摘要 #jQauO 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
K4c:k;
V \<4N'|: 设计任务 .+9hm| >lQo _p(; SB_Tzp 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
]gk1q{Ql< ~VGnE: 光栅级次分析模块设置 k~Ex_2;# /`*{57/3 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
B$4*U"tk HN5m %R&` 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Kg[OUBv 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
{"y/;x/ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
)h{&O
,s 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Ys"wG B> 衍射分束器表面 c/;;zc 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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Kc/1LeAik 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) )dXa:h0RZ {Su?*M2y 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
;[v!#+yml 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
+)Z]<O 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
ALF0d|>=uj SepjF 光栅级次和可编程光栅分析仪 51#*8u+L ^9g$/8[^c_ "g{q=[U} 设计与评估结果 qpjY &3SI 相位功能设计
/k#-OXP~ 结构设计
o>el"0rn.h TEA评价
Y[
G_OoU FMM评估
]ss[n.T0* Q#bW"},^k 通用设置 $@g]?*L: 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
N'Gq9A 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
h [TwaR Njq}M/{U 纯相位传输设计 [BWq9uE o<`vh*U@,4 `+7F H 结构设计 SQp|
P*|N)S)X% wj)LOA0 更深的分析 DeO-@4+qKd •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Y0LZbT3 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
pu-HEv}]a| •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
1'kO{Ge*p:
4>JSZ6i#n 使用TEA进行性能评估 E
C?}iP ewDYu=`* dbp\tWaW 使用FMM进行性能评估
!`69.v E$d#4x /]0qI 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 YEL0h0gn L*@`i ]jl ?Oyo /?/ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %xt9k9=vZ LC%ococ c4JV~VS+ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化