摘要 B9p?8.[ S$KFf=0 8!.ojdyn 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
X%yO5c\l2 fYKO J5f 设计任务 "$s~SIUB :0Z^uuk`gq "KcA 连接建模技术:蛾眼结构 c/c$D;T N0hE4t f{SB1M 光栅阶数分析器 YK|bXSA[ ^u3V
E ^N8)]F, 元件内场分析器:FMM 8XbA'% o &-(463 LYlDc;<A 参数运行 /cc\fw1+ >S$Z gV&z2S~" 参数优化 .<kqJ|SVi F~A 'X \u6^Varw 模拟结果 2]% h$f+ XL7h} 通过计算器进行参考测量 =zwOq(Bh W ^CwR!I.D}4 %Uz(Vd#K 结构内的场 R|i/lEq apE sz9L8f2 ^eW}XRI 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 B"%{i-v>** qzb<J=FAU @&[T _l 初始解决方案 #1 的参数优化 0uBl>A7qhn (b`]M`Fc bH"hX 最终设计 #1 的性能分析 3sd"nR?aX )7_"wD`
z 初始解决方案 #2 的参数优化 `^lYw:xA &=4(l|wcg ~|<m,)! 最终设计 #2 的性能分析 ,o]4?-