摘要 @/@#,+ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
_Jn-# du [8EzyB>fH 设计任务 5`53lK.C UiqHUrx `PXSQf 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
K9\`Wu_qL h|$.`$ 光栅级次分析模块设置 GS_'&Yj &> tmzlww 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
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9gMO paF$o6\ 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
CvW*/d
q 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
~4S@kYe{3K 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
3qR%Mf' 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
~L)9XK^15 衍射分束器表面 PE4#dx^ 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
-.~Dhk )R.y>Ucb0 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) ^
ry
|j($2. 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
GLrHb3@"N 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
0"]N9N;/ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
{hr>m,O% 59A@~;.F 光栅级次和可编程光栅分析仪 pJ!:mt G[z!;Zuf 1|_jV7`Mz 设计与评估结果 r8x<-u4 相位功能设计
^iAOz-H 结构设计
~UA:_7#\M TEA评价
8R<2I1xn2 FMM评估
't'~p#$,F {XAm3's 通用设置 FGY4 u4y 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
xp<\7m_N 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
D=uU:7m $Tci_(V=F 纯相位传输设计 oKjQ?
4 ?*lpu y,e#e` 结构设计 5xKo(XNp !? !~8J~ w9h`8pt 更深的分析 &qKJN#NM@ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
>Z@^R7_W •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
I*8i=O@0T •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
M|IR7OtLV
X/Umfci 使用TEA进行性能评估 RS'!>9I =w&JDj :=9?XzCC 使用FMM进行性能评估 yU'Fyul P?D;BAP2 5R"My^G 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 %6c[\ubr 9,8}4Y=GVI X;`XkOjk 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 \0.
c_ :ZrE/3_S AY3nQH
进一步优化–设计#3的零阶阶次优化