[技术]VirtualLab Fusion应用：非近轴衍射分束器的设计与严格分析 [复制链接]

摘要 |9=A"092{  
直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 w;yzgj:n&f  
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设计任务 ^8_yJ=~V  
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使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 Sc
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光栅级次分析模块设置 C\;l)h_{  
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使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 }oA>0Nw$K  
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 gT0yI;g]  
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 eG1V:%3  
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 g(9*!g  
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 Y|><Ls6Q  
衍射分束器表面 RrvC}9ar  
为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 \fUX_0k9,  
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衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) v}N\z2A  
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 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 oe]*Q  
 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 cI'n[G  
 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 NI#]#yM+  
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光栅级次和可编程光栅分析仪 OPDT:e86Y=  
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设计与评估结果 s$isDG#Sr  
相位功能设计 ^n0;Q$\  
结构设计 On}1&!{1]  
TEA评价 Ao8ua|:  
FMM评估 >fzyD(>  
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通用设置 l;0([_>*j  
提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 MGsQF#6]  
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 TDDMx |{  
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纯相位传输设计 lQ`=PFh  
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结构设计 n}.e(z_"  
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K~vJ/9"|R  
更深的分析 DOJydYds  
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 zplv.cf#q  
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 FHQ`T\fC$@  
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 ,M.}Qak^  
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使用TEA进行性能评估 yiQ?p:DM  
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使用FMM进行性能评估 T,
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进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 ;,[0bmL  
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进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 iVn4eLK^v  
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进一步优化–设计#3的零阶阶次优化