摘要
:ujCr. F#|:`$t KFa_ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
w&xDOyW] jYiv'6z 设计任务 !Ci~!)$z6 ^<X@s1^# .rPn5D Y 连接建模技术:蛾眼结构 nI0[;'Hn, p">EHWc}D "T H6o:x 光栅阶数分析器 ~q&pF"va8 LHJ":^ c$wsH25KH8 元件内场分析器:FMM wu"&|dt tl'n->G>v Dde]I_f} 参数运行 X*,Kb(3 Jjl`_X$CB 97)/"i e 参数优化 wCk~CkC? Y<0 4RV 9;xM% 模拟结果 gNG r!3*)w )/t?!T.[ 通过计算器进行参考测量 h=_mNG>R) :a:l
j r\;ut4wy 结构内的场 fL]Pztsk+ ^fz+41lE\ H~ u[3LQz @]bPVG?d 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 67y Tvr@a a6kV!,.U !;_H$r0 初始解决方案 #1 的参数优化 UJs$q\#RO xJ2*LM- $wYFEz 最终设计 #1 的性能分析 WMMO5_Mz .Yw'oYnS 初始解决方案 #2 的参数优化 2Hum!p:1 q64k7<C, ?uMQP NYs 最终设计 #2 的性能分析 -+t]15