摘要 5ZZd.9ZgM 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
]cS&8{ ^2 OE5 X8DqQe 设计任务 iM4mkCdOO |>M-+@g j 9 J$Y,Z 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
(Be $ $W aA7S'[NjB 光栅级次分析模块设置 Y NuewD 3AX?B~s 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
k0gJ('zah y- D>xV)n 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Y}85J:q] 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
(D:KqGqoT 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
&;'w8_K"^ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
r[ Z g 2 衍射分束器表面 c -?
Ygr 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
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=d9 {LjK_J' 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ke{DFq h t sC z+MP 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
NdaVT5RB 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
lr)G:I# | 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
=M Q2sb I^6c 0` 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?z*W8b]' Y} eZPG.h 11n O<WH 设计与评估结果 Zw3hp,P] 相位功能设计
.&aVx] 结构设计
t[L2'J.5 TEA评价
z:@d@\$? FMM评估
.H* ? '* <m|FccvQ 通用设置 Udb0&Y1^ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
t!+%g) @ 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
d!a2[2Us ]~4}(\u 纯相位传输设计 EbHUGCMO s.k`];wo :Kt{t46) 结构设计 #t5JUi%in* K6 PC&+ x d#M?lS> 更深的分析 7z0;FW3>9 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
r zc 3 k~@ •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
2/a04qA# •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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+4p2KYO 使用TEA进行性能评估 ? M gt5by F ~11 _ RQ_#rYmT 使用FMM进行性能评估 A
`H]q5d jHUz`.8B $ P1d#;rb% 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 -f
'q )aO!cQ{s <#J<QY F&2 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Cys/1DkE g]TI8&tP!L Xj(k(>7V 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
