摘要 $P-m6 I5A^/=bf& ""+*Gn7^8 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
Z:hrrq9 &>jkfG 设计任务 AN>`M?EQ L1xD$wl CJOl|"UyJ 连接建模技术:蛾眼结构 {XX Nl)% ##@#:B (0Qq rNs 光栅阶数分析器 *\WI!% QT$1D[> ,OCTm%6e 元件内场分析器:FMM _PbfFY # IpJ v\zH7 eh>E). 参数运行 $te,\$&} G7;}309s 4sQAR6_SW~ 参数优化 -],?kP w2+]C&B* aTm.10{^ 模拟结果 j*u9+. W~F/ZrT3A 通过计算器进行参考测量 \,!q[nC N^]>R:Stu ;QQ7vo 结构内的场
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u[n\8 grdyiBSVn S1`0d9ds# 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 &U*J{OP| l&Ghs@>Kl ^6oqq[$ 初始解决方案 #1 的参数优化 &i^NStqu ?1:/
6 @!/fvP 最终设计 #1 的性能分析 DB%AO:8 Wky S Tc 初始解决方案 #2 的参数优化 TQd FC\@f" K!K"}%/_ Qsxkw 最终设计 #2 的性能分析 $cK
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