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摘要 {n.PF8A5X
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,gPS TR`U-= jH, 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 `pS9_NYZ} Hqx-~hQO 建模任务 *?>T,gx} [`[|l
'<xXK@=KEI J#(LlCs?@c 由于组件倾斜引起的干涉条纹 t+G#{n mb3"U"ohs
IGQFtO/x 7`Ak)F:V 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 rJTa 6ex/TySM
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