摘要 %qEp{itq 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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+I2 b>]UNf"- 设计任务 (yoF ?rziKT5OOC 0}M'> 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
2InM(p7j~K fKO@Qx] 光栅级次分析模块设置 ?Zb3M S5r. so 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
&'X gf!x l ;@bs 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
i=&]%T6Qk 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
{asq[;] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
"whs?^/ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
>h.HW 衍射分束器表面 x4,[5N"}YK 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
7jG fQ _Ud! tK *H 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ?1r<`o3l\ ( X+2vN 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
M !X^2 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
OGO\u# 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
?Ss ~!38 :ci D!Ly 光栅级次和可编程光栅分析仪 2*]
[M,L0c mQ9shdvt- P 6({wx 设计与评估结果 7 0EH~ 相位功能设计
>CwI(vXn 结构设计
;wTc_i TEA评价
x:h)\%Dg< FMM评估
X$?0C{@.} cucT | y 通用设置 }a#=c*+_ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
8~T=p:z' 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
5 0a';!H s'OK])>` 纯相位传输设计 4UK>Vzn I!Mkss xc TI\EkKu" 结构设计 ?{xD {f$ ) 1$H 7| yo% Nz" 更深的分析 `b%^_@Fb •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
`u_k?)lK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
'I :_}q •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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wA6E7vi' 使用TEA进行性能评估 qE VpkvEq ,?`kYPZ O[z6W. 使用FMM进行性能评估 <GLoT olZ R <%{I) yU"#2 *C 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 @\M^Zuo B\l 0kiNT /!y;h- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 MBnxF^c&P `:jF%3ks+0 N /<c ;"o 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
