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.j_2 Px`!A EFd[ 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
j+v=Ul|l HYSIN^<oy 设计任务 oJ|j#+Ft ;)^`3` {
W{]L: 连接建模技术:蛾眼结构 =k`Cr0aPF ve2u=eQ1 XaPV94 光栅阶数分析器 1 \6D '/G 1gN=-AC &t:Gx<] 元件内场分析器:FMM 6- B|Y3)B AvV|(K" vJOw]cwq 参数运行 b-Q>({=i =uYYsC\T s
3f-7f< 参数优化 /?F/9hL M>ruKHipFE /F'sb[ 模拟结果 |kV*Jc k .j<]mUY 通过计算器进行参考测量 HqD^B[jS ZO$m["| @x'"~"%7b 结构内的场 !"/n/jz V"G*N<q c*L\_Vx+ `gf0l /d 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 n!xt5=xP{ nWYN Np?h "PTZ%7YH} 初始解决方案 #1 的参数优化 kbMWGB%; aa#Y=%^ qUGC"<W 最终设计 #1 的性能分析 6'G6<8>- #S*/bao# 初始解决方案 #2 的参数优化 ``\i58K{e EL 8<U '2nhv,|.U 最终设计 #2 的性能分析 <;m<8RjX