摘要 [~k!wipK Ee'wsL qKNHhXi 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
<4%PT2R r-5xo.J' 设计任务 }PzHtA,V nOK1Wc%/' k];fQ7}m<0 连接建模技术:蛾眼结构 jNW/Biy4u Cd7l+~*Y A&:~dZ:%w 光栅阶数分析器 |],ocAN{ %
r0AhWv +6f[<^K# 元件内场分析器:FMM j\2q2_f ^']*UD; p0C|ECH 参数运行 9 tIE+RD z`Xc] cPi wg|/-q- 参数优化 K(Ak+&[ 47^7S= XvkFP'%i/ 模拟结果 "@rXN"4 }N@+bNh~ 通过计算器进行参考测量 E 7"`D\* FyA0" h
F *c 结构内的场 'Jl73#3 o<!tNOH |. LE` K"VRHIhfg 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ;a`I8F j Mgg m~|9) \(ju0qFqH 初始解决方案 #1 的参数优化 n4/Jx* I|)U>bV ^q/_D%]C 最终设计 #1 的性能分析 A(wuRXnVWK YfVZ59l4y6 初始解决方案 #2 的参数优化 2~QN#u|UC3 ,5P
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~ P!%i9e_ 最终设计 #2 的性能分析 b!z kQ?h