摘要 ocqU=^ta <C1H36p "cE7
5 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
x[wq]q#* Q8:Has 设计任务 &oP+$;Y D"Bl:W'?j wxR,OR 连接建模技术:蛾眼结构 R@58*c:U( 7L`A{L A;;fACF8e 光栅阶数分析器 0[RL>;D: 4,bv)Im+ ` |'.*K]Yp 元件内场分析器:FMM G"-?&)M#a 6LOnU~l, p#01gB 参数运行 iqC|G/ H{@Yo\J <6EeD5{* 参数优化 14Xqn8uOW kW2sY^Rg y~Bh 模拟结果 oiF}?:7Q7 gy,ht3 通过计算器进行参考测量 _D+}q_ O!mvJD $h2){*5E{ 结构内的场 \a 5U8shc > A Khf )bS~1n_0 sT !~J4 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 =!kk|_0%E bV(Y`g 2QD3&Q9 初始解决方案 #1 的参数优化 0C =3dnp6 p31NIf` LIS)(X<]? 最终设计 #1 的性能分析 Hc!
mB !9u|fnC9 初始解决方案 #2 的参数优化 E=jNi @XgKYm
`Bo*{}E 最终设计 #2 的性能分析 I(]}XZq