摘要 ^7TM.lE H
<F6o-* yZ 6560(q 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Aq QArSu, )"A+T& 设计任务 +Medu?K
` G+^HZ4jg bPOehvK/ 连接建模技术:蛾眼结构 WK/Byd.Z vlm&)DIt TS$ 2K 光栅阶数分析器 2@:Go`mg s+C&\$E U $X"W' 元件内场分析器:FMM gAgzM?A1( E7oL{gU
!4]wb!F 参数运行 EmVE<kY. kVy%y"/ ggJn oL 参数优化 ~WehG<p v[ z[}[:H8 aJOhji<b#L 模拟结果 6*GY%~JbD -+#\WB{AI 通过计算器进行参考测量 g"hm"m}i <i%.bfQ/- _rY,=h{+ 结构内的场 HPg@yx"U M{3He)& !d&K,k Qg<_te)\ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 &#w]
2~| sZFjkfak 5yuj}/PZ 初始解决方案 #1 的参数优化 I|n<B"Q6^ GFYAg 75jq+O_: 最终设计 #1 的性能分析 /al(=zf 7^ITedW@ 初始解决方案 #2 的参数优化 jL6u#0 iLws;3UX;x (XX6M[M8 最终设计 #2 的性能分析 imZi7o