摘要 @>sZ'M2mq Yx{q VU =vZF/r 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
wc#E:GJcK y,QJy=? 设计任务 [:(^n0% 8e3I@mv .#[== 连接建模技术:蛾眼结构 WVfwt.Y u+Q<>>lU
).b,KSi 光栅阶数分析器 5g(`U+,*( 7r4|>F t}]R0O.s 元件内场分析器:FMM d`+@
_)ea ^*=.Vuqy n6Qsug$z 参数运行 lEe<!B$d" wjeuZNYf x<es1A'u6 参数优化 8A ;)5! gLL8-T[9 c/Ykk7T9-- 模拟结果 zZax![Z [R~`6 通过计算器进行参考测量 Btgxzf %!X|X,b^O ?\.aq
p1B 结构内的场 7}2Aq iYk4=l
Lm{qFu gx',~ 在参数空间中扫描以获取初始解决方案
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S\$GC 初始解决方案 #1 的参数优化 6SGV}dAx W1T%
Q88 0<";9qN)6 最终设计 #1 的性能分析 n+XLZf# d~F4 初始解决方案 #2 的参数优化 Oe["4C i l5Qo hE|W%~Jx 最终设计 #2 的性能分析 3\B28m