摘要 Wuo:PX'/9 =>lX brJ P3YM4&6XA 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
,}khu Pwj|]0Y@ 设计任务
* ] PjX V.gz j/Y]3RSMp 连接建模技术:蛾眼结构 yY!)2{F+ vNs`UkA
0Gc:+c7{ 光栅阶数分析器 Sk"hqF.2 r73W.& 3s|:7 元件内场分析器:FMM OiXO<1'$ +}1zw< >Ut: -}CS 参数运行 1=5HQ~|[TO Ywv\9KL YjnQ@IfIH 参数优化 b{,v?7^4 Q"U%]2@= ,C"6@/:l 模拟结果 ?<BI)[B LLT6*up$ 通过计算器进行参考测量 ,Y6]x^W ~4Gc~ " TmftEw>u 结构内的场 iPV-w_HQ Y>/_A%vQU v0!|TI3s %FM26^ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ja~Dp5 R) :Xs . 6it
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