摘要 }\.Z{h:t
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(-o #D Oui] 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
4nD U-P#f tzG.)Uqs 设计任务 5NhwIu^< fsV_>5I6 X8 连接建模技术:蛾眼结构 9:CM#N~?o oedLe9! \aGTi
pB 光栅阶数分析器 HAGpM\Qa X/<Q3AK 7HEUmKb" 元件内场分析器:FMM L[}Ak1 A 2PEA<{u >?^_JEC6 参数运行 +r 8/\'u- <):= mr7 b,-qyJW6 参数优化 Mzj|57:gx +Am\jsq %gV~e@| 模拟结果 FSkz[D_} YjwC8#$ 通过计算器进行参考测量 q,2 +\i P(~vqo>! 5VK.Zs\ 结构内的场 nB#XQ8Nzx^ bLyaJ%pa\/ gw v
s 0tp3mYd 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 fV5MI[t hBNA,e: uxD$dd? 初始解决方案 #1 的参数优化 &265
B_'D -gy@sSfvkv <P1x3 最终设计 #1 的性能分析 5YnTGf& ^z}$'<D9 初始解决方案 #2 的参数优化 q;=! =aRg E@92hB4D" H+F># 最终设计 #2 的性能分析 Q*8=^[x