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摘要 L/`1K_\l hh&$xlO)(v
a !%,2|U 5)eM0,: 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 tqCkqmyC UeLO `Ug0; 建模任务 ,w H~.LHi oW6Hufu+o
G8klWZAJ ,m5i(WL 由于组件倾斜引起的干涉条纹 J'$NBws r9'[7b1l
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gUA\4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 )H{1Xjh- t^FE]$,
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