摘要 I'J=I{p* 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
+dR$;!WB3 8a"aJYj 设计任务 (}bP`[@rX! ,TP^i 0 5>/,25
99 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
y?Fh%%uNr Q x$Yj 光栅级次分析模块设置 2D&t DX< G+}|gG8 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
fz,8 < [|uAfp5R 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
8`'_ ckIgr 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
~vG~Z*F 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
!t[X/iu 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
}LQ&AIRN 衍射分束器表面 < gJ|Wee 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
U
= T[-(:H +5 @8' t 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) d0IHl !X `W{Ye=|[d# 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
O{LWQ"@y 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
L
+-B,466 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
F y^!*M- BQt!L 1 )) 光栅级次和可编程光栅分析仪 Kkdd }j yQ 6{-:`) F|Jo |02 设计与评估结果 Jg |/ *Or 相位功能设计
5U%u S^%DP 结构设计
0=7C-A1(D TEA评价
;nSaZ$`5 FMM评估
/ ijj;9EB ld`oIEj!P_ 通用设置 42
8kC, 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
a&4>xZU # 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
jb fMTb4 =as ]>?< 纯相位传输设计 t$rWE|+_z 8[
:FU p}O@ %*p . 结构设计 7$;mkHu4H% 3| g'1X} ^vJ 08gu_W 更深的分析 WWH T;ST •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
d v" •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
y7$e7~}/ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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KeOH 使用TEA进行性能评估 bWG}>{fj |OuZaCJG N2xgyKy~ 使用FMM进行性能评估 ]p@7[8} i#&]{]}Q v k
h#|`E#, 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 N] } L*o& RhXX/HFk yz,ak+wp 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 A:&
`oJl 3-~_F*%ST Fl^.J<Dz 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
