摘要 l'*^$qc 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
7fju d>%gW* 设计任务 [1{SY=) e1
x^PT zoZ<)x=; 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
DW/1 =3 E/mubA(& 光栅级次分析模块设置 |[S90Gw] D##+)`dK 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
sm 's-gD q$r&4s)To 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
d<Ggw#}:m 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
i2){xg~c 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
0b/ir 2 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
z]kwRWe`j 衍射分束器表面 {?E<](+0 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
*~p(GC lT 8#bA 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) <W>++< - dj'm, k
b 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
pSHSgd~& 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
_7U]&Nh99 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
I>PZYh'.T ~+yZfOcw 光栅级次和可编程光栅分析仪 ~h-C&G,v 5%*w<6<_z X) V7bVW 设计与评估结果 <,"4k&0Q>V 相位功能设计
zh\p 结构设计
M=O Czgj TEA评价
8S\RN&T$ FMM评估
,57$N&w e}'gvm 通用设置 7 8Vcu'j&_ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
"#yJHsu] 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
iPq &Y* 9mlIbEAb 纯相位传输设计 'OwyyPBF 0Vkl`DmeM. j[I`\" 结构设计 (hIF]>,kl !\FkG8 }bH$O% 更深的分析 !Uh2}ic •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
M|q~6oM •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
*O,H5lwU •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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O.,3| 使用TEA进行性能评估 7FLXx?nLY y}FZD?" u: &o}[ 使用FMM进行性能评估 G?AG:%H % fmfTSN(Q~` {ox2Tg? 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 K{@3\5< *)<B0SjT o! OMm! 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 nOb?-rR 20b<68h$: >G~mp<L 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化