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摘要 <"AP&J'H
EdE,K1gD
r.[!n)* JpxJZJ 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 uOs
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e[yk'E `K~300-hOb 由于组件倾斜引起的干涉条纹 1N1MD@C?P ,F.\ z^\{
zm9>"(H +I5@Gys 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 -j`tBv)
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