摘要 TW T h! 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
oAxCI/ 3pI ) 设计任务 .[>UkM0 Bu,VLIba +}.S:w_xQ 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
x$/: %"E K8g9IZ*lT 光栅级次分析模块设置 #i}:CI>2 a
qIpO 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
I=}pT50~9 g%T` 6 dvT 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
WTQd}f 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
o&U/e\zy 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
ps@{1Rn1 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
73>Hzpv0 衍射分束器表面 <;':'sW 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
X CQPVSh e?
n8S 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) TM^.y
Y (`FY{]Wz! 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
eC Xw8 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
(G`O[JF 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
+U*:WKdI? j`ybz G^ 光栅级次和可编程光栅分析仪 p 28=l5y+ >'|Wrz67Z p-,( P+Np 设计与评估结果 D./3,z
相位功能设计
Y5$VW Ur B 结构设计
R?H[{A X TEA评价
+n&9ZC H FMM评估
&&
E) ,G!mO,DX 通用设置 f4r) g2Zb[ 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
[V _\SQV0 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
> X K |jPK ( t59 SY 纯相位传输设计 GP;UuQ z I18<brZJ Vf] ;h m 结构设计 XD$;K$_7 2r>I,TNHl $V2.@ X 更深的分析 .YxcXe3# •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
~sbn"OS + •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
Y[Kpd[)[v •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
*ci%c^}V 
l~*D
jr~ 使用TEA进行性能评估 -V O* P %:/?eZ ]aTF0 R 使用FMM进行性能评估 )M E'qA3K W:* {7qJ !<W^ Fh 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 Xgyi}~AoaU o%. 0@W z`KP
}- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 A~%h*nZc%I '5
kSr( ?Q G?F9? 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
