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摘要 `&/~%> h7
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oaGpqjBGQ >`)IdX 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 S&z8-D=8k BW{&A&j 建模任务 Scz/2vNi` ?Vo/mtbY5X
)9~-^V0A^> ]s>y se 由于组件倾斜引起的干涉条纹 YJqbA?i <F&53N&Zc
>,A&(\rO b3^d!#KVM 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 "jA?s9 X{-901J1
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