摘要 neu+h6#H 5Yv*f: AVjRhe 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
R_G2C@y* W\Pd:t 设计任务 N-2#-poDe y?UJ<QAi ynA_Z^j 连接建模技术:蛾眼结构 9mHCms XcoX8R%U ]@9W19=P!P 光栅阶数分析器 a&G{3#l A~Sc ] M "&SE!3*m`I 元件内场分析器:FMM PV,Z@qm@^ o+hp#e q}Po)IUT`5 参数运行 RTVU3fw R^`}DlHX )>h3IR 参数优化 &PPnI(s^K 5*2hTM! ^
q ba<#e 模拟结果 je$H}D |rJN 通过计算器进行参考测量 x3Cn:F D>jtz2y=D 'E#L6,& 结构内的场 WrwbLl E z#RwgSPw6 t'Yd+FK
c),UO^EqV 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 8-+# !] e6'0g=Y# J37vA zK% 初始解决方案 #1 的参数优化 &kdW(;` ])y)]H#{ 4;~xRg;u&* 最终设计 #1 的性能分析 pqs!kSJV NUiv"tAY 初始解决方案 #2 的参数优化 W:<2" &7 2Ax(q&`9 w$$pTk|&n 最终设计 #2 的性能分析 a?Fz&BE