摘要 +J}k_'4& 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
KU 8Cl>5 q ? gQ 设计任务 *$*nY [/5 &B{Jxc`VA sf|_2sI 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
&~D.")Dz h}c6+@w&- 光栅级次分析模块设置 mt&Jg A/ `tUeT[ 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
iZVT% A+q 7Vof7Y < 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
} SWA|x 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
"pKGUM 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
]h`E4B 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
&6~nc QWu 衍射分束器表面 [1 [[$ Dr 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
XEe +&VQmY qjdahVY 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) s$3eJ| 55jY` b . 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
lD+y, "; 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
XV0<pV> 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
uDMUy"8&! ^LQ lfd 光栅级次和可编程光栅分析仪 ?\/dfK:! 3GuMiht5 S+bW D7 设计与评估结果 VN55!l'OV 相位功能设计
VS@rM<K{ 结构设计
^ZViQ$a"h; TEA评价
nk?xNe4 FMM评估
cJp1 <R 30T:* I| 通用设置 @,f,tk=\S 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
jP{]LJ2.6\ 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
e]L3=R; pC?1 gc1G 纯相位传输设计 p|O-I&Xd CI3_lWax% JOoLHZQ1v 结构设计 4s+J-l My43\p <@;xV_`X+ 更深的分析 Ee?K|_\${ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
(>@syF%PB •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
Z ysUz •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
)LS+M _
:."n@sA@ 使用TEA进行性能评估 aDJj VD Ok.DSOT ;V(}F!U\z 使用FMM进行性能评估 t1_y1!u Q "%@=?X8 C
Wl95 g 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 (H|d 3 QH? 2v zdQu%q 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 `[HoxCV3o J*4_|j;Z-E d=u%"3 6y 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
