摘要 =R*qP ;# 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
]o cWt3| vnWWneeNr 设计任务 KMI_zhyB Llr>9(| }VS5gxI1. 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
yKYTi3 _( / "eey(X 光栅级次分析模块设置 9E>xIJ@J2T u%w`:v7Yo( 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
B!vmQR*1 $5Xh,DOg 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
D6>HN[D" 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
$STaQ28C 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
U2bjFLd" 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
(p2K36,9m 衍射分束器表面 MyT q 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
8 7D *-G w ;W>k@L 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) $ GlW f .zi_[ 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
u(fm@+$^ 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
W[Ls|<Q 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
R hncBKm*M e" St_z( 光栅级次和可编程光栅分析仪 C?lcGt !H z^'gx@YD*v Z'"tB/ =W 设计与评估结果 0 u;4%}pD 相位功能设计
a!=D [Gz*5 结构设计
;7} VBkH TEA评价
,6-:VIHQ FMM评估
Tj:B!>> 0*f)=Q' 通用设置 *MKO
I' 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
"*In+ !K 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
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jJ 纯相位传输设计 gt@m?w( uG,5BV .M f|\onHI)> 结构设计 f&Gt | KrQ1GepJ E=nIRG|g 更深的分析 bbE!qk;hEP •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
!2ZF(@C / •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
YNQY4\( •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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| ?,A]|j 使用TEA进行性能评估 sB7#
~p A .+$ Q <L 8WXQ Oo8 使用FMM进行性能评估 Sc;BCl {=| 3}}38A|4 t'n pG}`tE 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 JRB9rSN^ p {T*k' fp`;U_-&0 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 k>;`FFQU> F1*>y b,7k)ND1F 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
