2E2=G 利用全息光栅抑制高阶衍射级次
s#Jh -+lM 2. 二维光栅设计优化
w6dFb6~R 抗反射蛾眼结构设计
[
=x s4= 公差分析
yV3^Qtb!
纳米柱的严格分析
(R~]|?:wt 共振
光子晶格仿真
8n BL\{'B[ 3. 超表面微纳结构
am_gH 超表面分光光栅设计
|wEN`#.;b 设计和分析超透镜
@4(k( 亚
波长周期结构的波片实现偏振控制
|sZ! 4. 包含光栅的光学系统仿真
Uawpfgc} 光栅衍射测量
dm"n% 结构光
照明的显微镜系统
0n ~ Zz 微结构晶圆检测系统
yL^UE=#C_ 泰伯效应
+(D$9{y Q&A
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