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摘要 *g5bdQ:Av~ 1>(EvY}Y\
]4aPn qu B[S)2} 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 <83Ky;ry @*%3+9`yq 建模任务 kn3w6] ^\}MG!l
.W]k8N E BN*:*cmUl 由于组件倾斜引起的干涉条纹 B=A!hXNa cSL6V2F
^0]0ss;##R pg{VKrT` 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 f:PlMv!{ 5CK+\MK
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