摘要 bJYda) t^[8RhD Q 2A7mGN 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
uP<0WCN ;L|uIg;.s 设计任务 ?7M.o WWL4`s 70lfb` 连接建模技术:蛾眼结构 "Tm[t?FMbe ,R$u?c0>'& RN)dS>$ 光栅阶数分析器 M\Gdn92pd h Xb%;GL Cn>ADWpT& 元件内场分析器:FMM $5v0m#[^ Yp0/Ab(v d/}SAvtt 参数运行 u7xDau(c ~GuMlV8 "+zCS|
参数优化 A>[|g`;t \`ZW* EtPI _:+
KMR 模拟结果 urvduE l~D N1z6` 通过计算器进行参考测量 ?x^z]N|P `fNG$ODL xr7+$:>a 结构内的场 DfV~!bY Dw7vv]+ S lpRR& hky;CD~$ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ork=`}; T~fmk
f$ % aUsOB-RV 初始解决方案 #1 的参数优化 k<RZKw Qc 0 a~HiIh 66#" 最终设计 #1 的性能分析 \m=?xb8
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