摘要 S}b~_} Cg^:jd 5e8xKL 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
; [FLT:$ _N @(Y : 设计任务 xj7vI&u. #N$9u"8C H nd+l)ng 连接建模技术：蛾眼结构 9(Jy0 ]E~ W"t"X ~T3 )(]Envb?A0 光栅阶数分析器 #2N_/J(U *E7R( #,yC d#8e~ 元件内场分析器：FMM 7f*
RM
7O$ & @ h9K 参数运行 2lo:a{}j ]=Pu\eE TRy^hr8~ 参数优化 1yS&~
y?a Sc{Tq\t;% h7*O.Opm = 模拟结果 _*n)mlLln h1-Gp3# 通过计算器进行参考测量 }1@E"6kF H?{ MRe 87}(AO) 结构内的场 Zw24f1iY NNp}|a9 lQ$+JX;n(y `2e_ L 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 gyFr"9';c 0
u2Ny&6w }*Zo6{B- 初始解决方案 #1 的参数优化 .1{l[[= W K ~3Ebr XWXr0>!,? 最终设计 #1 的性能分析 z7 k$0& w5(yCyNp~ 初始解决方案 #2 的参数优化 D )gD< lRH0)5` ;W ~4L+e 最终设计 #2 的性能分析 & g$rrpTzv
