摘要 s'fHh G6 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
{o5E#<) o XV 设计任务 n>Q/XQXB "i4@'`r vQ26U(7\> 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
<q%buy Qna 0D:J d6\ 光栅级次分析模块设置 i4v7 x;m_p SgFyv<6>: 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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' jr }N* 6xr*X+ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
% nP 13V] 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
mTYEK4} 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
[|xHXcW 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
0b~5i-zM/ 衍射分束器表面 8GV$L~i 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
q9yY% @B*?owba> 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) !YsL x[+ b 9F=}.4 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
P0 D vZV8 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
kOx2P(UAEx 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
m(XcP b M8:gHjwsx 光栅级次和可编程光栅分析仪 kiZA $:V8 tlQ3 BKp \O^b |0zc 设计与评估结果 6|rqsk 相位功能设计
T Jp( 结构设计
ZVR0Kzu?Ra TEA评价
IdUMoLL? FMM评估
{Z3B#,V(g |u<qbl 通用设置 j$n[; \]n 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
FG38) / 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
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F$ p Z uYmMP 纯相位传输设计 o2@8w[r |/Am\tk#13 |Xlc2?e 结构设计 S `5^H~ n Uz 2~z O+@"l$;N 更深的分析 LwZBM#_g •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
~ 6 1O •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
q<>LK •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
Y<#WC#3= 
iL)q':xz 使用TEA进行性能评估 89Svx5S &-470Z%/ d>M&jSCL 使用FMM进行性能评估 :\NqG S=< $C##S @ /T v=BXL- 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 <=/v%VXPm qDxz`}Ly= & %ej=O 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 #9,!IW]l DzkE*vR
vHcB ^Z 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
