摘要 T&`H )o 9>"To ;ywQk| r 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
,HQaS9vBQ hVcV_ 设计任务 |F 18j9 7BhRt8FSD+ SrVJ Q~:> 连接建模技术:蛾眼结构 iE$/ Rcp |H4/a;]~ jpCQ2 XD: 光栅阶数分析器 .{1MM8 Q m_z1|zM}o `8 Dgk} 元件内场分析器:FMM v*nX {]}}rx'|P |'2E'?\/x 参数运行 VlVd"jW P==rY5+s` 24Y~x`W 参数优化 /EOtK|E *p.P/w@1 GJA3 模拟结果 TCSm#?[B dOFxzk,g&R 通过计算器进行参考测量 > @ulvHL =^P<D&%q 1@H3!V4 结构内的场 h!f7/)|[o .( vS/ i%M2(8&^Q *N$#cz
在参数空间中扫描以获取初始解决方案 M[0@3"}} 'Z-jj2t} [KR`%fD0 初始解决方案 #1 的参数优化 Pb.-Z@ =F
ZvtcCa Pe/cwKCI 最终设计 #1 的性能分析 )L`0VTw'M @7%nMTZ@&v 初始解决方案 #2 的参数优化 ~l-Q0wg `ejE)VL=8h (?&X<=|" 最终设计 #2 的性能分析 `7Ni bZX0