摘要 8iaP(*J &<2~7?$! xa5^h]o 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
f]W$4f{ 9gVu:o 1/ 设计任务 Jte:U*2 ZX[@P?A+- `qnSq(tNq 连接建模技术:蛾眼结构 FBJw (.Jr N9QHX o *)>aw 光栅阶数分析器 w/BaaF.0 z2*>5c% !LB#K?I 元件内场分析器:FMM c}v>Mx LI1OocY.] nb::, 参数运行 M6l S2 qIIc>By(\" C ioM!D 参数优化 04g=bJ r#hA kOw 1(t{)Z< 模拟结果 Ox9WH4E f|Dq#(^\ 通过计算器进行参考测量 u}Kc>/AF -7{ qTe{ Xy/lsaVskX 结构内的场 9jW/" 50h?#u6? z0|%h?N zr#n^?m 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 4+46z| d h5% K;j}qJvsb 初始解决方案 #1 的参数优化 ukNB#2" "g}m xPe T6_LiB@ 最终设计 #1 的性能分析 r0jhIE# Tk1U 初始解决方案 #2 的参数优化 d0ZbusHHb :+u K1N tA;#yM; 最终设计 #2 的性能分析 k6.<