摘要 R{Cbp=3J xT!<x({ 4b6)+*[O 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
K\.tR Gz(l~!n~a 设计任务 eDvh3Y<D )RQQhB !t\sg 连接建模技术:蛾眼结构 FW{K[km^P FOjX,@x& nwIj?(8x 光栅阶数分析器 (;-_j/ 6Xbf3So #qeC)T 元件内场分析器:FMM dXsD%sG@ L$y~\1- _CBMU'V 参数运行 3{wuifS t]?{"O1rC d]N_<@tx9 参数优化 8q;
aCtei U]g9t<jD gAf4wq 模拟结果 @jrxbo;5 @a,=ApS" 通过计算器进行参考测量 :[0)Uu{ eBY/Y6 R k"%sdYkb! 结构内的场 )g}G{9M^ O- LwX
> E[4
vUnm- 1aUg({ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 T8Q_JQ yO,Jgn 0Ng?U+6 初始解决方案 #1 的参数优化 ]>%2,+5 o$V0(1N yrl7 最终设计 #1 的性能分析 ]E'?#z.t TQ0ZBhd 初始解决方案 #2 的参数优化 DsbTx.vA VJ_fA}U P ?nk> 最终设计 #2 的性能分析 'GiN^Y9dcc