蓝宝石元件加工之困:亚表面损伤(SSD)对高能激光系统的致命影响
引言
在万瓦级光纤激光器的窗口镜加工中,我们曾发现一个诡异现象:经传统研磨抛光的蓝宝石元件,在实验室检测时面型精度达标(PV≤λ/10@1064nm),但装机后运行不足50小时即出现微裂纹扩散,最终导致透镜崩边。经FIB-SEM断层分析,根源在于亚表面损伤层(SSD)的应力累积。 SSD的形成机制
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蓝宝石元件加工之困:亚表面损伤(SSD)对高能激光系统的致命影响
引言
在万瓦级光纤激光器的窗口镜加工中,我们曾发现一个诡异现象:经传统研磨抛光的蓝宝石元件,在实验室检测时面型精度达标(PV≤λ/10@1064nm),但装机后运行不足50小时即出现微裂纹扩散,最终导致透镜崩边。经FIB-SEM断层分析,根源在于亚表面损伤层(SSD)的应力累积。 SSD的形成机制
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