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摘要 l,v:[N mDM]RAub)
CS"p[-0 ^2mXXAQf7^ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 Upv2s:wa}z P%/+?(? 建模任务 8AefgjE sL\|y38'
Tl=vgs1 B]Zsn`n 由于组件倾斜引起的干涉条纹 @EZXPU t8P>s})[4
Mb<KZ_wYOX 2<988F 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 8L|C&Ymj "n8_Ag@r
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