摘要 W^ :/0WR 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
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&[,nUd 设计任务 V qL
5f {g- DM }q bVeTseAG 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
rH9}nL B -~&6D, 光栅级次分析模块设置 D' `"_ LZ)m](+M 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
w;EXjl;X O <gdgcvd 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
k<| l \]w 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
V*zz-
2 _i 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
gc@#O#K~h^ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
8}{o2r@ 衍射分束器表面 -?nT mzRc 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
ING_:XpnJ 5;
PXF 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0['"m^l0S R2O.}!' 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
3Y{)(%I 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
T#n1@FgC 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
vif8 {S }=hoATs 光栅级次和可编程光栅分析仪 B`B%:# F> QT| N+M&d3H` 设计与评估结果 cN WcNMm 相位功能设计
N4H+_g| 结构设计
MpA;cw]cI/ TEA评价
cvUut^CdK FMM评估
'K3 s4x($ 0R}S w[M. 通用设置 \`/E
!ub 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
7p.h{F'A 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
P$3=i`X!nw !p,hy ` 纯相位传输设计 Yxd{&47 %i&/$0.8 i.t9j N 结构设计 :@ E1Pun? 7<:Wq=e!r }@14E-N= 更深的分析 Y#l k!#\Y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
adI!W-/R: •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
)@,90Vhh •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
t @(9ga( 
l#b|@4:I 使用TEA进行性能评估 MkDK/K$s /c@*eU I/HV;g:# 使用FMM进行性能评估 yQZ/ ,KX y|6@-:B. [v0ri< sm 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 1BMB?I -XVEV wb6 L? t 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 u
m: 0y, l
Io9,Ke VU! l50 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
