摘要 }00BllJ 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
9EibIOD^/ hT+_(>hT 设计任务 M-Y_ Wb3 [ 5Mr@f4I 'e'cb>GnA 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
P{ lB5 0 ar+9\ 光栅级次分析模块设置 z5*'{t) Y O}<Ytx 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
X2~!(WxU F 6q.Uhe_B 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
_
*Pf 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
i2SR{e8:GF 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
u>a5GkG. 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
&Hs!:43E-< 衍射分束器表面 Yufc{M00 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
59;KQ V/9!K%y 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) d)Y}>@:W vy:Z /1q 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
U-tTW*[1] 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
bdE[;+58 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
4zFW-yy )|# sfHv7 光栅级次和可编程光栅分析仪 5 ">Z'+8 8$Y9ORs4 bq0zxg% 设计与评估结果 V+ 9 MoT?8 相位功能设计
iSs:oH3l 结构设计
3eQ&F ~S TEA评价
@_}P-h FMM评估
mrtb*7`$ NyNXP_8 通用设置 p9{mS7R9T 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
O)r4?<Q 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
@GW #&\yM d5:c^` 纯相位传输设计 FXkM#}RgNm ,.FxI l ] 3AN/
H 结构设计 j/?kL{B s|r3Gv|G PALc;"]O 更深的分析 GC}==^1 •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
uJ v-4H •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
& 6nWzF •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
T1=fNF 
?m"( S oh 使用TEA进行性能评估 Z"fJ`- - VRB;$ v):Or'$~M 使用FMM进行性能评估 -PR N:'T {F.[&/A >e$PP8&i_T 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >tW#/\x{ &gx%b*;`L0 o0KL5]. 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 O3kA;[f ; YT(AUS5n j|#Bo:2km 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
