摘要 U BU=9a5 q s!j>x #4NaL 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
gnf8l?M F@jZ ho 设计任务 bjW]bRw y3Qsv ea2ayT 连接建模技术:蛾眼结构 u(.e8~s8 ,5p(T_V/ %g$o/A$ 光栅阶数分析器 vkV0On '?' l;#^i< c9
eM/*: 元件内场分析器:FMM ;u
({\K 8U"v6S~A%Q H [\o RId 参数运行 :gibfk]C |kg7LP3(8, !X#OOqPr= 参数优化 [#vH'y VQt0 4? a(X@Q8l: 模拟结果 ',@3>T** e\l7Iu 通过计算器进行参考测量 !sP{gi#= K#d`Hyx ;?iW%:_, 结构内的场 20 h, ^ WIxy}3_to :J@gmY:C >uB#&Q 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 z'n:@E w+|L+h3L7 #&aqKVY 初始解决方案 #1 的参数优化 &)ChQZA 19)i*\+ hd<c&7|G' 最终设计 #1 的性能分析 - % h.t+=U lT?v^\(H 初始解决方案 #2 的参数优化 VA_PvL.9 .@U@xRu7| s} ;{ZAtE 最终设计 #2 的性能分析 9~XAq^e