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摘要 E[htB>< F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 ^Hhw(@`qf
建模任务 Ns(L1 '9= 系统构建块-扫描源 (gJ
)]/n 系统构建块-透镜系统组件 i[BR(D&l_p 系统构建块-参数耦合 ,B/p1^;. 系统构建块-畸变分析仪 "!_
4%z- 通用探测器和探测器附加组件 F~rY jAFTi 总结-组件… 0)] C&;}_M 系统查看 re 1k]
通过系统：三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 hhgz =7Y 性能评估-光斑位置偏差 meVVRFQ2+ 性能评估-光斑直径测量 j7HlvoZV VirtualLab Fusion技术 n4_ :#L?
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