摘要 e 5#?@}? 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
4)?s? + cyBm,! 设计任务 i'p6# xiOAj"}~ d F$&fo% 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
{JQCfs k|`Qk!tr 光栅级次分析模块设置 }h1y^fuGi $V,ZH*
g 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
mv> -XJ+ @]7s`? 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
5Zn: $?7 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
5O[\gd- 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
F+)g!NQZ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Egmp8:nZl@ 衍射分束器表面 +h@ZnFp3 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
`t3w|%La } u4h.\ul8% 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) Jk;dtLL}4 W/<Lp+p 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
J w0I$W/ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
)zkr[;j~` 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
$bl<mG%#9 E8L\3V4 光栅级次和可编程光栅分析仪 ai"N;1/1O| x27$h)R0v 2=7:6Fw 设计与评估结果 '&/~Sh$% 相位功能设计
<Vl`EfA( 结构设计
cCs@[D#O1 TEA评价
P"+R:O\!g FMM评估
o: `^1 pgPm0 +N
通用设置 {t| Q9& 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
g%o kYH? 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
b%7zu}F )j!%`g 纯相位传输设计 j\iNag( e!vWGnY XZrzG P( 结构设计 }=A+W2D W&HxMi lib}dk 更深的分析 C!Jy;Z=+u •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Wr`<bLq1vs •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
+mN8uU~(kx •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
9<.8mW^68 
zEh&@{u? 使用TEA进行性能评估 )}u?ftu\ GJ:oUi <?h (Dchq 使用FMM进行性能评估 &FG0v<f5Pv ,(f({l[J} ' pIC~ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 .
LeS- >M^:x-mib Fb ~h{ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 {vk%&{D0) |h6, .#n |@VhR(^O$ 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
