摘要 B
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_{^F8 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
0V8G9Gj vm*9xs 设计任务 *3RD\.jPX *S<I!7Q 2y$DTMu 连接建模技术:蛾眼结构 xzMpT ZQ xPT$d,~" nx`W!|g$` 光栅阶数分析器 {hO|{vz 2&s(:= jMR9E@>~E 元件内场分析器:FMM *x#5S.i1 %^I 7= ss|n7 参数运行 )('{q}JxV 3!*`hQ;s }EfRYE$E 参数优化 m^0*k|9+G [A!=Hv_$ _fj@40i M 模拟结果 *"/BD=INv} (|6!pQ7 通过计算器进行参考测量 86&r;c: {[H#lX 4 s5d[sx 结构内的场 Bt\V1 ) ;rCCkA6 UU =,Brb xr)m8H 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 eBECY(QMQ K}S=f\Q] TSL/zTLDJ 初始解决方案 #1 的参数优化 M@.?l=1X gd31d s!G .$x822
最终设计 #1 的性能分析 %s%e5hU 6Vu??qBy 初始解决方案 #2 的参数优化 g;3<oI/P 5bK:sht =PBJ+"DQs 最终设计 #2 的性能分析 '_=XfTF