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摘要 7,R
~2ss5z LcmZ"M6 vF'Y; M 249DAjn+ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 n wO5<b; 'F^"+Xi
建模任务 `s_k+ g +-MieiKv q.d
qr< n6#z{,W<3 由于组件倾斜引起的干涉条纹 xPP]Ro PR G8Zl[8 E.^F:$2 @8|i@S@4 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 C=P}@| K $`"$ZI6[ &B} ,xcNO
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