摘要 ft:/-$&H 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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8@* |;9OvR> A 设计任务
2Xe2%{ 5wP(/?sRy t~,!a? S7 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
=xai 7iM z4H!b+ 光栅级次分析模块设置 h`&mW w 9FH=Jp 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
}5zH3MPQH N[dhNK" 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
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2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
/rKrnxw 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
tv\P$|LV`8 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
4'G<qJoc 衍射分束器表面 WoesE:NiR 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
v\$XhOK oA_AnD?G+ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) *RN*Bh|$ XW5r@:e 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
l&;#`\s!V 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
RrKs!2sCT 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
AP/tBCeM 6i=m1Yk 光栅级次和可编程光栅分析仪 gLd3,$Ei X(g<rz1J] R"=G?d) 设计与评估结果 ;h0?o*i_ 相位功能设计
,f}s!>j 结构设计
aHwrFkn TEA评价
Il*wVNrZI FMM评估
[8O`VSV3 wU?2aXY 通用设置 N ?0V0B 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
8~}Ti*Urc 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
%|l*=v oNl_r: G 纯相位传输设计 Z</$~
T =GFlaGD o )Ob}j 结构设计 WElB,a-RCp 0m51nw~B YI&^j2 更深的分析 t6s#19g •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
txTDuS •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
%UgyGQeo •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
CW, Kw
M0"xDvQ 使用TEA进行性能评估 $p}7CP #LBZ%%v 3mr9}P9; 使用FMM进行性能评估 hbxG '.d el7s O8 k$Uc 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 OG!^:OY ,%>/8* b _cD
>A 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 NqlG= pu ;`s/|v @/B&R^aVZ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化