摘要 Z@yW bjE7Z bpOYHc6,*` Ij 79~pn 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
e-~N" dydc}n 设计任务 _1!7V3|^ .nO\kg oK biL s+\C 连接建模技术:蛾眼结构 DMs,y{v ajve~8/& q'+)t7! 光栅阶数分析器 i9rN9Mq?O j SHk{T!J <c*FCblv 元件内场分析器:FMM {WJ m l\f*d6o 3t.l5m
Rg5 参数运行 *HU &4E\a &C:IX\ jY&k 参数优化 "H2EL}3/] Lk|hQ
'"`IC\N^ 模拟结果 2Zm0qJ ;[(oaK@+n 通过计算器进行参考测量 O],T,Z?z 1kz\IQ{ 3v(* 5 结构内的场 G3C~x.(f
3Nl <p"= QZ!Y2Bz(4 1eA7>$w}[ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 6d:zb;Iz ;i4Q| GeI-\F7b 初始解决方案 #1 的参数优化 5sdn[Tt## /{Is0+) S&e0u%8mc 最终设计 #1 的性能分析 a,Sw4yJ!Q W'els)WJ|x 初始解决方案 #2 的参数优化 u\a#{G;Z ?xA:@:l/ XWDL5K 最终设计 #2 的性能分析 oL-]3TY~