摘要 ;jY'z5PH5 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
XN 0RT>@ '!|E+P- 设计任务 |[n|=ORI' Tl0+Bq OM"T)4z 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
A~~|X E%v[7 ST 光栅级次分析模块设置 {(zL"g46 d+$[EDix 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
/[)P^L` Y;F,GxR} 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
YJtOdgG|q 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
G%x,t- 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
daokiU+l2 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
Se]t;7j 衍射分束器表面 @+Anv~B. 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
bKTwG@{/k -<VF6k< 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) mrBhvp"" EXM/>PG 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
oY#XWe8Om 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
w]}cB+C+l# 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
OG<]`!" CEJG=*3 光栅级次和可编程光栅分析仪 P)o[p( u+i/CE#w w `9GygS 设计与评估结果 9?mOLDu}Q0 相位功能设计
}v|[h[cZ 结构设计
'&L
TEA评价
j2&OYg FMM评估
I>(z)"1 sC*E;7gT, 通用设置 ok=E/77` 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
#JT%]! 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
7Bb@9M?i KgkB)1s@n 纯相位传输设计 S>zKD qb/!;U_ O8}s*} ] 结构设计 C3`.-/{D" r-DD*'R N
pIlQaMo4 更深的分析 q\b9e&2Y •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
9"v ox •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
ZCq\Zk1O& •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
PyJblW |HIA[.q 使用TEA进行性能评估 l~>rpG J +Y|# U rEyMSLN 使用FMM进行性能评估 lu(Omds+ I,q~*d e}@J?tJK.L 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 =$`")3y3 6I'VXdeN mi3q1npb7[ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 D}=i
tu TuPxyB = ~R3*GN 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化