摘要 (A\p5@ht &Q85 B q d }"Dp 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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gwa w,t>M_( N 设计任务 v&NC` dVR 5ZRO{rf &GC`4!H 连接建模技术：蛾眼结构 J4-64t nZ x! A.** 0?tn.<'B8T 光栅阶数分析器 %$)[ qa3 FOFZ/q pa6.Tp> 元件内场分析器：FMM T fYXF`d LvsNU0x S-^RZ" 参数运行 >>ncq$ = 2
3H/ vT#$`M< 参数优化 gRk%ObJGqm l 4 zl|6% 1q])"l"< 模拟结果 =lzRx%tm ZZ<uiN$ 通过计算器进行参考测量 d Q5_=( 9 =Mb1)^m 1@j0kTJ~m 结构内的场 $\0%" S U9d0nj9 j &vf%E@< |6% B2I&c 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 kIb)I(n )}-,4Iu% h@5mVTb}i 初始解决方案 #1 的参数优化 =
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_>OA *nv%~ t . #M' 最终设计 #1 的性能分析 MT8BP)C T+O Qa+E@P 初始解决方案 #2 的参数优化
1^*M*>&d< A/XY' 3 9 a ED6 最终设计 #2 的性能分析 mG? g
