摘要 mQL8ec_c P;~`%,+S Y=G9|7*lO 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
.+ezcG4q LAs#g||M 设计任务 |!t&ZpdD A]<+Aq@{ v@,n]" 连接建模技术:蛾眼结构 2Xw=kw u 8M6
Xd]{% ,s ` y 光栅阶数分析器 ht>C 6y -9PJ4"H 5;v_?M!UCK 元件内场分析器:FMM +"mS< h@kq>no dw*PjIB9x 参数运行 8U8%XI EJ g2RrBK, gm^j8B 参数优化 p]jkfsCjN IL0e:-@!0 4 H<. 模拟结果 EKgY jmORKX+) 通过计算器进行参考测量 mV>l`&K= W(4Mvd cMU"SO 结构内的场 Bm>>-nG; [,bra8f[C @5RbMf{ iY,FfuE 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 kJ'rtz4QO #Vy8<Vy&w AONEUSxJ 初始解决方案 #1 的参数优化 .#q]{j@Ot ?td`*n~, 8NZQTRdH 最终设计 #1 的性能分析 olv0w;s Cg8s9qE? 初始解决方案 #2 的参数优化 mAM:Q*a' Rs@>LA V|{\8&2 最终设计 #2 的性能分析 jd.{J{o