摘要 y'`/^>. xlS*9>Ij wuA?t 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
lQHF=Jex :86:U 0^ 设计任务 rBNVI;JZW hc[ K
VLpS .{h"0<x 连接建模技术:蛾眼结构 <[cpaZT, n jWe^ 5b7(^T^K 光栅阶数分析器 G/<zd) {:K_=IRZ GDL/5m# 元件内场分析器:FMM 2URGd#{VQ Giv,%3' eZa*WI= 参数运行 J8alqs7 q2vD)r OL>>/T 参数优化 @@Ybg6.+* ORs:S$Nt$ V|97; 模拟结果 Q+T#J9Y E]OexRJ^i 通过计算器进行参考测量 y9 {7+] pT]hPuC UhDQl%&He 结构内的场 W^tD6H; +Y sGH~jX &-yRa45? SKL 4U5D{ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 #c^]p/ lPR=C0h}@ wf\"&xwh? 初始解决方案 #1 的参数优化 Sv n7.Ivep \34vE@V* BV~J*e 最终设计 #1 的性能分析 bkV<ZUW|; ]<>cjk.ya 初始解决方案 #2 的参数优化 rv*{[K k4K.
mlIO |u>(~6 最终设计 #2 的性能分析 '@t$3
hk