摘要 CD|)TXy =?fxPT[1K $*EK
v'g[n 对于许多
光学应用来说,抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构,这些结构受到自然界(如蛾眼)的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域,具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
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设计任务 #P[d?pY hxcRFqX"
[7d>c 连接建模技术:蛾眼结构 os/_ObPiX a(>oQG8F 20glz( 光栅阶数分析器 Nm;(M= !Yuu~| E#'JYz@ 元件内场分析器:FMM {OHaI ; :ryyo$ %-C 参数运行 nff
X AWkXWl} rGjP|v@3^ 参数优化 |#hj O3 ""-#b^DQ ktQMkEj# 模拟结果 )*j>g38? J,@SSmJ` 通过计算器进行参考测量 %mLQ'$ 9a_B C:Tjue{G2 结构内的场 lP$bxUNt 1CS[%)-c ?LE\pk
R 1eiV[z$? 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 XN+~g.0 FdrH, _^{!`*S 初始解决方案 #1 的参数优化 Nr24Rv _
U/[n\oC {J_1.uN= 最终设计 #1 的性能分析 H oA[UT X~ca8!Dq 初始解决方案 #2 的参数优化 <G d?,}\ CUz1q*): k[6%+ 最终设计 #2 的性能分析 d1&RK2