摘要 iOfm:DTPr {*xE+ | ~
#jQFyOh 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
V)$!WPL@ :V/".K-:J 设计任务 z'L0YqXG/ F^dJ{<yX zIa={tU 连接建模技术:蛾眼结构 De$~ *2 o/AG9|()4
*yZ6" 光栅阶数分析器 ;*%rFt9FK vC]X>P5 Px <\229 元件内场分析器:FMM A 3 V E\iK_'# dL42)HP5 参数运行 J/]%zwDwS P(T-2Ux6 pGie!2T E 参数优化 Vgm*5a6t )fJ"Hq tZ]gVgZg 模拟结果 V.B@@ ; :82T! 通过计算器进行参考测量 Y3 $jNuV 3lF"nv 0|e[o" 结构内的场 n/9afIN S,5ok0R <Jgcj4D M`Y^hDl 6 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 &d6@SQ B.N#9u-vW ztVTXI%Kz 初始解决方案 #1 的参数优化 e!VtDJDS SaPE 1^} MCN>3/81 最终设计 #1 的性能分析 snaAn?I4 R+LKa Z 初始解决方案 #2 的参数优化 :^7w 3 =enk0$ DI\=udN 最终设计 #2 的性能分析 *PF<J/Pr