摘要 #J^ >7v 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
g%okYH? 2=,d.1E3d 设计任务 EQ]>^VE2B Q w)U IV~5Y{(l 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
kRV]`'u, ki|OowP 光栅级次分析模块设置 1BSn#Dnj z9w]{Zd_,d 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
=^z*p9ZB Tnas$=J 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
mQ3gp&d3W 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
;H9 W:_ahE 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
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u&dU'@q 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
hqa6aYY x 衍射分束器表面 A@Cvx7X 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Y$_^f*sFn @6*eS+t\ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) =.l>Uw! bnN&E?{hF1 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
B<ZCuVWH: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
lo-VfKvy 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
P MI?PC[; i!eY"|o 光栅级次和可编程光栅分析仪 #Q BW%L Q.Y6 ,{_56j^d, 设计与评估结果 SNf~%B?`L 相位功能设计
<pM6fI6BD 结构设计
/Mj|Px% TEA评价
:lu "14 FMM评估
^4xl4nbx +0%Y.O/{ 通用设置 Jl|^^? 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
";^_[n 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
pcQgWjfS nI] zRduC 纯相位传输设计 J!">L+Zcx N*\ri0 aSI%!Vg. 结构设计 ilZQ/hOBH &UO/p/a aGAr24]y 更深的分析 >h.HW •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
x4,[5N"}YK •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
7jGfQ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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=CO'LyG 使用TEA进行性能评估 qpzyl~g:C *;Cpz[N PEaZ3{- 使用FMM进行性能评估 OzR<jCOS Cxe(iwa. ,W;|K 5 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Fl*<N OLV3.~T d%K{JkD- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 %*RZxR): tKds|0,j| qyh]v [ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化