摘要 8C2!Wwz`J8 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
BO;LK-V DJHE6XJ
设计任务 eXMl3Lxf Q3x.qz )X-TJ+d 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
/ee4 v! BU;E6s>P 光栅级次分析模块设置 E)F"!56lV Q |^c5 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
SL>0 _ jVdB- y/r 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
U`ELd: 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
!,PoH 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
7 *HBb- 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
PWs=0.Wj 衍射分束器表面 u/L\e.4 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
GZ/vUe +)TOcxF% 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) I`EgR?5 ` XJi^gT N 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
O.+X,CQG* 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
gNzamorv[ 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
k%lz%r GG[$- 光栅级次和可编程光栅分析仪 '}
LAZQ"
8Wyv!tL fHwr6"DJ 设计与评估结果 QsH Fk5) 相位功能设计
L<TL6 结构设计
D[}qhDlX TEA评价
`?:X-dh_ FMM评估
bn<} z[ ml;? 通用设置 UI.>BZ6} 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
Zw"K69A) 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
*>p#/'_E [\e2 ID; 纯相位传输设计 `=cOTn52 ;]Bkw6o 4PAuEM/z 结构设计 uPtS.j= %QrpFE5V5 j#)K/` 更深的分析 }N<> z •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
]QAMCu(> •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
G[5z3 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
RP4P"m(
L5yv}:.U 使用TEA进行性能评估 Ro|%pT kI>PaZ`i) MUd
9R 使用FMM进行性能评估 )S6"I Ykd< }KE> Kwa$5qZI 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 F[5\
x0 !c8hER! APBe76'3) 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 $q~:%pQv :=K <2 <i!7f26r 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化