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摘要 (lsG4&\0F F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描光源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 5 nt3gVy 建模任务 4S(G366 系统构建块-扫描源 ;NP-tA) 系统构建块-透镜系统组件 NF$6yv9C 系统构建块-参数耦合 f,YORJ 系统构建块-畸变分析仪 3h
bHS~ 通用探测器和探测器附加组件 mQj# \<* 总结-组件… at>_EiS 系统查看 ;QZG< 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 r*HSi.'21 性能评估-光斑位置偏差 ,~L*N*ML
性能评估-光斑直径测量 =i~
= |K! VirtualLab Fusion技术 &H_/`Z]Q
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