摘要 |#Bz&T 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
>Q#_<IcI k/?5Fs!# 设计任务 Mk7,:S 0$%:zHi5g L\XnTL{ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
B)O{+avu fa;\4# 光栅级次分析模块设置 >fPa>[_1 MJd!J]E6 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
M3c-/7 <<W{nSm# 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
]
hGU.C"( 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
8hZ+[E} 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
$a>,sL&; 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
7,ysixY 衍射分束器表面 0qqk:h 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
qI"Xh"
c? <spV Up 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) $DeHo"mg7m JwL}|o6 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
`h}fS4CO 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
OaY.T 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
$n\{6Rwb -'r4@='6} 光栅级次和可编程光栅分析仪 sa$CCQ tAO,s ZW xr}3vJ7 设计与评估结果 O%L]*vIr 相位功能设计
?55t0 结构设计
@&p:J0hbp TEA评价
byoP1F% FMM评估
@k['c
M?l/_!QB 通用设置 +e}v)N 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
p'{B|ujj6 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
lZ|+.T!g? GdHFgxI 纯相位传输设计 9+H C!Uot P0VXHE1p f1s3pr?? 结构设计 U:"X * @6\Id7`Ea [qbZp1s|( 更深的分析 Htl2CcZ •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
fUj[E0yOF •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
x7\b-EC •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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}z%fQbw 使用TEA进行性能评估 3-x ;_ 9U~fc U6 }C-K0ba7 使用FMM进行性能评估 kNq>{dNRx wW &q)WOi : EA-L 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Zp8\n: 9o%k [n )oqNQ'yZ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 [$\KS_,Mn nv$>iJ^~H ^m0nInH 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化