摘要 ~_9"3,~o5 k
{- &iN--~}!$ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
2A4FaBq" 3M5#4n\v$ 设计任务 ,?
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%nr zP 8#R?]Uwq 连接建模技术:蛾眼结构 Gf8s?l 'H9=J*9oG =Cqv= 光栅阶数分析器 K[
.JlIP fIoIW&iy zr76_~B1u 元件内场分析器:FMM >k']T/% F2(q>#<_ ^s\3/z>b4! 参数运行 x0a.!
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@5Q1 参数优化 }~Q"s2 y0v]N lC97_T 模拟结果 *cWmS\h| KsAH]2Q% 通过计算器进行参考测量 33:DH} 'NZGQebK 31Cq22" 结构内的场 QGiAW7b5 3E} An% '#\D]5 "rXOsX\; 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 x}fn'iUnm vUQFQ lfk9+) 初始解决方案 #1 的参数优化 x@P{l&:> oN[Th 8F;>5i 最终设计 #1 的性能分析 ^ L:cjY/ HU
B|bKy 初始解决方案 #2 的参数优化 lD;'tqaC B%<e FFV\ ~#Md"3 最终设计 #2 的性能分析 crA:I"I