摘要 *cn,[ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
P}B{FIpNG ?:F#WDD 设计任务 $,R
QA^gxW E'qG K T 9 A0wiKp 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
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s6.
lu D.3& 0n 光栅级次分析模块设置 "@Ir Bi6 qzq_3^ 66 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
WO{V,<; E _d^&{j 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
w yi n 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
<R zGxhT 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
D0 Cs
g39 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
--*Jv"/0 衍射分束器表面 \d~sU, L;] 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
.9X, )^D =@w,D.5h 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) KDD_WXGt~ !.>TF+] 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
W8hf
Qpw 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
.{U@Hva_K 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
\[</|]'[ ZZ/F}9! = 光栅级次和可编程光栅分析仪 R_iQLBrd LliOhr4 oJ}!qrrH 设计与评估结果 z 3RD *3b 相位功能设计
{.=4; 结构设计
O3, IR1 TEA评价
-90qG"@ FMM评估
t#
cm | Hrb67a%b 通用设置 Ubtu ?wRBW 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
zq ;YE 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
M1(+_W` V'[Lqe,y 纯相位传输设计 EXt?xiha? MVe:[=VOT| w@ 1g_dy 结构设计 $#q:\yQsPC d8l T+MS= 9X<o8^V 更深的分析 c s0;:H*N* •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
b [}f]pB@n •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
;2lKo =" •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
C(o]3):? 
Y`$dtg { 使用TEA进行性能评估 ]&l.-0jt ID+ o6/V8 N Cm>iEeY 使用FMM进行性能评估 R w8l" ` M'Fa[n*b?! v/ dyu 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 d1MY>zq L< 3U)Gp '9O4$s1 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 U;%I"
p`Z/ &OpGcbf1 cb ICO 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
