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摘要 [f {qb\ vP#*if[V5
B1FJAKI); yK& 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 `#W+pO NCT:!& 建模任务 a {x3FQ 6~jAh@-
{U>N*&_` nC[aEZ7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ~a4Y8r rqp]{?33
f34/whD65 }%PK %/ zI 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 21Dc.t{ ?[.8A/:5
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