摘要 x #g,l2_! 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
krU2S- ys PW< 设计任务 ]f?LQCTq<b ^bGi_YC =c'LG 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
Fjb[Ev I K);BN2<L 光栅级次分析模块设置 )
| a5Qxz @hPbD?)M 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
ok'1 uv!/DX# 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
!$HW UxM;p 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
?hYe4tc-# 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
% e(,P L 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
{ar }.U 衍射分束器表面 oGZ9@Y)(T 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
=%p{ " < K(^x)w r-: 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) r{_'2Z_i `Ii>w b 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
'`u1,h 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
WjB [e> 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
$oEDyC Jo ^ o`9 光栅级次和可编程光栅分析仪 8}"j #tDc )NK 2uD Bv3v;^ 设计与评估结果 gFH_^~7i8p 相位功能设计
>vhyKq|g< 结构设计
n_Z8%|h TEA评价
I~I%z'"RQd FMM评估
!8$}] uWP Y~6pJNR 通用设置 6-~ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
7~&Y"& 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
g= .5*'Xlp g7pFO cV 纯相位传输设计 ?#'qY6 ^ k)J7) L fiZ8s=J 结构设计 TJ< PT _rM%N+$&d_ (bw;z NW 更深的分析 `e bB+gI •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
=cQw R:): •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
:1iw_GhJf •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
B.|vmq,u 
Dj|S 使用TEA进行性能评估 khR3[ju {^ d7&PbITN i0P+,U 使用FMM进行性能评估 |lv 4X }H C9z{ 8 ; V6L_aee}CK 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 P+/L, u ms $o ,[ PIA&s6U 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 1ysA ~2 W)l&4#__( Q*wx6Pu8 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
