摘要 (ze9-!% k&u5`F 1dy" 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
ej(< Le\ Oo>Uu{{ 设计任务 69odE+-X. cy2K# criNeKa 连接建模技术:蛾眼结构 /}d)g4\j fLkC| !(j<Y0xo: 光栅阶数分析器 b0N7[M1Xl nIUts?mB ^'b\OUty- 元件内场分析器:FMM IG:CWPU ySlGqR1H PnI_W84z 参数运行 >T\^dHtz h4~VzCR4x\ 9A\\2Zz6F 参数优化 OeQ~g-n )Tn(!. 97}l`z;Z 模拟结果 HJe6h. P ,!^;<UR: 通过计算器进行参考测量 S'IQbHz* }ol<DV ^|cax|> 结构内的场 9N<TJp,q Z/e[$xT < 07,&weQ Z,,q mwd 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 RAxp2uif ipRH.1= *Oh]I|? 初始解决方案 #1 的参数优化 z&.F YGq} <M,=(p{ L^ U.h 最终设计 #1 的性能分析 #BI Z| !qs3fe<uh" 初始解决方案 #2 的参数优化 {>X2\.Rl :l {%H^;1 t"&qaG{ 最终设计 #2 的性能分析 9_%??@^>