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摘要 x[y}{ T F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 9SBTeJ$RZ
建模任务 <N:)Xf9` 系统构建块-扫描源 JvsL]yRT 系统构建块-透镜系统组件 &P,uK+C4 系统构建块-参数耦合 (! PsK:wc
系统构建块-畸变分析仪 95E # 通用探测器和探测器附加组件 KO\-|#3y> 总结-组件… o%,?v
9 系统查看 BM{*5Lf
通过系统：三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 t#VX#dJ 性能评估-光斑位置偏差 >"+ ho 性能评估-光斑直径测量 Hr7?#ZX;e VirtualLab Fusion技术 RrT`]1".
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