摘要 D.F1^9Q 3E @ & qe uc^+P; 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
HS.eK#:N 9)F$){G]vs 设计任务 ,]@Sytky 1<]?@[l< >'3nsR 连接建模技术:蛾眼结构 3cH^
,F 6m9\0)R 1LmbXH]% 光栅阶数分析器 PywUPsJ 8P%Jky&( "NV~lJS% 元件内场分析器:FMM
" v'%M({ {FNCC*= pSx}:u^am 参数运行 =`qEwA {o%OG/!1 9]S;%:64 参数优化 AB.ZmR9| o^d BS?rKtdm( 模拟结果 X-yS9E @Bsvk9} 通过计算器进行参考测量 GSGaYq JGlp7wro dY?>:ce 结构内的场 #%/0a S2V+%Z
_J Gbb*p+( 1:Raa 5 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 kc[<5^b5 [TmZ\t!5$ {UuSNZ[^ 初始解决方案 #1 的参数优化 T\TKgO=) jq[Q>"f
*)T7DN8 最终设计 #1 的性能分析 VpxsgCS Q/l388' 初始解决方案 #2 的参数优化 ?2S<D5MSb 6 Znt xQs._YY 最终设计 #2 的性能分析 n?NUnFA