摘要 c0,0`+2~ i,>khc '[AlhBX 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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NNB &e @2 设计任务 F*IzQ(#HW CyS$|E ;LcZ`1 连接建模技术:蛾眼结构 ,:%CB"J "W6uV! J!c)s!`w 光栅阶数分析器 ;_c;0) 5rw 7;' ^q{9 元件内场分析器:FMM EK{Eo9l ur)9x^y t|g4m[kr 参数运行 4{y)TZ wH>a~C: Gr*r=s 参数优化 )eUh=eW Sc\*W0m zZL6z4g 模拟结果 3@kf@Vf I(i}c~R 通过计算器进行参考测量 a=J^ TrlZ9?3#D @i2E\} 结构内的场 a L} %2 ]D?"aX'q> %KsEB*'" VJeu8ZJ. 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 ) pzy Lt u'W22 >"^ O"E 初始解决方案 #1 的参数优化 2L3)#22m* ni.cTOSx (up~[ 最终设计 #1 的性能分析 9B{k , 1
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