摘要 oGcgd$%ZB `<YMkp[ \.i7(J] 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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<r*& y\FQt];z) 设计任务 Z",0 $Gxu REh"/d *~PB 连接建模技术:蛾眼结构 /TMVPnvz. $u<;X^ vMzL+D2) 光栅阶数分析器 T<uX[BO-a mB`HPT r Ea(1(I 元件内场分析器:FMM F 'uqL+jVO 6()Jx% (Y~/9a4X 参数运行 #wyceEa =oSD)z1c?x &* VhtT?=5 参数优化 L1kn="5 g2f"tu_/% CEj_{uf| 模拟结果 ;6V~yB ui?@:= 通过计算器进行参考测量 a!o%x }R*%q t]B`>SL3W 结构内的场 6nA9r5Ghv ! Vl)aL Ic3a\FTr\ y>C
!cYB 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 Yup#aeXY/ OdNo2SO ?8753{wk 初始解决方案 #1 的参数优化 LuRCkKJ "/R?XCBZsb 6GuTd 最终设计 #1 的性能分析 V dJ HL{aqT2 初始解决方案 #2 的参数优化 $}4ao2 }X9&!A8z i6bUJtL 最终设计 #2 的性能分析 1Ne;U/