摘要 G[\3)@I &|c] U/_w )/uCd SDIc 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
tz_WxOQ0 =xRxr @ 设计任务 E9:p A5H-j b h UghHT
bC%}1wwh 连接建模技术：蛾眼结构 GE |P )VO 1 eMaKT_= zmh5x{US1 光栅阶数分析器 Q7SRf$4 <(B: "wI QS2~}{v 元件内场分析器：FMM & 6~AY :0r r9$7P?zm YveNsn 参数运行 X.JPM{] Gkz~x Qy1T A3zO&4f
] 参数优化 U$T
(R2@ J_>nn eLyaTOZadu 模拟结果 o Np4> 7Lk ^li(q]g1! 通过计算器进行参考测量 [C( >e0r q%c"`u/v / D8wZC'7 结构内的场 1iIag }?p LJ mRa H"%SzU If%**o 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 L6"?p-:@' P>;u S 5.FAuzz 初始解决方案 #1 的参数优化 oSB 0P eVuju r$P ,: 4+hJ<q 最终设计 #1 的性能分析 %XK<[BF 9$e6?<` (Y 初始解决方案 #2 的参数优化 " uHU!)J#z s14; \ _3 3YgO 最终设计 #2 的性能分析 hYv ;*]
