摘要 eC Xw8 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
jv'q :uA ^ '"fZGz? 设计任务 tboc7Hor4 bd@1j`i vN3uLz'< 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
^)0b= ( . H= (Zx 光栅级次分析模块设置 =>,X)+O Swnom?t 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
xr).ZswQ V { yk 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
=X}s^KbI{
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
0rj50$~$] 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
i+eDBg6 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
/dq(Z"O_ 衍射分束器表面 qASV\
<n 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
Xwt}WSdF`k
T6N~L~J 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) d0 qc%.s 1]] #HTwX 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
'NDDj0Y 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
JWo). 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
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vLqccL 光栅级次和可编程光栅分析仪 2L|)uCb "=vH,_"Ql kl i)6R< 设计与评估结果 ^P}c0}^ 相位功能设计
1@{qPmf^ 结构设计
_)=eE TEA评价
.l}o xWWoS FMM评估
.rs\%M|X ry!0~ir 通用设置 >^ijj`{d 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
=Xh*w 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
VAet!H +] e<1)KqG 纯相位传输设计 bA8Ro C x I(Y}> @'fWS^ ;& 结构设计 rugR>&mea N@G~+GCxL wwVg'V; 更深的分析 n>aH7 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Os"T,`F2s •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
E
(b x/f •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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8xQjJ 使用TEA进行性能评估 Ab/KVB mqk tM 6 jpRC6b? 使用FMM进行性能评估 PWbi`qF)r 0 $\
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UG 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 z((9vi W
]? A-D,!( iDrQ4> 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 n+%tu"e tX
3y{W10" 1y}tPkOe7O 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
