摘要 6XVJ/qZ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
?* dfIc 3URrK[%x` 设计任务 U.WMu% *OKve AlgVsE%Va 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
[vCZD8"Y8 zjx'nK{eI 光栅级次分析模块设置 xoE,3Sn +n 8,=} 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
LA837%) 90$`AMR 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
9>5]y}.{ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
GlXzH1wZ 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
FC8=
ru 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
UFa 00t^5 衍射分束器表面 R&}{_1dj8 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
g[xn0rG Yg`z4U'6~ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) zhwajc X@B,w_b 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
MWc{7, 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
@/?$ ZX/e[ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
TUd=qnu *icxK 光栅级次和可编程光栅分析仪 fbW#6:Y #+P)X_i` JvLa@E) 设计与评估结果 K:sC6|wG 相位功能设计
&nF7CCF 结构设计
+wr
5& TEA评价
;,LlOR FMM评估
gC S%J40r P1QGfp0-J 通用设置 ^`!EpO>k9 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
i+.b R.WO 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
V|dKKb[Lve =
P{]3K 纯相位传输设计 N+ R/ti <^jW jvos)$;L- 结构设计 [kq+a]q %"RgW\s[R Wj.
_{ 更深的分析 axi%5:I •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
&+t,fwlM •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
xo_Es? •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
Ndx ]5 X'>]z'0W 使用TEA进行性能评估 <%rG*vzi )<jT;cT!& u7<s_M3%N 使用FMM进行性能评估 pfvNVu ^Q4m1?
40 @7';bfsix 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 X\1'd,V Y1vSwS%{T PDssEb7 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 a|@^N N5[fwz
w nPUq+cXy]C 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化