摘要 qI+2,6
sGI 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
%{@Q7 p+CUYo( 设计任务 fSkDD>& A*EOn1hN j*jUcD* 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
?, S/>SP pk :P;\ 光栅级次分析模块设置 mQj=-\p K#0TD(" 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
CkT(\6B- 5E&#Kh(I 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
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}rB<c 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
xu2KEwgb 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
23s;O)) 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
x HRSzYn$ 衍射分束器表面 9}(w*>_L 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
*doNPp)m ={qcDgn~C 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Y%pab/Y 2cR[~\_9. 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
xN 1P# 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
o~Se[p 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
&{}Mds 9iA rBL" 光栅级次和可编程光栅分析仪 :DD<0 1E+12{~m"i '5e,@t%y 设计与评估结果 tt"<1
z@ 相位功能设计
~r1pO#r- 结构设计
%rzPh<>e TEA评价
2KlQ[z4Ir FMM评估
U2q6^z4l z
p E| 通用设置 Lc*>sOm9 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
&Y]':gJ 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
O tG\Uw8 '![oLy 纯相位传输设计 H iyg1 L:z0cvn" xa>| k>I 结构设计 D|]BFu)F eqbN_$> dY*q[N/pO 更深的分析 4&/CES •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
v pI9TG •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
Gt w>R •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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|=?#Xbxz 使用TEA进行性能评估 "6B7EH :|S zD4Ag :E:e ^$p 使用FMM进行性能评估 I6>J.6luF9 p_FM 2K7! }^
rxsx` 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 C|'DKT4M& Y'v[2s {o=?@ $6C 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 |Splbsk 2]>O ZhS U{U"%XdO 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化