摘要 ,zF^^,lO7 ]mzghH:E gn-@OmIs 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
r..&6-%:N \9t/*%: 设计任务 ZuLW%z. My6a.Kl E+Eug{+ 连接建模技术:蛾眼结构 pNFVa<D \wR;N/tg oaac.7.fV 光栅阶数分析器 w;b;rHAZ\ %+pF4f8] %2@O,uCo@ 元件内场分析器:FMM Z Jgy!)1n !kW~s_gUb* tUGnp'r 参数运行 Sdzl[K/} BbIg]E/G :DG7Z 参数优化 [AHoTlPZ 4s@oj QnJd}(yN 模拟结果 fK/|0@B8 o?
LJ,Z 通过计算器进行参考测量 $V870
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6Sw( 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ooA%/ w#
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# 初始解决方案 #1 的参数优化 {Gvv^.H7 Ud:;kI%Vj $y_P14
最终设计 #1 的性能分析 \=2<<
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初始解决方案 #2 的参数优化 3D-VePM=` ) :VF^" ;9;jUQ]MyG 最终设计 #2 的性能分析 `f<&=_,xfH