摘要 Z:Am\7 I go5!zSs _s,svQ8# 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
,"ZlY}!Gn (k45k/PAP 设计任务 6*Qpq7Ml Rgu^>
~ =0Sa 连接建模技术:蛾眼结构 @]4 s&;
w5\)di np(<Ap r 光栅阶数分析器 [X]o` AG2jl/ cxdM!L; ` 元件内场分析器:FMM 1jVcL)szU Op~+yMef ;zODp+4@Q 参数运行 ,//=yW @su,w,xLS TXv#/@ 参数优化 Bw[V K7 PN=yf@<V3F 4Rq"xYGXh 模拟结果 {\I\4P K6oLSr+EAK 通过计算器进行参考测量 I^=M>_s4 n9 DFa3 Y.J$f<[R 结构内的场 WkE;tC* cyyFIJj] GYO"1PM 6WZp&pO 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 |1R@Jz` "H8N,eb2 ;p8xL)mUP 初始解决方案 #1 的参数优化 00+5a
TrE wC~Uy% Sb.;$Be5g 最终设计 #1 的性能分析 pP&~S<[ uQCS%|8C 初始解决方案 #2 的参数优化 yFjSvm6 2z:9^a/]Na X +R_TC 最终设计 #2 的性能分析 cxV3Vrx@A