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摘要 L )53o! 1a]QNl_x
MJugno R|'ftFebB. 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ]WvV*FL9D3 p?V@P6h 建模任务 mhW*rH*m =OamN7V=
*b,4qMr _@@.VmZL 由于组件倾斜引起的干涉条纹 B*OBXN>'P K:q|M?_
:y1,OR/k ESmWK;7b 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 {wh, "Ok_ `Rx\wfr}
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