摘要 s+Fi @lg, 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
P 71 ( Qy<[7 设计任务 ur
:i)~wXn t* @2 OW`! ~$' \L 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计，通过严格分析，进一步
优化零阶均匀性和影响
Q9I
j\HbA" 3iw{SEY 光栅级次分析模块设置 Q-ni| G+B~Ix- 使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
;^*Unyt[4] hjaT^(Y 1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
]\/tVn.' 2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。
!d<"nx[2` 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
D:k 3"
E"S 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
,Jc m+ Wb 衍射分束器表面 -':Y\:W 为了进一步评估，使用了通用光栅
光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
[SJ6@ q F+ E|r6 'i 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) y=In?QN{6* .sQ=;w/ZA 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
xs\!$*R 薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。
uB!kM 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。
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8 qBm b-3*Nl _% 光栅级次和可编程光栅分析仪 GUF"<k Bo<>e~6P wApMzZ(X2y 设计与评估结果 83;NIE; 相位功能设计
SQeRSz8bK4 结构设计
nW;g28 TEA评价
D;UV&.$'v FMM评估
d t~YW nXjP x@ 通用设置 kId
n6 Wx, 提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
8/0Y vh 通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。
-P&6L\V _+
.\@{c 纯相位传输设计 "t^URp3 0 IQ'3 _ ^F:k3,_[ 结构设计 ,gL9? Wz s7oT G! b T
2a40ul 更深的分析 vD 5vbl •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
Q}S_%I}u: •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。
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wY[3"{ •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
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$T :un.TM 使用TEA进行性能评估 J Hf Q,& /V_ .S(,o. 使用FMM进行性能评估 u_7~TE3W "B_K
XL Hcc"b0>}{ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 >5Wlc $bc VXR]"W= Xn~I=Ml d 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 lo'W1p ' oF xR003 191&_*Xb 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化
