摘要 hXBqz9 <6gU2@1 ],!pp3U 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
2%*|fF}I Z*;*I<- 设计任务 bwT"$Ee %{c2lyw H?ieNXP7{ 连接建模技术:蛾眼结构 8g&uE*7N PwRNBb}6 78\\8* 光栅阶数分析器 wP+'04H0 '$lw[1 >l6XZQ
> 元件内场分析器:FMM FUH*]U <`^>bv9 pZW}^kg= 参数运行 7?)m(CFy #=>kw^5 eDvXU_yA 参数优化 48W:4B'l9 dVK@Fgo 2I9{+>k 模拟结果 -{.h\ V:$[~)k8 通过计算器进行参考测量 a^(S!I b'i%B9yU:% u_$6LEp- 结构内的场 D}3cW2!9 {5?!`<fF *T1L)Cp bi,rMgW 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 $H
%+k? Y>c5:F; PLlx~A 初始解决方案 #1 的参数优化 !:`Ra a?f5(qW3 DRS;lJ2 最终设计 #1 的性能分析 7~QwlU3n<F rl_1),J\qG 初始解决方案 #2 的参数优化 h=mI{w* uT@8 _9 \q>e1- 最终设计 #2 的性能分析 -#:Y+"'