摘要 (A(j.[4a n?Zt\Kto CP0;<}k 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
F$/7X~* { 9:vq| 设计任务 ycq+C8J+Ep )J^5?A '\B0#z3 连接建模技术:蛾眼结构 |N5r_V &?[g8A bG)EZ 光栅阶数分析器 ^[x6p}$ >:Y"DX- aD^jlt 元件内场分析器:FMM r01u3! lVv'_9yg 3AcS$.G 参数运行 DD5cUlOSu /
Q| Z&-c BT)PD9CN( 参数优化 `h%K8];<6f =AcK9?%5 `]`S"W7& 模拟结果 _z=ytt9D z6*r<>Bf+b 通过计算器进行参考测量 2FN E ;y( p;qFMzyS9 K=!
C\T"I% 结构内的场 u4tv=+jh EfB.K}b^ qZdA% <(t{C8>g% 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 :q >)c] J`4V\D}n Mp QsM-iW 初始解决方案 #1 的参数优化 ;}lsD1S:
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最终设计 #1 的性能分析 )(OGo`4Qz (}5};v 初始解决方案 #2 的参数优化 e,xJ%f f%3MDI %ikPz~( 最终设计 #2 的性能分析 #)#J`s1R