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摘要 `l0icfy n?fC_dy
l+X^x%EA um;U;%?Q 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 AG%es0D[H ;ypO' 建模任务 W&[9x%Ba c+XR
}4`YdN g8@HAV^H 由于组件倾斜引起的干涉条纹 dsoRPX']= ;.m[&h 0
^o<Nz8 dM.Ow!j 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 93b5S>&r ]>!_OCe&
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