摘要 IB$7`7 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
'ZHdV,dd z@h~Vb&I 设计任务 *y7 $xa4 <@#PF$! z'MS#6|} 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
F:T GsV# #@//7Bf% 光栅级次分析模块设置 r/r:oX K >mm' - P 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
f`P9ku#j} hu@7?f_"L/ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
W |U tY `1 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
;=;JfNn bm 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
uHM@h{r 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
"> 90E^ 衍射分束器表面 f(:1yl\a 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
')TPF{\# wGLF%;rRe4 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0|Uc d yYTVXs`fVj 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
l5O=VqCj 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
"4 k-dj 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
NPJ.+ph kBsXfVs9 光栅级次和可编程光栅分析仪 HnZP w&* Y;Y 1+jt ")`S0n5e 设计与评估结果 m_lr PY- 相位功能设计
AK/:I>M 结构设计
z hsx & TEA评价
ME+em1ZH FMM评估
R@`rT*lJ X r_pgW| 通用设置 ycpE=fso' 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
Spj9H ?m 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
la,
h fI:H8 纯相位传输设计 vr IV%l= N}Q FGX L.)yXuo4 结构设计 ]Yz'8uts KD*O%@X5C 77aX-e*=E 更深的分析 1f//wk | •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
3%
vis\~^ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
<Dm Tj$ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
S+T|a:]\7 
<GZhH: 使用TEA进行性能评估 .6 T4 z7I m|4 LbWz HeS '~Z$ 使用FMM进行性能评估 !$>G# +y 0m=(W^c x_:hii?6V 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 , wK 1=7 > oY^Gx p_6P`Yx^e 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 7),*3c ') T$ c+m\j6 pxplWP, 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
