摘要 &eg@Z nPn 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
,}OQzK/"mP [py/\zkn 设计任务 ; ahI}} $>l65)( E\ NydoX9 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
6 0 p*4>^v Q@l.p-:^U 光栅级次分析模块设置 'khhn6itA .)=j~ }\ 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
x5W@zqj R? ,XSJ 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
@JD!.3 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
\%;5$ovV 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
9 [\$\l 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Q
S.w#"X[ 衍射分束器表面 K&vqk/JW1 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
{f% x8t$ z"@UNypc, 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) dy0xz5N- pXxpE v 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
@z.HyQ_v 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
Ba|76OBRJ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
?[Qxq34 EtvYIfemr 光栅级次和可编程光栅分析仪 Z o5.Yse mt3j$r{_ &f>1/"lnd\ 设计与评估结果 :j#Fq
d[DF 相位功能设计
}W R?n 结构设计
h)C `w'L TEA评价
4ze4{a ^ FMM评估
Jro%zZle wn{DY
v7B 通用设置 }#f~" -O 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
.3 T#:Hl 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
M)CE%/P j%s :d(H` 纯相位传输设计 7j L.\O !+I!J
s" ::rKW *? 结构设计 !|S{e^WhbU a )Ca:p 4m$Xjj`vE 更深的分析 >NN&j#;x~ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
ZiOL7#QWX •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
)[h QK_e] •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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ORoj )$I 使用TEA进行性能评估 y\"Ku r*O g>O
O '}lF 4#y 使用FMM进行性能评估 eyGY8fF8$ eE-@dU? A5> ,e| 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 > w"k:O17
!,< )y}L^) PxHH h{y%c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 gNG_,+=! !* C9NX IvyBK]{| 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
