摘要 5BAGIO<w 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Pz77\DpFi {Yc #XP 设计任务 QMQ\y8E 0vjlSHS;`. lq_(au. 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
AL{r/h 5oTj^W8M( 光栅级次分析模块设置 vP @\" b uOpHQn 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
PO@b9O P
?A:0a 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
(Z |Nz *< 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
3vC"Q!J& 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
{?YBJnG}x 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
?qJt 4Om 衍射分束器表面 , #nYH D 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
#e*j P&1S 3bBCA9^se 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0Bn35.K {Q~HMe`, 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
jM5w<T-2/ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
'?O_(%3F0 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
\ 3XG8J |)[I$]L 光栅级次和可编程光栅分析仪 #]5A|-O^ ;k fl5 x"83[0ib 设计与评估结果 )[np{eF.k 相位功能设计
N?j#=b+D 结构设计
Y2d(HD@ TEA评价
08MY=PC~R FMM评估
`P
* wz< u.rFZu?E\ 通用设置 ~m6b6Aj@6 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
aESlb H 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
,k |QuOrCh K'f `}y9 纯相位传输设计 >`=9So_J cUj^aT pm A81'ca/ 结构设计 (8td0zq
+[B@83 }MIg RQ9 更深的分析 1haNpLfS> •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
B6-1q&
E / •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
^|UD&6 dx •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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;km ^ OO$ 使用TEA进行性能评估 h1Nd1h@- :um]a70 l>*L
Am5 使用FMM进行性能评估 M97MIku~9 3Q!)bMv \ Id^)WEK4 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 V {C{ y5
{v}BtZ Qpocj : 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 d=eIsP' h MG:eI?G/' ;:1o|>mX 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
