[技术]严格分析和设计抗反射蛾眼结构 [复制链接]

摘要 ;]!QLO.bs^  
sh;DCd  
   2-=Ov@y2k!  
对于许多光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射纳米和微米结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚波长领域，具有独特的波长和角度依赖性质。本文介绍了在VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。 UtPFkase  
9'+Eu)l:  
设计任务
U|SF;T .  
C'$w*^me  
hS&3D6Gt  
连接建模技术：蛾眼结构 4FrP%|%E~  
   Nc;cb  
BV)oF2b:  
光栅阶数分析器 !jlLF:v|1A  
   X)7_@,7  
EMy>X  
元件内场分析器：FMM #C^)W/dP  
*{WhUHZF  
d8D028d  
参数运行 r{\c.\  
W D8  
D2}N6i  
参数优化 wO<.wPa`  
xs#g  
|)~t^  
模拟结果 zI-]K,!  
qFQO1"mu  
通过计算器进行参考测量 U<<@(d%T  
~]f6@n  
7m.#No>^  
结构内的场 JR6r3W  
709/'#- ^  
g{ ()  
)+GwYt  
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 OHRkhwF.  

lV%oIf[OB  
Ymvd3>_  
初始解决方案 #1 的参数优化 z|Y  Ms?  
ehTrjb3k  
_c!$K#Yl{  
最终设计 #1 的性能分析 Nyx)&T&I  

6W\G i>  
初始解决方案 #2 的参数优化 =D~>$Y  
x-nO; L-2p  
&&PXWR!%]  
最终设计 #2 的性能分析 njxfBA: