摘要 [n66ZY#U] 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
#ljfcQm +]*?J1Y8Z 设计任务 7G2TT a j;<;?IW f3*u_LO 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
2:2rwH }e V&NOp 光栅级次分析模块设置 13 A!@D }n 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
7eh}Je8 }4ta#T Ea 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
TX8,+s+ 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Az"3f 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
rXfQ_ 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
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cf 衍射分束器表面 G|X1c}zAL 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
R+, tn,<< wCc:HfmjJ 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) f*kT7PJG ,uuQj]Dac+ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
>#c]rk: 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
.$S`J2Y 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
^9"|tWf6O zneK)C8&q3 光栅级次和可编程光栅分析仪 {f)",# DA[-(
s hwkol W 设计与评估结果 sa*]q~a 相位功能设计
%,>> <8 结构设计
CWt,cwFW TEA评价
bxEb2D FMM评估
t~X wF("; )SUT+x(DU 通用设置 r"J1C 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
0.|tKetHq 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
v@"xEf1n[ lXL\e(ow 纯相位传输设计 !^G+@~U Wc03Sv&FZ $eRxCX?b2 结构设计 l0[jepmpiT 3vmLftZE} %E~4 Ur 更深的分析 u[PO'6Kzd •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
>y%$]0F1 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
/gXli) •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
o&gcFOM22
j:$2,?|5 使用TEA进行性能评估 5GT,:0 A3yVT8 yIqsZJj 使用FMM进行性能评估 p;BdzV> 1OE^pxfi> $U"/.Mh\ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 :3{@LOil^ ~F>oNbJIv B>#zrCD 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 8uS1HE\% #j iQa" VLu_SXlo* 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化