摘要 ;]!QLO.bs^ sh;DCd 2-=Ov@y2k! 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
UtPFkase 9'+Eu)l: 设计任务 U|SF;T
. C'$w*^me hS&3D6Gt 连接建模技术:蛾眼结构 4FrP%|%E~ Nc;cb BV)oF2b: 光栅阶数分析器 !jlLF:v|1A X)7_@,7 EMy>X 元件内场分析器:FMM #C^)W/dP *{WhUHZF d8D0 28d 参数运行 r{\c.\ W
D 8 D2}N6i 参数优化 wO<.wPa` xs#g |)~t^ 模拟结果 zI-]K,! qFQO1"mu 通过计算器进行参考测量 U<<@(d%T ~]f6@n 7m.#No>^ 结构内的场 JR6r3W 709/'#- ^ g{ () )+GwYt 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 OHRkhwF. lV%oIf[OB Ymvd3> _ 初始解决方案 #1 的参数优化 z|Y Ms? ehTrjb3k _c!$K#Yl{ 最终设计 #1 的性能分析 Nyx)&T&I 6W\G i> 初始解决方案 #2 的参数优化 =D~>$Y x-nO; L-2p &&PXWR!%] 最终设计 #2 的性能分析 njxfBA: