摘要 0Lz56e'j 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
J0mCWtx& iKH T 设计任务 uqeWdj*Y g
UAPjR
%!h+ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
7Bd_/A($ fTtSx_}3H 光栅级次分析模块设置 #UeU:RJ1 I[IQFka} 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
8/$iCW Tka="eyIj3 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
Zo ReyY2 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
ddhTri'f 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
?G<IN) 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
J|8YB3K, 衍射分束器表面 {#Cm> @') 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
&: 8 &;vk :%]R x&08 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) %--5bwZi / hdl 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
' *C)S 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
D5vtZu!" 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
CPM6T$_qE <$6E r 光栅级次和可编程光栅分析仪 n:)Y'52} ]J]p:Y>NL LB+=?Mz V 设计与评估结果 1/J*ki+? 相位功能设计
6x8|v7cMH 结构设计
t^;Fq{> TEA评价
v!C+W$,T FMM评估
l Nt o9 T5+b{qA 通用设置 ^P`'qfZ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
?y@pRe$2 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
(2)9TpE; ,Gx=e!-N5 纯相位传输设计 YZ
P *j :5 rWmi 'niu 结构设计 Hf|:A(vCx SVz.d/3Y @eU/g![u 更深的分析 pz =Wq4l •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
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.s".aA •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
K6hNN$F! •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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zH4#\d 使用TEA进行性能评估 _%!hkc( ~h+3WuOv 6*
w;xf 使用FMM进行性能评估 }1 ^.A84a >@iV!! <Ux;dekz} 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 t/(j8w a@1gMZc* 9Ua@- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 FgaBwd^W F4Z0g*^x
Q)&Ztw< 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化