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摘要 iBPIj;, .: Zw6 3^Q;On| 3,"G!0 y. 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 :@b=; &c^tJ-s 建模任务 dDbH+kqO *DgRF/S P(bds I]z4}#+cX 由于组件倾斜引起的干涉条纹 <lZVEg `l'Ine11 |;(>q cK- jN9U 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 'kSm}}y 6/.kL;AI vX?C9Fr 2
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